用于半导体器件的编程方法及半导体器件技术

本发明专利技术公开了一种用于半导体器件的编程方法及半导体器件。所述半导体器件包括存储串，所述存储串包括依次堆叠设置的多个第一存储单元和第一虚设单元，每个所述第一存储单元与一个字线对应连接，所述第一虚设单元的栅极与第一虚设字线连接；所述方法包括：在预充电阶段，向所述多个第一存储单元中的已编程存储单元对应的字线输入预充电电压，所述已编程存储单元为所述多个第一存储单元中的待编程存储单元与所述第一虚设单元之间的存储单元(501)；在编程阶段，向所述待编程存储单元对应的字线输入编程电压(502)。的字线输入编程电压(502)。的字线输入编程电压(502)。的字线输入编程电压(502)。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

【专利技术属性】
技术研发人员：李楷威，贾建权，闵园园，崔莹，宋雅丽，刘红涛，贾信磊，张安，
申请(专利权)人：长江存储科技有限责任公司，
类型：发明
国别省市：