一种搬运控制方法、装置、设备及介质制造方法及图纸

本发明专利技术实施例公开了一种搬运控制方法、装置、设备及介质，该方法通过响应于目标设备发送的工艺结束信号，向执行制造系统转发该工艺结束信息，然后获取执行制造系统返回的工艺结束数据完成信息，以及获取目标设备发送的搬运请求。当收到搬运请求以及工艺结束数据完成信息后，将搬运请求发送至搬送控制系统，以使该搬送控制系统根据该搬运请求进行物料搬运。如此，通过和执行制造系统进行交互，确定工艺已完成。当收到搬运请求以及工艺结束数据完成信息后，才将搬运请求发送至搬送控制系统，避免搬运时可能存在工艺未完成的情况，从而提高设备的稼动率，提高搬运控制的效率。提高搬运控制的效率。提高搬运控制的效率。

【技术实现步骤摘要】
一种搬运控制方法、装置、设备及介质


[0001]本专利技术实施例涉及控制
，尤其涉及一种搬运控制方法、装置、设备、计算机可读存储介质及计算机程序产品。

技术介绍

[0002]在制造流程中，为了节约人力，通常可以采用机器进行自动搬运。以半导体制造中为例，设备自动化控制系统 （Equipment Automation Program，EAP）可以与设备进行交互，获取设备的搬运请求，然后与搬送控制系统（Transport Control System，TCS）进行交互，搬送控制系统根据搬运请求将物料（盒子）搬运至目标位置。
[0003]但是，在搬送控制系统将物料搬运至其他设备时，制造执行系统（Manufacturing Execution System，MES）可能并没有处理完成当前设备的LOT信息，导致LOT无法在下一个设备中进行加工，从而影响搬运控制的稼动率。

技术实现思路

[0004]有鉴于此，本专利技术实施例期望提供一种搬运控制方法，该方法能够提高搬运控制的稼动率。本申请还提供了该方法对应的装置、设备、介质以及程序产品。
[0005]本专利技术实施例的技术方案是这样实现的：第一方面，本专利技术实施例提供了一种搬运控制方法，所述方法包括：响应于目标设备发送的工艺结束信号，向执行制造系统转发所述工艺结束信号；获取所述执行制造系统返回的工艺结束数据完成信息；获取目标设备发送的搬运请求；将所述搬运请求发送至搬送控制系统，以使所述搬运系统根据所述搬运请求进行物料搬运。
[0006]在一些可能的实现方式中，所述方法还包括：响应于目标设备发送的到达信号，获取所述目标设备的晶圆匣身份标识和设备装载口身份标识；在存储设备中存储所述晶圆匣身份标识和所述设备装载口身份标识的对应关系；从所述搬运请求中获取设备装载口身份标识；根据所述设备装载口身份标识，从所述存储设备中获取所述设备装载口身份标识对应的晶圆匣身份标识；将所述晶圆匣身份标识添加至所述搬运请求。
[0007]在一些可能的实现方式中，所述响应于目标设备发送的工艺结束信号，向执行制造系统转发所述工艺结束信号，包括：响应于目标设备发送的第一格式的工艺结束信号，向执行制造系统转发第二格式的所述工艺结束信号。
[0008]在一些可能的实现方式中，所述设备装载口身份标识用于指示搬运设备装载口位
置，所述晶圆匣身份标识用于指示晶圆匣位置。
[0009]在一些可能的实现方式中，所述第一格式为半导体生产标准格式或可编程逻辑控制器格式，所述第二格式为可扩展标记语言格式。
[0010]在一些可能的实现方式中，所述方法由设备自动化控制系统执行。
[0011]第二方面，本专利技术实施例提供了一种搬运控制装置，所述装置包括：结束模块，用于响应于目标设备发送的工艺结束信号，向执行制造系统转发所述工艺结束信号；所述结束模块，还用于获取所述执行制造系统返回的工艺结束数据完成信息；请求模块，用于获取目标设备发送的搬运请求；转发模块，用于将所述搬运请求发送至搬送控制系统，以使所述搬送控制系统根据所述搬运请求进行物料搬运。
[0012]在一些可能的实现方式中，所述装置还包括存储模块，用于：响应于目标设备发送的到达信号，获取所述目标设备的晶圆匣身份标识和设备装载口身份标识；在存储设备中存储所述晶圆匣身份标识和所述设备装载口身份标识的对应关系；从所述搬运请求中获取设备装载口身份标识；根据所述设备装载口身份标识，从所述存储设备中获取所述设备装载口身份标识对应的晶圆匣身份标识；将所述晶圆匣身份标识添加至所述搬运请求。
[0013]在一些可能的实现方式中，所述结束模块具体用于：响应于目标设备发送的第一格式的工艺结束信号，向执行制造系统转发第二格式的所述工艺结束信号。
[0014]在一些可能的实现方式中，所述设备装载口身份标识用于指示搬运设备装载口位置，所述晶圆匣身份标识用于指示晶圆匣位置。
[0015]在一些可能的实现方式中，所述第一格式为半导体生产标准格式或可编程逻辑控制器格式，所述第二格式为可扩展标记语言格式。
[0016]在一些可能的实现方式中，所述方法由设备自动化控制系统执行。
[0017]第三方面，本专利技术实施例提供了一种设备，设备包括处理器和存储器。处理器、存储器进行相互的通信。处理器用于执行存储器中存储的指令，以使得设备执行如第一方面或第一方面的任一种实现方式中的搬运控制方法。
[0018]第四方面，本申请提供一种计算机可读存储介质，计算机可读存储介质中存储有指令，指令指示设备执行上述第一方面或第一方面的任一种实现方式所述的搬运控制方法。
[0019]第五方面，本申请提供了一种包含指令的计算机程序产品，当其在设备上运行时，使得设备执行上述第一方面或第一方面的任一种实现方式所述的搬运控制方法。
[0020]本申请在上述各方面提供的实现方式的基础上，还可以进行进一步组合以提供更多实现方式。
[0021]从以上技术方案可以看出，本申请实施例具有以下优点：本专利技术实施例提供了一种搬运控制方法，该方法通过响应于目标设备发送的工艺
结束信号，向执行制造系统转发该工艺结束信息，然后获取执行制造系统返回的工艺结束数据完成信息，以及获取目标设备发送的搬运请求。当收到搬运请求以及工艺结束数据完成信息后，将搬运请求发送至搬送控制系统，以使该搬送控制系统根据该搬运请求进行物料搬运。如此，通过和执行制造系统进行交互，确定工艺已完成。当收到搬运请求以及工艺结束数据完成信息后，才将搬运请求发送至搬送控制系统，避免搬运时可能存在工艺未完成的情况，从而提高设备的稼动率，提高搬运控制的效率。
附图说明
[0022]为了更清楚地说明本申请实施例的技术方法，下面将对实施例中所需使用的附图作以简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0023]图1为本专利技术实施例提供的一种搬运控制方法的流程示意图；图2为本专利技术实施例提供的另一种搬运控制方法的流程示意图；图3为本专利技术实施例提供的又一种搬运控制方法的流程示意图；图4为本专利技术实施例提供的一种搬运控制方法的交互示意图；图5为本专利技术实施例提供的一种搬运控制装置的结构示意图；图6为本专利技术实施例提供的另一种搬运控制装置的结构示意图。
具体实施方式
[0024]下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。
[0025]本申请实施例中的术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。
[0026]在半导体制造的搬运过程中，设备自动化控制系统 （Equipment Automation Program，EAP）可以与设备进行交互，获取设备的搬运请求，然后与搬送控本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种搬运控制方法，其特征在于，所述方法包括：响应于目标设备发送的工艺结束信号，向执行制造系统转发所述工艺结束信号；获取所述执行制造系统返回的工艺结束数据完成信息；获取目标设备发送的搬运请求；将所述搬运请求发送至搬送控制系统，以使所述搬送控制系统根据所述搬运请求进行物料搬运。2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：响应于目标设备发送的到达信号，获取所述目标设备的晶圆匣身份标识和设备装载口身份标识；在存储设备中存储所述晶圆匣身份标识和所述设备装载口身份标识的对应关系；从所述搬运请求中获取设备装载口身份标识；根据所述设备装载口身份标识，从所述存储设备中获取所述设备装载口身份标识对应的晶圆匣身份标识；将所述晶圆匣身份标识添加至所述搬运请求。3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述响应于目标设备发送的工艺结束信号，向执行制造系统转发所述工艺结束信号，包括：响应于目标设备发送的第一格式的工艺结束信号，向执行制造系统转发第二格式的所述工艺结束信号。4.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述设备装载口身份标识用于指示搬运设备装载口位置，所述晶圆匣身份...

【专利技术属性】
技术研发人员：李乐杰，唐昊，刘永亮，范东方，
申请(专利权)人：西安奕斯伟硅片技术有限公司，
类型：发明
国别省市：