一种光路切换装置及激光加工设备制造方法及图纸

本申请涉及激光加工技术领域，具体而言，涉及一种光路切换装置及激光加工设备。光路切换装置包括底座、第一光路组件、第二光路组件，第一光路组件包括第一光路通道，第一光路组件安装于底座上，激光经第一光路通道射出时的出射光束为第一光束；第二光路组件包括第二光路通道，第二光路组件活动安装于底座上，第二光路组件适于移入或移出第一光路通道，激光经第二光路通道射出时的出射光束为第二光束。本申请通过将第二光路组件移入或移出第一光路通道，使得激光光束可以在第一光束和第二光束之间切换，从而可以针对不同的产品选择第一光束或第二光束对产品进行对应性加工，保障产品整体激光加工的一致性。体激光加工的一致性。体激光加工的一致性。

【技术实现步骤摘要】
一种光路切换装置及激光加工设备


[0001]本技术涉及激光加工
，具体而言，涉及一种光路切换装置及激光加工设备。

技术介绍

[0002]LED晶圆长条晶产品是一种长条状LED芯片晶圆，TCUT光路系统可以提升晶粒切后的对抗折断强度，但是对于对长宽比大于5:1的长条晶产品(长边超过1000um)，仅采用单一的光束对其进行切割且长边和短边的切割效果会存在一定的差别，一致性较差；而如果更换到不同的切割设备去进行二次切割，会增加整体的工作流程，效率随之下降。

技术实现思路

[0003]本技术解决的问题是现有切割流程导致的切割质量与加工效率过低。
[0004]一方面，为解决上述问题，本技术提供一种光路切换装置，所述光路切换装置包括第一光路通道，所述第一光路组件安装于所述底座上，激光经所述第一光路通道射出时的出射光束为第一光束；所述第二光路组件包括第二光路通道，所述第二光路组件活动安装于所述底座上，所述第二光路组件适于移入或移出所述第一光路通道，所述激光经所述第二光路通道射出时的出射光束为第二光束。
[0005]可选地，所述光路切换装置还包括驱动机构，所述驱动机构安装于所述底座上，所述驱动机构与所述第二光路组件驱动连接，所述驱动机构适于驱动所述第二光路组件沿第一方向移动。
[0006]可选地，所述底座上设置有电磁铁，所述第二光路组件包括安装座，所述电磁铁位于所述安装座靠近所述驱动机构的一侧，当所述第二光路组件移入所述第一光路通道时，所述电磁铁用于吸附所述安装座以实现所述第二光路组件的固定。
[0007]可选地，所述电磁铁的数量为两个，所述驱动机构位于两个所述电磁铁之间。
[0008]可选地，所述底座上设置有限位块，所述安装座上设置有缓冲件，所述限位块位于所述缓冲件和所述驱动机构之间，所述缓冲件适于与所述限位块止挡配合。
[0009]可选地，所述安装座上还设置有滑块结构，所述底座上还设置有滑轨结构，所述滑块结构与所述滑轨结构滑动连接。
[0010]可选地，所述底座上还设置有限位件，所述限位件位于所述安装座靠近所述驱动机构的一侧，所述限位件用于所述滑块结构的限位。
[0011]可选地，所述第二光路组件还包括第一透镜和第二透镜，所述第一透镜和所述第二透镜活动安装在所述安装座上，所述第一透镜和所述第二透镜适于沿第二方向移动。
[0012]可选地，所述第一光路组件包括第一反射镜和第二反射镜，所述第二光路组件适于在所述第一反射镜和所述第二反射镜之间沿所述第一方向移动。
[0013]另一方面，本技术实施例还提供一种激光加工设备，包括如上所述的光路切换装置。
[0014]相对于现有技术，本技术实施例提供的光路切换装置所具有的有益效果是：
[0015]通过可相对于底座移动的第二光路组件，可以将第二光路组件移入或移出第一光路组件的第一光路通道，使得第二光路通道与第一光路通道重叠或错位，出射的激光光束可以在第一光束和第二光束之间切换，从而可以针对不同的产品选择第一光束或第二光束对产品进行对应性加工，保障产品整体激光加工的一致性。
附图说明
[0016]图1为本技术的光路切换装置的一实施例结构示意图；
[0017]图2为本技术的光路切换装置的另一实施例结构示意图；
[0018]图3为本技术的第二光路组件的一实施例结构示意图；
[0019]图4为本技术的第一光路组件的一实施例结构示意图。
[0020]附图标记说明：
[0021]1‑
底座；11
‑
电磁铁；12
‑
限位块；13
‑
限位件；2
‑
第一光路组件；21
‑
第一反射镜；22
‑
第二反射镜；3
‑
第二光路组件；31
‑
安装座；32
‑
缓冲件；33
‑
第一透镜；34
‑
第二透镜；4
‑
驱动机构。
具体实施方式
[0022]术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或转动连接；可以是机械连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。在本技术的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。
[0023]本技术的实施例的附图中设置有坐标系XYZ，其中X轴的正向代表右方，X轴的反向代表左方，Z轴的正向代表上方，Z轴的反向代表下方，Y轴的正向代表前方，Y轴的反方向代表后方，且术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”和“右”等指示的方向或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。
[0024]术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。
[0025]为使本技术的上述目的、特征和优点能够更为明显易懂，下面结合附图对本技术的具体实施例做详细的说明。
[0026]如图1和图2所示，本技术的一实施例提供一种光路切换装置。光路切换装置包括底座1、第一光路组件2、第二光路组件3，第一光路组件2包括第一光路通道，第一光路组件2安装于底座1上，激光经第一光路通道射出时的出射光束为第一光束；第二光路组件3包括第二光路通道，第二光路组件3活动安装于底座1上，第二光路组件3适于移入或移出第一光路通道，激光经第二光路通道射出时的出射光束为第二光束。
[0027]第一通道可以为激光光束在第一光路组件2上所经过的路径，第二光路通道可以为激光光束在第二光路组件3所经过的路径。第一光路组件2可以包括光纤激光器、透镜组
件和激光头，光纤激光器发出的激光光束可以经过透镜组件调整，再由激光头射出，此时射出的激光光束由于只经过的第一光路通道，因此该光束为第一光束。而当第二光路组件3移入到第一光路通道时，此时第一光路通道与第二光路通道重叠，第一光束在经过第二光路通道以后，第一光束会变为第二光束，第二光束相对于第一光束具有更高的能量，第二光束可以为贝塞尔光束。
[0028]例如在加工长宽比大于5:1的长条晶产品(长边超过1000um)时，由于第一光束的能量过低，对于长边超过1000um的地方无法加工，此时由于第二光束具有更高的能量，因此通过第二光束作用于产品的长边可以实现更高品质的加工，保证设备稳定性和切割效果一致性。
[0029]通过可相对于底座1移动的第二光路组件3，可以将第二光路组件3移入或移出第一光路组件2的第一光路通道，使得第二光路通道与第本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种光路切换装置，其特征在于，包括：底座；第一光路组件，所述第一光路组件包括第一光路通道，所述第一光路组件安装于所述底座上，激光经所述第一光路通道射出时的出射光束为第一光束；第二光路组件，所述第二光路组件包括第二光路通道，所述第二光路组件活动安装于所述底座上，所述第二光路组件适于移入或移出所述第一光路通道，所述激光经所述第二光路通道射出时的出射光束为第二光束。2.根据权利要求1所述的光路切换装置，其特征在于，还包括驱动机构，所述驱动机构安装于所述底座上，所述驱动机构与所述第二光路组件驱动连接，所述驱动机构适于驱动所述第二光路组件沿第一方向移动。3.根据权利要求2所述的光路切换装置，其特征在于，所述底座上设置有电磁铁，所述第二光路组件包括安装座，所述电磁铁位于所述安装座靠近所述驱动机构的一侧，当所述第二光路组件移入所述第一光路通道时，所述电磁铁用于吸附所述安装座以实现所述第二光路组件的固定。4.根据权利要求3所述的光路切换装置，其特征在于，所述电磁铁的数量为两个，所述驱动机构位于两个所述电磁铁之间。5.根据权利要求3所述的光...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄伟耿，李东宇，曾威，尹建刚，高云峰，
申请(专利权)人：深圳市大族半导体装备科技有限公司，
类型：新型
国别省市：