晶圆图文件管理方法、系统和可读存储介质技术方案

本申请提供一种晶圆图文件管理方法、系统和可读存储介质。晶圆图文件管理方法包括获取晶圆图文件；将晶圆图文件的内容格式与格式库中预设的内容格式进行比对匹配，预设的内容格式包括预设的错误内容格式，错误内容格式指待读取晶圆图文件的机台存在识别障碍的内容格式；若晶圆图文件中存在内容格式与预设的错误内容格式匹配成功，根据匹配成功的错误内容格式对应的格式转换规则，将晶圆图文件的内容格式转换为机台可识别的内容格式。可以降低机台异常下线的概率。异常下线的概率。异常下线的概率。

【技术实现步骤摘要】
晶圆图文件管理方法、系统和可读存储介质


[0001]本专利技术涉及半导体芯片制造领域，尤其涉及一种晶圆图文件管理方法、系统和可读存储介质。

技术介绍

[0002]半导体芯片的制造通常包括晶圆制造、晶圆测试、芯片封装等过程。其中，晶圆是指硅半导体电路制作所用的硅晶片。晶圆制造是指在晶圆上制作集成电路。制作完成后，晶圆上形成按阵列排布的半导体芯片(Die)。晶圆测试是指对晶圆上的半导体芯片进行功能、电流或电压等测试，并在测试完成后生成晶圆图文件。晶圆图文件包括晶圆上被测试芯片的位置信息和测试结果。芯片封装是指根据晶圆图文件，通过机台对晶圆进行装片，以得到符合测试要求的半导体芯片的过程。
[0003]目前，晶圆图文件的内容格式较多。比如，经大数据统计，近3年的晶圆图的内容格式就达到了170多种。在这些晶圆图的内容格式中，存在机台不能识别的格式，导致机台经常出现异常下线的问题。

技术实现思路

[0004]本申请提供一种晶圆图文件管理方法、系统和可读存储介质，可以降低机台异常下线的概率。
[0005]本申请提供一种晶圆图文件管理方法，所述晶圆图文件管理方法包括：
[0006]获取晶圆图文件；
[0007]将所述晶圆图文件的内容格式与格式库中预设的内容格式进行比对匹配，所述预设的内容格式包括预设的错误内容格式，所述错误内容格式指待读取所述晶圆图文件的机台存在识别障碍的内容格式；
[0008]若所述晶圆图文件中存在内容格式与预设的所述错误内容格式匹配成功，根据匹配成功的所述错误内容格式对应的格式转换规则，将所述晶圆图文件的内容格式转换为所述机台可识别的内容格式。
[0009]本申请提供一种晶圆图文件管理系统，包括一个或多个处理器，用于实现如上任一项所述的晶圆图文件管理方法
[0010]本申请提供一种可读存储介质，其上存储有程序，该程序被处理器执行时，实现如上任一项所述的晶圆图文件管理方法。
[0011]在本申请的一些实施例中，晶圆图文件管理方法通过将晶圆图文件的内容格式与格式库中预设的内容格式进行比对匹配，并针对错误内容格式设置对应的格式转换规则，可以将晶圆图文件的错误内容格式转换为机台可识别的内容格式。如此，可以减少机台因无法识别晶圆图文件而导致的异常下线问题，降低机台异常下线的概率。
附图说明
[0012]图1是本申请的一个实施例提供的晶圆图文件的部分文件内容的示意图；
[0013]图2是本申请的另一个实施例提供的晶圆图文件的部分文件内容的示意图；
[0014]图3是本申请的另一个实施例提供的晶圆图文件的部分文件内容的示意图；
[0015]图4是本申请的一个实施例提供的晶圆图文件管理方法的流程图；
[0016]图5是本申请一个实施例提供的晶圆图文件管理系统的模块框图。
具体实施方式
[0017]这里将详细地对示例性实施例进行说明，其示例表示在附图中。下面的描述涉及附图时，除非另有表示，不同附图中的相同数字表示相同或相似的要素。以下示例性实施例中所描述的实施例并不代表与本说明书一个或多个实施例相一致的所有实施例。相反，它们仅是与如所附权利要求书中所详述的、本说明书一个或多个实施例的一些方面相一致的装置和方法的例子。
[0018]需要说明的是：在其他实施例中并不一定按照本说明书示出和描述的顺序来执行相应方法的步骤。在一些其他实施例中，其方法所包括的步骤可以比本说明书所描述的更多或更少。此外，本说明书中所描述的单个步骤，在其他实施例中可能被分解为多个步骤进行描述；而本说明书中所描述的多个步骤，在其他实施例中也可能被合并为单个步骤进行描述。
[0019]在对本申请的晶圆图文件管理方法进行说明前，先对本申请涉及的晶圆图文件进行说明。在一些实施例中，晶圆图文件又称为芯片地图(wafer mapping)。晶圆图文件包括但不限于晶圆图文件对应的晶圆信息、晶圆上被测试芯片的位置信息和测试结果。结合参考图1。图1是本申请的一个实施例提供的晶圆图文件的部分文件内容的示意图。
[0020]图1中，晶圆图文件包括区域1和区域2。其中，区域1用于保存晶圆图文件对应的晶圆信息和测试结果汇总信息。比如，GoodDie:5455表示晶圆上品质为优的芯片数量为5455个；又比如，LotID:A793501表示晶圆的批次号为A793501。区域2又称为矩阵，用于保存晶圆上被测试芯片的位置信息和各个位置的被测试芯片的测试结果。在图1所示实施例中，区域2每个位置的字母或数值，代表该位置的被测试芯片的测试结果。比如，字母M可用于表示对应位置的被测试芯片的品质为优，字母F可用于表示对应位置的被测试芯片的品质为良，数值1可用于表示对应位置的被测试芯片的品质为不合格。
[0021]在一些实施例中，机台对晶圆进行装片前，需要获取晶圆对应的晶圆图文件，并根据晶圆图文件对晶圆进行装片。比如，机台可以根据晶圆图文件，判断晶圆上各个位置的芯片品质好坏，并将筛选得到的芯片按照品质好坏进行分类。
[0022]目前，晶圆图文件的文件内容包括多种不同的内容格式。结合参考图2和图3。图2是本申请的另一个实施例提供的晶圆图文件的部分文件内容的示意图。图3是本申请的另一个实施例提供的晶圆图文件的部分文件内容的示意图。
[0023]图1、图2和图3可以是同一晶圆对应的不同晶圆图文件中的文件内容。其中，图2中的文件内容可以对应图1的区域1中的文件内容，图3中的文件内容可以对应图1的区域2中的文件内容。通过比对可以看出，图1与图2、图3的内容格式存在较大差异。比如图1中的“LotID”在图2中被写作“LOT ID”，图1中的“.”在图3中被写作“S”。
[0024]在这些具有不同内容格式的晶圆图文件中，存在机台无法识别的内容格式。比如假设图1中的内容格式为机台可以识别的内容格式，图2和图3中的内容格式则可能为机台存在识别障碍的内容格式。若机台对晶圆图文件中的内容格式存在识别障碍，会导致机台无法正常读取晶圆图文件中的文件内容，进而无法对晶圆进行装片。基于此，本申请提供一种晶圆图文件管理方法，可以将晶圆图文件的错误内容格式转换为机台可识别的内容格式。
[0025]图4是本申请的一个实施例提供的晶圆图文件管理方法的流程图。晶圆图文件管理方法可应用晶圆图文件管理系统，包括步骤S41至步骤S43。
[0026]步骤S41，获取晶圆图文件。关于晶圆图文件的说明，具体可参见图1至图3的相关描述，此处不赘述。
[0027]步骤S42，将晶圆图文件的内容格式与格式库中预设的内容格式进行比对匹配。
[0028]在一些实施例中，将存在相同内容格式的晶圆图文件划分为一类。针对每一类晶圆图文件，可以预先在格式库中设置对应的内容格式。内容格式可以包括相应类型的晶圆图文件中的字段名、芯片品质标识等。比如针对图1所示的晶圆图文件，其对应的内容格式可以包括Device、LotID、GoodBin等字段；针对图2所示的晶圆图文件，其对应的内容格式本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆图文件管理方法，其特征在于，所述晶圆图文件管理方法包括：获取晶圆图文件；将所述晶圆图文件的内容格式与格式库中预设的内容格式进行比对匹配，所述预设的内容格式包括预设的错误内容格式，所述错误内容格式指待读取所述晶圆图文件的机台存在识别障碍的内容格式；若所述晶圆图文件中存在内容格式与预设的所述错误内容格式匹配成功，根据匹配成功的所述错误内容格式对应的格式转换规则，将所述晶圆图文件的内容格式转换为所述机台可识别的内容格式。2.如权利要求1所述的晶圆图文件管理方法，其特征在于，所述错误内容格式的格式逻辑通过正则表达式来表示，所述将所述晶圆图文件的内容格式与格式库中预设的内容格式进行比对匹配，包括：检测所述晶圆图文件中是否存在内容格式符合所述错误内容格式对应的正则表达式表示的格式逻辑，若存在，表示所述晶圆图文件中存在内容格式与预设的所述错误内容格式匹配成功。3.如权利要求1所述的晶圆图文件管理方法，其特征在于，在将所述晶圆图文件的内容格式转换为所述机台可识别的内容格式后，所述晶圆图文件管理方法还包括：保存所述晶圆图文件。4.如权利要求3所述的晶圆图文件管理方法，其特征在于，所述保存所述晶圆图文件，包括：检测在已保存的晶圆图文件中，是否存在与所述晶圆图文件同名的晶圆图文件，若存在，将所述晶圆图文件、与所述晶圆图文件同名的晶圆图文件作为不同版本的文件进行保存，其中，所述晶圆图文件的版本号新于其他同名的晶圆图文件的版本号。5.如权利要求4所述的晶圆图文件管理方法，其特征在于，所述晶圆图文件管理方法还包括：若接收到所述机台的晶圆图文件获取请求，在所述晶圆图文件获取请求...

【专利技术属性】
技术研发人员：潘国平，邱野，
申请(专利权)人：无锡华润安盛科技有限公司，
类型：发明
国别省市：