翻板装置及镀膜设备制造方法及图纸

本申请涉及真空镀膜设备技术领域，尤其是涉及一种翻板装置及镀膜设备，翻板装置包括驱动组件、连接组件和翻板部，所述翻板部经由所述连接组件与所述驱动组件连接，所述连接组件包括垫块部、连接部和预压部，所述连接部的第一部分经由所述垫块部与所述翻板部的连接，使得所述连接部的第二部分与所述翻板部之间形成安置间隙，所述预压部设置于所述安置间隙，且所述预压部的两端分别与所述连接部和所述翻板部连接。根据本申请提供的翻板装置及镀膜设备，有效地拓展了驱动组件对翻板部的施力范围，提高了翻板部的受力均匀性，有效地避免了因翻板部受力不均导致的翻板部发生翘边、嵌缝、漏气等气密性不良的现象。漏气等气密性不良的现象。漏气等气密性不良的现象。

【技术实现步骤摘要】
翻板装置及镀膜设备


[0001]本申请涉及真空镀膜设备
，尤其是涉及一种翻板装置及镀膜设备。

技术介绍

[0002]物理气相沉积(Physical Vapor Deposition，PVD)技术是指在真空条件下采用物理方法将材料源(固体或液体)表面气化成气态原子或分子，或部分电离成离子，并通过低压气体(或等离子体)过程，在基体表面沉积具有某种特殊功能的薄膜的技术。PVD设备在镀膜过程中腔体的气密性直接影响镀膜产品的镀膜质量。
[0003]现今，通常在腔体的侧壁开设供待镀膜物进出腔体的进/出料口，并在进/出料口上设置翻板装置，通过翻板装置封堵和开启进/出料口。
[0004]翻板装置通常包括彼此连接的驱动部和翻板部，在翻板装置处于封堵进/出料口的状态下，翻板部在驱动部的作用下与腔体的侧壁贴合实现腔体的密封。随着技术发展，对镀膜生产效率要求逐渐提高，通常将进/出料口的尺寸设计的较大，以提高待镀膜物的进出料的效率。对应地，翻板部为满足封堵进/出料口的需求，也需要设置较大尺寸。这使得在翻板装置处于封堵进/出料口的状态下，驱动部难以对翻板部均匀施力，进而导致翻板部的远离驱动部的部分容易与腔体侧壁发生翘边、嵌缝、漏气等气密性不良的现象。导致腔体的气密性难以达到镀膜要求。

技术实现思路

[0005]本申请的目的在于提供一种翻板装置及镀膜设备，以在一定程度上解决现有技术中存在的通常将进/出料口的尺寸设计的较大，以提高待镀膜物的进出料的效率。对应地，翻板部为满足封堵进/出料口的需求，也需要设置较大尺寸。这使得在翻板装置处于封堵进/出料口的状态下，驱动部难以对翻板部均匀施力，进而导致翻板部的远离驱动部的部分容易与腔体侧壁发生翘边、嵌缝、漏气等气密性不良的现象。导致腔体的气密性难以达到镀膜要求的技术问题。
[0006]根据本申请的第一方面提供一种翻板装置，包括驱动组件、连接组件和翻板部，所述翻板部经由所述连接组件与所述驱动组件连接，所述连接组件包括垫块部、连接部和预压部，所述连接部的第一部分经由所述垫块部与所述翻板部的连接，使得所述连接部的第二部分与所述翻板部之间形成安置间隙，所述预压部设置于所述安置间隙，且所述预压部的两端分别与所述连接部和所述翻板部连接。
[0007]优选地，所述驱动组件包括沿第一方向延伸的驱动轴，所述连接组件的数量为多个，多个连接组件沿第一方向间隔设置，任一所述连接组件的连接部与所述驱动轴铰接。
[0008]优选地，所述预压部为弹性材料；
[0009]所述连接组件还包括缓冲部，所述缓冲部设置于所述连接部的背对所述翻板部的一侧。
[0010]优选地，所述驱动组件还包括驱动部，所述驱动部包括直线驱动和凸轮部，所述驱
动轴与所述凸轮部同轴设置，所述直线驱动与所述凸轮部的侧部铰接，以驱动所述翻板部绕所述驱动轴旋转。
[0011]优选地，所述驱动部还包括：
[0012]关节轴承，所述直线驱动和所述凸轮部两者将以所述关节轴承铰接；
[0013]感应部，设置于所述直线驱动的一侧，以检测所述直线驱动的行程；
[0014]调速部，与所述直线驱动连接。
[0015]优选地，所述驱动组件还包括轴承部，所述轴承部设置于所述驱动轴的两端，且套设于所述驱动轴外侧；
[0016]所述轴承部包括轴承部分、壳本体和密封部分，所述密封部分和所述轴承部分均与所述驱动轴同轴设置，所述壳本体设置于所述密封部分和所述轴承部分两者的外侧，所述密封部分设置于所述轴承部分的靠近所述翻板部的一侧，且所述密封部分压装于所述驱动轴与所述壳本体之间。
[0017]根据本申请的第二方面提供一种镀膜设备，包括上述任一技术方案所述的翻板装置，因而，具有该翻板装置的全部有益技术效果，在此，不再赘述。
[0018]优选地，所述镀膜设备还包括镀膜腔室，所述镀膜腔室包括在第二方向上彼此相对设置的进料口和出料口，所述翻板装置的数量为两个，两个翻板装置分别与所述进料口和所述出料口对应设置。
[0019]优选地，两个所述翻板装置中的一者设置于所述镀膜腔室的内侧，两个所述翻板装置中的另一者设置于所述镀膜腔室的外侧。
[0020]优选地，还包括传送装置，所述传送装置设置于所述镀膜腔室内，且所述传送装置的传送方向为所述第二方向。
[0021]与现有技术相比，本申请的有益效果为：
[0022]本申请提供的翻板装置，通过垫块部将连接部和翻板部之间形成安置间隙，并在安置间隙内设置两端分别与连接部和翻板部连接的预压部，有效地拓展了驱动组件对翻板部的施力范围，提高了翻板部的受力均匀性，有效地避免了因翻板部受力不均导致的翻板部发生翘边、嵌缝、漏气等气密性不良的现象。
[0023]为使本申请的上述目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举较佳实施例，并配合所附附图，作详细说明如下。
附图说明
[0024]为了更清楚地说明本申请具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本申请的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0025]图1为本申请实施例提供的翻板装置的轴测结构示意图；
[0026]图2为图1提供的翻板装置在A处的放大结构示意图；
[0027]图3为图1提供的翻板装置在B处的放大结构示意图；
[0028]图4为本申请实施例提供的镀膜设备的轴测结构示意图；
[0029]图5为本申请实施例提供的轴承部的沿轴线剖切获得的剖切结构示意图。
[0030]附图标记：
[0031]100
‑
翻板部；200
‑
连接组件；210
‑
连接部；211
‑
卡扣；212
‑
连接块；220
‑
垫块部；221
‑
垫板；222
‑
铰接轴；223
‑
铰接凸起；230
‑
缓冲部；231
‑
缓冲弹簧；232
‑
缓冲板；240
‑
预压部；310
‑
驱动轴；321
‑
直线驱动；322
‑
凸轮部；323
‑
关节轴承；324
‑
感应部；325
‑
调速部；330
‑
轴承部；331
‑
壳本体；332
‑
轴承部分；333
‑
密封圈；334
‑
卡簧；335
‑
抱环；340
‑
固定环；400
‑
镀膜腔室。
[0032]F1
‑
第一方向；F2
‑
第二方向；F3
...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种翻板装置，其特征在于，包括驱动组件、连接组件和翻板部，所述翻板部经由所述连接组件与所述驱动组件连接，所述连接组件包括垫块部、连接部和预压部，所述连接部的第一部分经由所述垫块部与所述翻板部的连接，使得所述连接部的第二部分与所述翻板部之间形成安置间隙，所述预压部设置于所述安置间隙，且所述预压部的两端分别与所述连接部和所述翻板部连接。2.根据权利要求1所述的翻板装置，其特征在于，所述驱动组件包括沿第一方向延伸的驱动轴，所述连接组件的数量为多个，多个连接组件沿第一方向间隔设置，任一所述连接组件的连接部与所述驱动轴铰接。3.根据权利要求1所述的翻板装置，其特征在于，所述预压部为弹性材料；所述连接组件还包括缓冲部，所述缓冲部设置于所述连接部的背对所述翻板部的一侧。4.根据权利要求2所述的翻板装置，其特征在于，所述驱动组件还包括驱动部，所述驱动部包括直线驱动和凸轮部，所述驱动轴与所述凸轮部同轴设置，所述直线驱动与所述凸轮部的侧部铰接，以驱动所述翻板部绕所述驱动轴旋转。5.根据权利要求4所述的翻板装置，其特征在于，所述驱动部还包括：关节轴承，所述直线驱动和所述凸轮部两者将以所述关节轴承铰接；感应部，设置于所述直线驱动的一侧，以检...

【专利技术属性】
技术研发人员：请求不公布姓名，
申请(专利权)人：广东利元亨智能装备股份有限公司，
类型：新型
国别省市：