机器人以及基板形状异常检查方法技术

本发明专利技术提供一种用于运送基板的机器人，该机器人包括臂部、手部、基板检测部以及基板形状异常检查部。所述手部被设置在所述臂部，保持且运送所述基板。所述基板检测部非接触检测所述基板的有无。所述基板形状异常检查部根据由被所述手部保持的状态的所述基板被所述基板检测部所检测出的高度信息，来检查所述基板的形状异常的有无。的形状异常的有无。的形状异常的有无。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】机器人以及基板形状异常检查方法


[0001]本专利技术主要涉及机器人，该机器人用于运送半导体晶片、印刷电路板等基板，详细而言，涉及在保持运送对象的基板之前检测该基板的形状异常的结构。

技术介绍

[0002]至今为止，从基板的保管装置、基板处理装置等取出基板进行运送的基板运送用的机器人被众所周知。专利文献1公开了作为该种机器人的晶片运送装置。
[0003]专利文献1的晶片运送装置包括姿势检测部和致动器，该姿势检测部检测手的姿势。该晶片运送装置的结构如下，即，通过根据用姿势检测部所检测的手的姿势信息，控制致动器的伸缩程度，来调整手的姿势。
[0004]专利文献1：日本特开2004
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128021号公报

技术实现思路

[0005]近年来，由于晶片的薄型化等理由，在基板很容易产生作为形状异常的一种的翘曲。但是，在所述专利文献1中，姿势检测部只是检测手的姿势的检测部，不能检测被手保持之前的基板的翘曲。当在基板产生翘曲时，机器人在保持该基板的动作的过程中恐怕会使基板损坏。
[0006]鉴于上述内容，本专利技术的目的在于，在通过机器人取出基板并且保持基板之前准确地检测运送对象的基板的形状异常的有无。
[0007]本专利技术所要解决的课题如上所述，接下来对用于解决该课题的手段和其效果进行说明。
[0008]根据本专利技术的第一方面，提供以下结构的机器人。即，用于运送基板的机器人包括臂部、手部、基板检测部和基板形状异常检查部。所述手部被设置在所述臂部，保持且运送所述基板。所述基板检测部非接触检测所述基板的有无。所述基板形状异常检查部根据没有由所述手部保持的状态的所述基板被所述基板检测部所检测出的高度信息，来检查所述基板的形状异常的有无。
[0009]根据本专利技术的第二方面，提供以下的基板形状异常检查方法。即，该基板形状异常检查方法通过运送所述基板的机器人，来检查该基板的形状异常的有无。所述机器人包括臂部、手部和基板检测部。所述手部被设置在所述臂部，保持且运送所述基板。所述基板检测部非接触检测所述基板的有无。根据所述基板检测部所检测出的、没有由所述手部保持的状态的所述基板的高度信息，来检查所述基板的形状异常的有无。
[0010]因此，能够在从基板保管装置等中取出基板之前，检查基板的形状异常的有无。所以能够避免在手部移动时因基板的形状异常而使手部与基板侧意外接触的情况。其结果是能够防止基板的损坏等。
[0011](专利技术的效果)
[0012]根据本专利技术，能够在通过机器人取出基板并且保持基板之前准确地检测运送对象
的基板的形状异常的有无。
附图说明
[0013]图1是示出了本专利技术的一个实施方式所涉及的机器人的整体结构的立体图。
[0014]图2是示出了倾斜机构的一个例子的立体图。
[0015]图3是示出了倾斜机构的一个例子的剖面图。
[0016]图4是示出了机器人检查基板的姿势的样子的图。
[0017]图5是示出了机器人手相对于基板上下移动的样子的放大图。
[0018]图6是示出了基板的翘曲带来的检测厚度的变化的说明图。
[0019]图7是对为了检测基板的翘曲的有无而使映射传感器的检测轴的朝向不同的样子进行概念性说明的图。
[0020]图8是对变形例中的基板的翘曲的有无的检查进行说明的平面图。
具体实施方式
[0021]其次，参照附图，对所公开的实施方式进行说明。图1是示出了本专利技术的一个实施方式所涉及的机器人100的整体结构的立体图。
[0022]图1所示的机器人100例如被设置在半导体晶片、印刷电路板等基板W的制造工厂、仓库等。机器人100用于在基板处理装置与后述的基板保管装置7之间运送基板W。不过，机器人100也可以例如用于在处理基板W的多个基板处理装置之间运送基板W。基板W也可以是基板的原材料、加工中的半成品、加工后的成品中的任意之一。基板W的形状在本实施方式中是圆板状，但并不限于此。
[0023]该机器人100主要包括基座1、机器人臂(臂部)2、机器人手(手部)3和机器人控制部(基板形状异常检查部)9。
[0024]基座1被固定在工厂的地板等。但是，并不限于此，基座1也可以被固定在例如包括所述基板处理装置的基板处理设备的壳体。并且，基座1也可以被固定到在基板处理装置(或设备)与基板保管装置7之间运行的省略图示的移动台车等。
[0025]如图1所示，机器人臂2经由能够在上下方向移动的升降轴11安装在基座1。机器人臂2能够相对于升降轴11旋转。
[0026]机器人臂2由水平多关节式机器人臂构成。机器人臂2包括第一臂21和第二臂22。
[0027]第一臂21作为在水平的直线状延伸的细长部件构成。第一臂21的长度方向的一端被安装在升降轴11的上端部。第一臂21被以升降轴11的轴线(垂直轴)为中心可旋转地支撑着。在第一臂21的长度方向的另一端安装有第二臂22。
[0028]第二臂22作为在水平的直线状延伸的细长部件构成。第二臂22的长度方向的一端被安装在第一臂21的前端。第二臂22被以与升降轴11平行的轴线(垂直轴)为中心可旋转地支撑着。在第二臂22的长度方向的另一端安装有机器人手3。
[0029]升降轴11、第一臂21以及第二臂22的每一个由无图示的适当的致动器驱动。该致动器例如能够是电动马达。
[0030]在位于升降轴11与第一臂21之间、第一臂21与第二臂22之间以及第二臂22与机器人手3之间的臂关节部安装有检测第一臂21、第二臂22以及机器人手3的每一个的旋转位置
的省略图示的编码器。并且，在机器人100的适当位置还设置有检测高度方向的第一臂21的位置变化(即，升降轴11的升降量)的编码器。
[0031]机器人控制部9根据包含由各个编码器所检测出的第一臂21、第二臂22或机器人手3的旋转位置或高度位置的位置信息，来控制对升降轴11、第一臂21、第二臂22以及机器人手3的每一个进行驱动的电动马达的动作。需要说明的是，在以下的说明中，当称为由编码器所检测出的“位置信息”时，意思是指表示机器人100的姿势的、由每一个编码器所检测出的位置信息的组合。
[0032]如图1所示，机器人手3包括手腕部31和手本体部32。
[0033]手腕部31经由倾斜机构4安装在第二臂22的前端。手腕部31被以与升降轴11平行的轴线(垂直轴)为中心可旋转地支撑着。不过，能够通过倾斜机构4使手腕部31的旋转轴相对于与升降轴11平行的直线倾斜。后面将说明倾斜机构4的详细结构。手腕部31通过无图示的适当的致动器被旋转驱动。该致动器例如能够是电动马达。在手腕部31连接有手本体部32。手腕部31以及手本体部32也可以形成为一体。
[0034]手本体部32是为了保持基板W而发挥作用的部分。手本体部32由形成为Y字形状(或U字形状)的板状的部件构成。手本体部32成为与连接在手腕部31的一侧相反的一侧(换言之，前端侧)分成本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种机器人，其用于运送基板，其特征在于：所述机器人包括臂部、手部、基板检测部以及基板形状异常检查部，所述手部被设置在所述臂部，保持且运送所述基板，所述基板检测部非接触检测所述基板的有无，所述基板形状异常检查部根据没有由所述手部保持的状态的所述基板被所述基板检测部所检测出的高度信息，来检查所述基板的形状异常的有无。2.根据权利要求1所述的机器人，其特征在于：所述基板检测部包括映射传感器，该映射传感器被设置在所述手部，以通过检测光检测所述基板的存在的有无，所述基板形状异常检查部使所述映射传感器的检测光的朝向不同而多次进行处理，该处理是根据使所述手部在上下方向移动时来自所述映射传感器的输出，来求出所述基板被检测出的高度的最大值和最小值，获得作为所述最大值与所述最小值的差的检测厚度的处理，根据所述检测厚度与作为所述基板的实际的厚度的实际厚度的差的最小值，来...

【专利技术属性】
技术研发人员：清水一平，冈田拓之，山中大辅，阿部任弘，佐藤淳一，
申请(专利权)人：东京毅力科创株式会社，
类型：发明
国别省市：