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本发明实施例公开了一种搬运控制方法、装置、设备及介质，该方法通过响应于目标设备发送的工艺结束信号，向执行制造系统转发该工艺结束信息，然后获取执行制造系统返回的工艺结束数据完成信息，以及获取目标设备发送的搬运请求。当收到搬运请求以及工艺结束数...
该专利属于西安奕斯伟硅片技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过西安奕斯伟硅片技术有限公司授权不得商用。

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