一种靶材基板承载载具制造技术

本发明专利技术公开了一种靶材基板承载载具，包括圆环底座，圆环底座的上端面转动设置有转动圈，转动圈的上端面固定有斜面圈，转动圈的内壁上对称设置有左侧移动板和右侧移动块，左侧移动板的侧壁上固定有上拨料板，右侧移动块上设置有三角形拨料块；本发明专利技术中的上拨料板在转动的过程中，将高于上拨料板的粉堆推平，然后三角形拨料块在转动的过程中，将被上拨料板处理过多的粉堆上，推刮出呈一定角度的斜坡，当三角形拨料块转动两圈后，可以将各个位置的斜坡刮均，避免各个位置的坡度不一致，影响靶材烧结时的成型效果。烧结时的成型效果。烧结时的成型效果。

【技术实现步骤摘要】
一种靶材基板承载载具


[0001]本专利技术涉及靶材生产加工
，尤其涉及一种靶材基板承载载具。

技术介绍

[0002]根据专利文件CN113372124A公开的一种靶材的烧结方法，该方法采用球形颗粒状的氧化铝粉作为辅助滑动粉，把靶材放置在球形颗粒状的氧化铝上进行烧结，相比放置在不规则形状的氧化铝粉上进行烧结，即使靶材生坯重量较大，收缩时该氧化铝粉也更容易发生滚动，将靶材与承烧板之间的接触摩擦力转变为滚动摩擦力，减小靶材生坯收缩时产生的摩擦阻力，防止由摩擦阻力导致的靶材不规则变形和开裂。
[0003]该方法中的承烧板在使用的过程中，存在一定的缺陷，例如在承烧板上铺设上辅助滑动粉后，难以保证辅助滑动粉形成的闭合圆环形粉堆上的各个位置的坡度一致，影响靶材烧结时的成型效果。

技术实现思路

[0004]本专利技术的目的是为了解决现有技术中存在的问题，而提出的一种靶材基板承载载具。
[0005]为达到上述目的，本专利技术采用了下列技术方案：
[0006]一种靶材基板承载载具，包括圆环底座，所述圆环底座的上端面转本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种靶材基板承载载具，包括圆环底座(1)，其特征在于，所述圆环底座(1)的上端面转动设置有转动圈(2)，转动圈(2)的上端面固定有斜面圈(3)，转动圈(2)的内壁上对称设置有左侧移动板(4)和右侧移动块(5)，左侧移动板(4)的侧壁上固定有上拨料板(6)，右侧移动块(5)上设置有三角形拨料块(7)。2.根据权利要求1所述的一种靶材基板承载载具，其特征在于，所述转动圈(2)的内壁上转动贯穿设置有转动杆(8)，转动杆(8)的两端分别固定有左侧螺纹杆(9)和右侧螺纹杆(10)，左侧移动板(4)的侧壁上固定有左侧连接块(11)，左侧螺纹杆(9)螺纹贯穿左侧连接块(11)，右侧移动块(5)的侧壁上固定有右侧连接块(12)，右侧螺纹杆(10)螺纹贯穿右侧连接块(12)。3.根据权利要求1所述的一种靶材基板承载载具，其特征在于，所述左侧移动板(4)和右侧移动块(5)的两侧均固定有弧形推料块(13)。4.根据权利要求1所述的一种靶材基板承载载具，其特征在于，所述右侧移动块(5)的一侧开设有右侧腔槽(14)，三角形拨料块(7)转动设置于右侧腔槽(14)的内壁上，右侧腔槽(14)的内底部固定有底部挡板(15)，底部挡板(15)的上端面固定有弹性层(16)。5.根据权利要求4所述的一种靶材基板承载载具，其特征在于，所述三角形拨料块(7)的侧壁上开设有左侧腔槽(17)，左侧腔槽(17)的内壁...

【专利技术属性】
技术研发人员：高建成，张莉兰，徐涛，汪强，钟小华，
申请(专利权)人：先导薄膜材料安徽有限公司，
类型：发明
国别省市：