一种基于MEMS器件的电阻型传感器测试装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种基于MEMS器件的电阻型传感器测试装置，包括电源适配器、测试电路稳压电源、加热电路稳压电源、数模转换板和测试仓，所述电源适配器分别与测试电路稳压电源和加热电路稳压电源连接，所述测试电路稳压电源和加热电路稳压电源均与数模转换板连接，所述数模转换板与测试仓连接。本实用新型专利技术，电源适配器输出稳定的12V电压供给两路稳压电源，测试路电压通过稳压电源稳定在10V，加热路电压通过稳压电源调节稳定的输出以为传感器提供稳定的加热电压从而使加热电阻提供稳定的环境温度；测试仓内治具上的MEMS传感器感受外部环境变化导致电阻改变被数模转换板感知，采集信号传输给电脑，完成非电信号转化为电信号的传感转换过程。号的传感转换过程。号的传感转换过程。

【技术实现步骤摘要】
一种基于MEMS器件的电阻型传感器测试装置


[0001]本技术涉及传感器测试
，具体是一种基于MEMS器件的电阻型传感器测试装置。

技术介绍

[0002]大多时候我们需要采集感知的信号不是电信号，但为了将这些信号捕捉后便于显示、处理与应用，就需要将这些采集到的信号转换为电信号再通过计算机、电子元器件进行显示、处理等，这种转换器件被称之为传感器。电信号传感器最常见的就是电阻型传感器，本测试系统通过对电阻变化的采集来显示非电信号到电信号传感变化的MEMS器件测试。
[0003]现有测试系统所需测试氛围大，浪费资源；仪器本身需要的能耗较大；所测试元件对象为陶瓷管型电阻传感器，器件体积大，不易集成、放置与储存。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种基于MEMS器件的电阻型传感器测试装置，以解决现有技术中测试系统所需测试氛围大，浪费资源；仪器本身需要的能耗较大；所测试元件对象为陶瓷管型电阻传感器，器件体积大，不易集成、放置与储存的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种基于MEMS器件的电阻型传感器测试装置，包括电源适配器、测试电路稳压电源、加热电路稳压电源、数模转换板和测试仓，所述电源适配器分别与测试电路稳压电源和加热电路稳压电源连接，所述测试电路稳压电源和加热电路稳压电源均与数模转换板连接，所述数模转换板与测试仓连接。
[0006]优选的，还包括MEMS测试治具，所述MEMS测试治具与测试仓连接。
[0007]优选的，所述MEMS测试治具通过排针与测试仓上焊接的排座相连。
[0008]优选的，所述电源适配器分别通过导线与测试电路稳压电源和加热电路稳压电源连接，测试电路稳压电源和加热电路稳压电源均通过导线与数模转换板连接，所述数模转换板一端通过排线与测试仓连接，数模转换板另一端通过USB
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B转USB
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A数据线与电脑连接。
[0009]与现有技术相比，本技术的有益效果是：电源适配器输出稳定的12V电压供给两路稳压电源，测试路电压通过稳压电源稳定在10V，加热路电压通过稳压电源调节稳定的输出以为传感器提供稳定的加热电压从而使加热电阻提供稳定的环境温度；测试仓内治具上的MEMS传感器感受外部环境变化导致电阻改变被数模转换板感知，采集信号传输给电脑，完成非电信号转化为电信号的传感转换过程。
附图说明
[0010]附图用来提供对本技术的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本技术的实施例一起用于解释本技术，并不构成对本技术的限制。在附图中：
[0011]图1是本技术的结构示意图；
[0012]图2是本技术的测试电路图。
具体实施方式
[0013]为使本技术实施方式的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本技术实施方式中的附图，对本技术实施方式中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施方式是本技术一部分实施方式，而不是全部的实施方式。基于本技术中的实施方式，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施方式，都属于本技术保护的范围。因此，以下对在附图中提供的本技术的实施方式的详细描述并非旨在限制要求保护的本技术的范围，而是仅仅表示本技术的选定实施方式。基于本技术中的实施方式，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施方式，都属于本技术保护的范围。
[0014]请参阅图1
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2，本技术实施例中，一种基于MEMS器件的电阻型传感器测试装置，包括电源适配器、测试电路稳压电源、加热电路稳压电源、数模转换板和测试仓，所述电源适配器分别与测试电路稳压电源和加热电路稳压电源连接，所述测试电路稳压电源和加热电路稳压电源均与数模转换板连接，所述数模转换板与测试仓连接。
[0015]优选的，还包括MEMS测试治具，所述MEMS测试治具与测试仓连接。
[0016]优选的，所述MEMS测试治具通过排针与测试仓上焊接的排座相连。
[0017]优选的，所述电源适配器分别通过导线与测试电路稳压电源和加热电路稳压电源连接，测试电路稳压电源和加热电路稳压电源均通过导线与数模转换板连接，所述数模转换板一端通过排线与测试仓连接，数模转换板另一端通过USB
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B转USB
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A数据线与电脑连接。
[0018]测试电路稳压电源、加热电路稳压电源和数模转换板通过尼龙螺丝固定在亚克力底板上，亚克力底板通过四个尼龙柱支撑；MEMS测试治具通过排针与测试仓上焊接的排座相连，七路MEMS传感器敏感电阻一点连接10V电压，另一端通过排阻连接至0V电压，数模转换板监测排阻两端电压。
[0019]电源适配器输出稳定的12V电压供给两路稳压电源，测试路电压通过稳压电源稳定在10V，加热路电压通过稳压电源调节稳定的输出以为传感器提供稳定的加热电压从而使加热电阻提供稳定的环境温度；测试仓内治具上的MEMS传感器感受外部环境变化导致电阻改变被数模转换板感知，采集信号传输给电脑，完成非电信号转化为电信号的传感转换过程。
[0020]采用串联电分压原理来检测感知，敏感电阻与定值排阻相连，串联在10V电压内，通过监测定值排阻两端的电压以及串联电路电流恒定来计算敏感电阻的阻值。如图2：
[0021]R：加热电阻
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Sensor：敏感电阻
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RL：定值排阻
[0022]Vh：加热电压
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+：10V
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：0V
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Vout：测试电压敏感电阻阻值计算公式：
[0023]本技术的工作原理是：电源适配器输出稳定的12V电压供给两路稳压电源，测试路电压通过稳压电源稳定在10V，加热路电压通过稳压电源调节稳定的输出以为传感器提供稳定的加热电压从而使加热电阻提供稳定的环境温度；测试仓内治具上的MEMS传感器
感受外部环境变化导致电阻改变被数模转换板感知，采集信号传输给电脑，完成非电信号转化为电信号的传感转换过程；采用串联电分压原理来检测感知，敏感电阻与定值排阻相连，串联在10V电压内，通过监测定值排阻两端的电压以及串联电路电流恒定来计算敏感电阻的阻值。
[0024]最后应说明的是：以上所述仅为本技术的优选实施例而已，并不用于限制本技术，尽管参照前述实施例对本技术进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本技术的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本技术的保护范围之内。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种基于MEMS器件的电阻型传感器测试装置，其特征在于：包括电源适配器、测试电路稳压电源、加热电路稳压电源、数模转换板和测试仓，所述电源适配器分别与测试电路稳压电源和加热电路稳压电源连接，所述测试电路稳压电源和加热电路稳压电源均与数模转换板连接，所述数模转换板与测试仓连接。2.根据权利要求1所述的一种基于MEMS器件的电阻型传感器测试装置，其特征在于：还包括MEMS测试治具，所述MEMS测试治具与测试仓连接。3.根据权利要求2所述的一种基于MEMS器件的电...

【专利技术属性】
技术研发人员：王晨，徐甲强，胡庆敏，陈杨，
申请(专利权)人：上海大学，
类型：新型
国别省市：