一种半导体制造用机械手臂制造技术

本实用新型专利技术公开了一种半导体制造用机械手臂，包括底座，底座上设有气缸，气缸上设有移动机构，移动机构上设有安装机构，安装机构上设有机械手本体，移动机构包括承接板，承接板固定安装于气缸的活塞杆端，承接板的底端设有第一电机，第一电机的转轴端设有条形箱，条形箱的底端设有滚轮。本实用新型专利技术通过设置有移动机构，配合气缸，起到调整机械手本体位置的目的，利于提高机械手本体的操作范围，本实用新型专利技术通过设置有安装机构，起到方便安装和拆卸机械手本体的目的。械手本体的目的。械手本体的目的。

【技术实现步骤摘要】
一种半导体制造用机械手臂


[0001]本技术涉及机械手臂
，具体为一种半导体制造用机械手臂。

技术介绍

[0002]机械手臂是机械人
中得到最广泛实际应用的自动化机械装置，在工业制造、医学治疗、娱乐服务、军事、半导体制造以及太空探索等领域都能见到它的身影。
[0003]授权公开号为CN207326983U公开了一种半导体制造用机械手臂，包括机械手臂主支撑杆，机械手臂主连接杆和机械手臂连接凹槽，所述机械手臂主支撑杆的底端设置有机械手臂连接块，所述机械手臂连接旋转轴的端部设置有机械手臂主连接杆，所述机械手臂主连接杆的端部设置有机械手臂操作杆，所述机械手臂主支撑杆的表面设置有机械手臂主连接杆放置凹槽；本技术中设计的机械手臂固定连接底座伸缩柱可以在加工时根据操作的需要进行伸缩，从而加长机械手臂的长度，本技术中设计的机械手臂连接凹槽可以在连接时直接将机械手臂进行固定连接，同时缓冲垫圈可以在使用时将机械手臂之间的连接进行缓冲减压，操作起来更加的顺畅。
[0004]但该方案仍存在不足，机械手臂的安装和拆卸工作都较为麻烦，当机械手臂损坏需要拆卸进行维修或更换时的操作较为麻烦，较为浪费时间，增大了操作人员的劳动强度，降低了安装和拆卸机械手臂的效率，并且机械手臂的工作范围有限，从而影响机械手臂的实用性，为此，我们提出一种半导体制造用机械手臂。

技术实现思路

[0005]本技术的目的在于提供一种半导体制造用机械手臂，以解决上述
技术介绍
提出的问题。
[0006]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种半导体制造用机械手臂，包括底座，所述底座上设有气缸，通过设置有气缸，便于调节机械手本体的高度，利于提高机械手本体的操作范围，所述气缸上设有移动机构，通过设置有移动机构，起到调整机械手本体位置的目的，利于提高机械手本体的操作范围，所述移动机构上设有安装机构，通过设置有安装机构，起到方便安装和拆卸机械手本体的目的，所述安装机构上设有机械手本体，所述移动机构包括承接板，所述承接板固定安装于气缸的活塞杆端，所述承接板的底端设有第一电机，通过设置有第一电机，便于带动条形箱转动，所述第一电机的转轴端设有条形箱，条形箱的顶端为开口设置，所述条形箱的底端设有滚轮，通过设置有滚轮，便于承接条形箱的转动。
[0007]优选的，所述条形箱内设有滑杆，所述滑杆上滑动连接有滑块，滑杆为方形杆，通过设置有滑杆，便于承接滑块的滑动。
[0008]优选的，所述滑块的底端设有第二电机，所述第二电机的转轴端设有齿轮，第二电机具有正反转功能。
[0009]优选的，所述条形箱的内壁设有齿条，所述齿条与齿轮相啮合，通过设置有齿轮和
齿条，在第二电机工作时，起到带动滑块沿着滑杆滑动的目的。
[0010]优选的，所述安装机构包括安装板，所述安装板固定安装于滑块上。
[0011]优选的，所述安装板上开设有定位槽，通过设置有定位槽，便于承接定位杆的插接，所述安装板内开设有弹簧槽，所述弹簧槽内滑动设置有插块，插块的截面形状为凸块，所述插块的个数为两个，两个所述插块之间设有弹簧，弹簧处于压缩状态，所述插块的一端贯穿定位槽，所述插块的侧面设有按杆，通过设置有按杆，便于带动插块沿着弹簧槽的内壁滑动，所述按杆的一端贯穿安装板。
[0012]优选的，所述安装板上插接有承台，所述承台与机械手本体固定连接，所述承台的底端设有定位杆，所述定位杆的侧面开设有插槽，通过设置有插槽，便于插块的插接。
[0013]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0014]1.本技术通过设置有移动机构，配合气缸，起到调整机械手本体位置的目的，利于提高机械手本体的操作范围。
[0015]2.本技术通过设置有安装机构，起到方便安装和拆卸机械手本体的目的。
附图说明
[0016]图1为本技术整体结构示意图；
[0017]图2为本技术安装板剖面图；
[0018]图3为本技术条形箱剖面图。
[0019]图中：1、底座；21、第一电机；22、滚轮；23、条形箱；24、承接板；25、齿条；26、齿轮；27、滑杆；28、第二电机；29、滑块；31、按杆；32、安装板；33、承台；34、插块；35、定位槽；36、插槽；37、弹簧；38、弹簧槽；39、定位杆；4、气缸；5、机械手本体。
具体实施方式
[0020]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0021]实施例1
[0022]请参阅图1、图2和图3，图示中的一种半导体制造用机械手臂，包括底座1，底座1上设有气缸4，通过设置有气缸4，便于调节机械手本体5的高度，利于提高机械手本体5的操作范围，气缸4上设有移动机构，通过设置有移动机构，起到调整机械手本体5位置的目的，利于提高机械手本体5的操作范围，移动机构上设有安装机构，通过设置有安装机构，起到方便安装和拆卸机械手本体5的目的，安装机构上设有机械手本体5，移动机构包括承接板24，承接板24固定安装于气缸4的活塞杆端，承接板24的底端设有第一电机21，通过设置有第一电机21，便于带动条形箱23转动，第一电机21的转轴端设有条形箱23，条形箱23的顶端为开口设置，条形箱23的底端设有滚轮22，通过设置有滚轮22，便于承接条形箱23的转动。
[0023]其中，条形箱23内设有滑杆27，滑杆27上滑动连接有滑块29，滑杆27为方形杆，通过设置有滑杆27，便于承接滑块29的滑动，滑块29的底端设有第二电机28，第二电机28的转轴端设有齿轮26，第二电机28具有正反转功能，条形箱23的内壁设有齿条25，齿条25与齿轮
26相啮合，通过设置有齿轮26和齿条25，在第二电机28工作时，起到带动滑块29沿着滑杆27滑动的目的。
[0024]本半导体制造用机械手臂使用时：通过设置有气缸4，便于调节机械手本体5高度的目的，利于提高机械手本体5的操作范围，同时在机械手本体5需要调整方位时，启动第一电机21，第一电机21带动条形箱23转动，条形箱23通过固定机构带动机械手本体5转动，直到机械手本体5转动至合适的方位，然后启动第二电机28，第二电机28带动齿轮26转动，齿轮26与齿条25相啮合，将带动滑块29沿着滑杆27的表面进行直线滑动，滑块29在滑动的过程中，将通过安装机构带动机械手本体5进行直线移动，直到机械手本体5移动至相应位置，通过上述设置，利于提高机械手本体5的操作范围。
[0025]实施例2
[0026]请参阅图1和图2，本实施方式对于实施例1进一步说明，图示中一种半导体制造用机械手臂，包括底座1，底座1上设有气缸4，通过设置有气缸4，便于调节机械手本体5的高本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种半导体制造用机械手臂，其特征在于，包括：底座(1)，所述底座(1)上设有气缸(4)，所述气缸(4)上设有移动机构，所述移动机构上设有安装机构，所述安装机构上设有机械手本体(5)，所述移动机构包括承接板(24)，所述承接板(24)固定安装于气缸(4)的活塞杆端，所述承接板(24)的底端设有第一电机(21)，所述第一电机(21)的转轴端设有条形箱(23)，所述条形箱(23)的底端设有滚轮(22)。2.根据权利要求1所述的一种半导体制造用机械手臂，其特征在于：所述条形箱(23)内设有滑杆(27)，所述滑杆(27)上滑动连接有滑块(29)。3.根据权利要求2所述的一种半导体制造用机械手臂，其特征在于：所述滑块(29)的底端设有第二电机(28)，所述第二电机(28)的转轴端设有齿轮(26)。4.根据权利要求3所述的一种半导体制造用机械手臂，其特征在于：所述条形箱(23)的内壁设有齿条(25)，所...

【专利技术属性】
技术研发人员：李红星，
申请(专利权)人：广东翔伟自动化科技有限公司，
类型：新型
国别省市：