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本发明公开了一种靶材基板承载载具，包括圆环底座，圆环底座的上端面转动设置有转动圈，转动圈的上端面固定有斜面圈，转动圈的内壁上对称设置有左侧移动板和右侧移动块，左侧移动板的侧壁上固定有上拨料板，右侧移动块上设置有三角形拨料块；本发明中的上拨料...
该专利属于先导薄膜材料（安徽）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过先导薄膜材料（安徽）有限公司授权不得商用。

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