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本申请涉及激光加工技术领域，具体而言，涉及一种光路切换装置及激光加工设备。光路切换装置包括底座、第一光路组件、第二光路组件，第一光路组件包括第一光路通道，第一光路组件安装于底座上，激光经第一光路通道射出时的出射光束为第一光束；第二光路组件包...
该专利属于深圳市大族半导体装备科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市大族半导体装备科技有限公司授权不得商用。

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