一种靶材基板承载载具制造技术

本发明专利技术公开了一种靶材基板承载载具，包括圆环底座，圆环底座的上端面转动设置有转动圈，转动圈的上端面固定有斜面圈，转动圈的内壁上对称设置有左侧移动板和右侧移动块，左侧移动板的侧壁上固定有上拨料板，右侧移动块上设置有三角形拨料块；本发明专利技术中的上拨料板在转动的过程中，将高于上拨料板的粉堆推平，然后三角形拨料块在转动的过程中，将被上拨料板处理过多的粉堆上，推刮出呈一定角度的斜坡，当三角形拨料块转动两圈后，可以将各个位置的斜坡刮均，避免各个位置的坡度不一致，影响靶材烧结时的成型效果。烧结时的成型效果。烧结时的成型效果。

【技术实现步骤摘要】
一种靶材基板承载载具


[0001]本专利技术涉及靶材生产加工
，尤其涉及一种靶材基板承载载具。

技术介绍

[0002]根据专利文件CN113372124A公开的一种靶材的烧结方法，该方法采用球形颗粒状的氧化铝粉作为辅助滑动粉，把靶材放置在球形颗粒状的氧化铝上进行烧结，相比放置在不规则形状的氧化铝粉上进行烧结，即使靶材生坯重量较大，收缩时该氧化铝粉也更容易发生滚动，将靶材与承烧板之间的接触摩擦力转变为滚动摩擦力，减小靶材生坯收缩时产生的摩擦阻力，防止由摩擦阻力导致的靶材不规则变形和开裂。
[0003]该方法中的承烧板在使用的过程中，存在一定的缺陷，例如在承烧板上铺设上辅助滑动粉后，难以保证辅助滑动粉形成的闭合圆环形粉堆上的各个位置的坡度一致，影响靶材烧结时的成型效果。

技术实现思路

[0004]本专利技术的目的是为了解决现有技术中存在的问题，而提出的一种靶材基板承载载具。
[0005]为达到上述目的，本专利技术采用了下列技术方案：
[0006]一种靶材基板承载载具，包括圆环底座，所述圆环底座的上端面转动设置有转动圈，转动圈的上端面固定有斜面圈，转动圈的内壁上对称设置有左侧移动板和右侧移动块，左侧移动板的侧壁上固定有上拨料板，右侧移动块上设置有三角形拨料块。
[0007]作为本专利技术的进一步技术方案，所述转动圈的内壁上转动贯穿设置有转动杆，转动杆的两端分别固定有左侧螺纹杆和右侧螺纹杆，左侧移动板的侧壁上固定有左侧连接块，左侧螺纹杆螺纹贯穿左侧连接块，右侧移动块的侧壁上固定有右侧连接块，右侧螺纹杆螺纹贯穿右侧连接块。
[0008]作为本专利技术的进一步技术方案，所述左侧移动板和右侧移动块的两侧均固定有弧形推料块。
[0009]作为本专利技术的进一步技术方案，所述右侧移动块的一侧开设有右侧腔槽，三角形拨料块转动设置于右侧腔槽的内壁上，右侧腔槽的内底部固定有底部挡板，底部挡板的上端面固定有弹性层。
[0010]作为本专利技术的进一步技术方案，所述三角形拨料块的侧壁上开设有左侧腔槽，左侧腔槽的内壁上固定贯穿设置有右侧转动轴，右侧转动轴的外侧壁上固定套设有蜗轮套，右侧腔槽的内底部转动设置有左侧转动轴，左侧转动轴的外侧壁上固定套设有蜗杆套，蜗杆套与蜗轮套啮合连接，左侧转动轴的上端转动贯穿右侧移动块并固定有旋钮。
[0011]作为本专利技术的进一步技术方案，所述三角形拨料块的侧壁上设置有多个倒角。
[0012]作为本专利技术的进一步技术方案，所述圆环底座的下端面设置有放置底座，圆环底座的底部固定有承接圈，承接圈的外侧壁上固定套设有蜗轮圈，放置底座的上端面开设有
配合承接圈使用的转动圆槽，放置底座内设置有内腔，内腔的内壁上转动设置有蜗杆轴，转动圆槽的内壁上开设有配合蜗杆轴使用的缺口，蜗杆轴与蜗轮圈啮合连接，蜗杆轴转动贯穿放置底座，蜗杆轴的末端固定有传动杆，传动杆的外侧壁上固定有多个传动键。
[0013]作为本专利技术的进一步技术方案，所述放置底座的上端面开设有圆形通槽，圆形通槽的内壁上开设有多个通气孔，每个通气孔均贯穿放置底座。
[0014]本专利技术的有益效果：
[0015]1、当辅助滑动粉铺设完毕后，将上拨料板和三角形拨料块向外侧移出，然后转动斜面圈，转动圈带动左侧移动板和右侧移动块一起转动，从而带动上拨料板和三角形拨料块一起转动，上拨料板在转动的过程中，将高于上拨料板的粉堆推平，然后三角形拨料块在转动的过程中，将被上拨料板处理过多的粉堆上，推刮出呈一定角度的斜坡，当三角形拨料块转动两圈后，可以将各个位置的斜坡刮均，避免各个位置的坡度不一致，影响靶材烧结时的成型效果。
[0016]2、三角形拨料块的角度可以进行一定的调整，从而使三角形拨料块在围绕中心旋转的过程中，可以刮推出不同角度的斜坡，从而适用于不同规格和重量的靶材的放置。
[0017]3、当靶材放置到圆环底座的上端面后，将放置底座放置到烧结炉内，此时圆环底座是处于放置底座的上端面，靶材处于圆环底座的上端面，烧结炉的内壁上转动设置有驱动杆，驱动杆的末端固定套设有配合传动杆和传动键使用的传动套，烧结炉的外侧壁上固定有配合驱动杆使用的驱动箱和减速箱，将放置底座上的传动杆插到传动套内，然后烧结炉开始工作，在此过程中，在驱动箱和减速箱的配合下，驱动驱动杆和传动套转动，从而驱动蜗杆轴转动，从而驱动蜗轮圈和承接圈转动，从而使圆环底座带着靶材转动，从而使靶材在烧结炉内加热的过程中，可以受热均匀，从而使加工生产的靶材质量更好。
附图说明
[0018]图1为本专利技术的整体结构示意图；
[0019]图2为本专利技术的圆环底座与转动圈的连接示意图；
[0020]图3为本专利技术的左侧移动板与上拨料板的连接示意图；
[0021]图4为本专利技术的右侧移动块与三角形拨料块的连接示意图；
[0022]图5为本专利技术的转动杆与左侧螺纹杆的连接示意图；
[0023]图6为本专利技术的右侧腔槽与左侧腔槽的内部结构示意图；
[0024]图7为本专利技术的圆环底座与承接圈的连接示意图；
[0025]图8为本专利技术的转动圆槽的内部结构示意图。
[0026]图中：1、圆环底座；2、转动圈；3、斜面圈；4、左侧移动板；5、右侧移动块；6、上拨料板；7、三角形拨料块；8、转动杆；9、左侧螺纹杆；10、右侧螺纹杆；11、左侧连接块；12、右侧连接块；13、弧形推料块；14、右侧腔槽；15、底部挡板；16、弹性层；17、左侧腔槽；18、右侧转动轴；19、蜗轮套；20、左侧转动轴；21、蜗杆套；22、旋钮；23、放置底座；24、承接圈；25、蜗轮圈；26、转动圆槽；27、蜗杆轴；28、传动杆；29、圆形通槽；30、通气孔。
具体实施方式
[0027]为更进一步阐述本专利技术为实现预定专利技术目的所采取的技术手段及功效，以下结合
附图及较佳实施例，对依据本专利技术的具体实施方式、结构、特征及其功效，详细说明如后。
[0028]参照图1
‑
图8，一种靶材基板承载载具，包括圆环底座1，圆环底座1的上端面转动设置有转动圈2，转动圈2的上端面固定有斜面圈3，转动圈2的内壁上对称设置有左侧移动板4和右侧移动块5，左侧移动板4的侧壁上固定有上拨料板6，右侧移动块5上设置有三角形拨料块7。
[0029]在使用时，在圆环底座1的上端面铺设辅助滑动粉，然后将待加工的靶材放置到辅助滑动粉的上端面，从而减小靶材收缩时与圆环底座1之间摩擦力，铺设辅助滑动粉时，将辅助滑动粉堆成围绕中心布置的闭合圆环形粉堆，该粉堆顶部形成斜坡，该斜坡远离中心处高于其靠近中心处，粉堆斜坡处的辅助滑动粉有往中心倾斜滑落的趋势，其滑落时给旋转靶材带来往中心方向的摩擦力，这就减小了靶材生坯收缩需要克服的阻力。
[0030]当辅助滑动粉铺设完毕后，将上拨料板6和三角形拨料块7向外侧移出，然后转动斜面圈3，转动圈2带动左侧移动板4和右侧移动块5一起转动，从而带动上拨料板6和三角形拨料块7一起转动，上拨料板6在转动的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种靶材基板承载载具，包括圆环底座(1)，其特征在于，所述圆环底座(1)的上端面转动设置有转动圈(2)，转动圈(2)的上端面固定有斜面圈(3)，转动圈(2)的内壁上对称设置有左侧移动板(4)和右侧移动块(5)，左侧移动板(4)的侧壁上固定有上拨料板(6)，右侧移动块(5)上设置有三角形拨料块(7)。2.根据权利要求1所述的一种靶材基板承载载具，其特征在于，所述转动圈(2)的内壁上转动贯穿设置有转动杆(8)，转动杆(8)的两端分别固定有左侧螺纹杆(9)和右侧螺纹杆(10)，左侧移动板(4)的侧壁上固定有左侧连接块(11)，左侧螺纹杆(9)螺纹贯穿左侧连接块(11)，右侧移动块(5)的侧壁上固定有右侧连接块(12)，右侧螺纹杆(10)螺纹贯穿右侧连接块(12)。3.根据权利要求1所述的一种靶材基板承载载具，其特征在于，所述左侧移动板(4)和右侧移动块(5)的两侧均固定有弧形推料块(13)。4.根据权利要求1所述的一种靶材基板承载载具，其特征在于，所述右侧移动块(5)的一侧开设有右侧腔槽(14)，三角形拨料块(7)转动设置于右侧腔槽(14)的内壁上，右侧腔槽(14)的内底部固定有底部挡板(15)，底部挡板(15)的上端面固定有弹性层(16)。5.根据权利要求4所述的一种靶材基板承载载具，其特征在于，所述三角形拨料块(7)的侧壁上开设有左侧腔槽(17)，左侧腔槽(17)的内壁...

【专利技术属性】
技术研发人员：高建成，张莉兰，徐涛，汪强，钟小华，
申请(专利权)人：先导薄膜材料安徽有限公司，
类型：发明
国别省市：