流体控制装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种流体控制装置。流体控制装置(10)具备框体(11)。框体(11)的第一主板(20)具备：振动部(21)，供驱动体(30)配置，且在俯视观察时呈旋转对称形状；和多个开口(230)，形成于振动部(21)的外侧，使泵室(100)与外部连通。第二主板(40)具有开口(400)，该开口(400)使泵室(100)与外部连通，且在俯视观察时呈旋转对称形状。开口(400)配置为在俯视观察第一主板(20)及第二主板(40)时，包含振动部(21)的中心。开口(400)的开口面积(S400)为振动部(21)的面积(S21)的10％至75％。的面积(S21)的10％至75％。的面积(S21)的10％至75％。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】流体控制装置


[0001]本专利技术涉及利用压电体的流体控制装置。

技术介绍

[0002]在专利文献1中，记载了利用压电体来输送流体的流体控制装置。专利文献1所示的流体控制装置具备振动板、盖板以及框板。振动板和盖板隔开规定距离地相对配置。振动板的外周端和盖板的外周端通过框板连接。由此，形成由振动板、盖板以及框板围起来的泵室。振动板在外周附近具有吸入孔。盖板具有小径的排出孔。压电体设置于振动板。
[0003]振动板因压电体的应变而振动，由于该振动，泵室的体积变动。流体控制装置利用该体积变动，从吸入孔吸入流体，并将该流体从排出孔排出。
[0004]专利文献1：国际公开第2016/063710号
[0005]然而，在专利文献1所示的现有的流体控制装置中，难以增大泵室的体积变动，难以获得大的流量。

技术实现思路

[0006]因此，本专利技术的目的在于提供一种能够增大泵室的体积变动的流体控制装置。
[0007]本专利技术的流体控制装置具备：框体，使用相互对置的第一主板及第二主板形成泵室；和驱动体，配置于第一主板，使第一主板振动。第一主板具备：振动部，供驱动体配置且在俯视观察时呈旋转对称形状；和第一开口，形成于振动部的外侧，使泵室与第一主板侧的外部连通。第二主板具有第二开口，该第二开口使泵室与第二主板侧的外部连通，且在俯视观察时呈旋转对称形状。第二开口配置为在俯视观察第一主板及第二主板时包含振动部的中心。第二开口的开口面积为振动部的面积的10％至75％。
[0008]在该结构中，振动部与第二开口重叠的区域实质上无助于体积变动。由此，即使在振动部的中央和外周端产生反相的振动，也能抑制体积变动的相互抵消。
[0009]例如，在振动部的中央，振动部位移以便接近第二主板时，外周端位移以便远离第二主板。在该情况下，当第一主板和第二主板在大致整个面对置时，在中央有助于泵室的体积减少，在外周端有助于泵室的体积增加。因此，这些体积变化被抵消。
[0010]然而，通过在中央具有第二开口，从而泵室的体积变动实质上很大程度上取决于外周端处的体积变动。由此，上述的抵消得到抑制。
[0011]根据本专利技术，能够增大泵室的体积变动，获得大的流量。
附图说明
[0012]图1是表示第一实施方式所涉及的流体控制装置10的结构的一个例子的分解立体图。
[0013]图2是表示第一实施方式所涉及的流体控制装置10的结构的一个例子的侧视图。
[0014]图3是第一实施方式所涉及的流体控制装置10的俯视图。
[0015]图4(A)是表示开口率与体积变动率的关系的图表，图4(B)是表示开口率与中间流量的关系的图表。
[0016]图5(A)是表示开口率与体积变动量的关系的图表，图5(B)是表示开口率与压力的关系的图表。
[0017]图6是表示开口400的外周端的可设定范围的俯视图。
[0018]图7(A)、图7(B)分别是表示开口的位置、形状的一个例子的俯视图。
[0019]图8是表示第二实施方式所涉及的流体控制装置10A的结构的一个例子的侧视图。
[0020]图9是表示第三实施方式所涉及的流体控制装置10B的结构的一个例子的侧视图。
[0021]图10是表示第四实施方式所涉及的流体控制装置10C的结构的一个例子的侧视图。
[0022]图11是表示第五实施方式所涉及的流体控制装置10D的结构的一个例子的侧视图。
[0023]图12是表示第六实施方式所涉及的流体控制装置10E的结构的一个例子的侧视图。
[0024]图13(A)、图13(B)是表示第七实施方式所涉及的流体控制装置10F1、10F2的结构的一个例子的侧视图。
[0025]图14是表示第八实施方式所涉及的流体控制装置10G的结构的一个例子的侧视图。
具体实施方式
[0026](第一实施方式)
[0027]参照附图对本专利技术的第一实施方式所涉及的流体控制装置进行说明。图1是表示第一实施方式所涉及的流体控制装置10的结构的一个例子的分解立体图。图2是表示第一实施方式所涉及的流体控制装置10的结构的一个例子的侧视图。此外，与这些图一起，在以下各实施方式所示的各图中，为了使说明容易理解，将各个构成要素的形状局部或整体上夸大地记载。
[0028]如图1、图2所示，流体控制装置10具备框体11及驱动体30。框体11具备第一主板20、第二主板40以及连结部件50。
[0029]第一主板20是俯视观察时的形状为圆形的平板。第一主板20具有相互平行的主面201和主面202。第一主板20例如由金属等构成。此外，第一主板20的外形形状不限于圆形。第一主板20具备振动部21、外框部22、支承部23以及开口230。
[0030]振动部21是俯视观察时的形状为圆形的平板。此外，振动部21的俯视观察时的形状为旋转对称形状即可。振动部21是通过驱动体30而可弯曲振动的材质、厚度。弯曲振动是指，如图2的振动形状所示，在观察第一主板20(振动部21)的侧面时呈波状位移的振动。
[0031]外框部22为环状，配置于比振动部21的外缘靠外侧。在俯视观察时，外框部22包围振动部21。
[0032]多个支承部23为梁形状。多个支承部23配置在振动部21与外框部22之间。多个支承部23连接于振动部21的外缘和外框部22的内缘。多个支承部23沿着振动部21的外缘空开间隔地配置。
[0033]多个开口230配置在振动部21与外框部22之间。多个开口230将第一主板20的主面201与主面202之间贯通。多个开口230是在振动部21与外框部22之间的区域中没有形成多个支承部23的部分。开口230对应于本专利技术的“第一开口”。
[0034]通过这样的结构，在第一主板20中，振动部21被多个支承部23支承为相对于外框部22可振动。
[0035]此外，振动部21、外框部22以及多个支承部23优选一体成型。即，振动部21、外框部22以及多个支承部23优选通过利用规定的方法对一张平板进行冲裁加工而形成多个开口230来实现。由此，利用多个支承部23将振动部21和外框部22连接，能够高精度且容易地实现具有多个开口230的形状。但是，振动部21、外框部22以及多个支承部23也可以不一体成型。即，振动部21、外框部22以及多个支承部23也可以通过将单独的部件连接来实现。
[0036]第二主板40是俯视观察时的形状为圆形的平板。此外，第二主板40的外形只要俯视观察时的形状为旋转对称形状即可。第二主板40具有相互平行的主面401和主面402。第二主板40相对于第一主板20配置为主面401和主面202分离地对置。
[0037]第二主板40具备开口400。开口400将第二主板40的主面401与主面402之间贯通。开口400的俯视观察时的形状为圆形。此外，开口400只要俯视观察时的形状为旋转对称形状即可。
[0038]连结部件50为环状的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种流体控制装置，其中，具备：框体，使用相互对置的第一主板及第二主板而形成泵室；和驱动体，配置于所述第一主板，使所述第一主板振动，所述第一主板具备：振动部，供所述驱动体配置，且在俯视观察时呈旋转对称形状；外框部，位于所述振动部的外侧；支承部，将所述振动部与所述外框部连接；以及第一开口，由所述振动部、所述外框部及所述支承部包围而形成，使所述泵室与所述第一主板侧的外部连通，所述第二主板具有第二开口，所述第二开口使所述泵室与所述第二主板侧的外部连通，且在俯视观察时呈旋转对称形状，所述第二开口配置为在俯视观察所述第一主板及所述第二主板时，与所述振动部的中心重叠，所述第二开口的开口面积为所述振动部的面积的10％至75％。2.根据权利要求1所述的流体控制装置，其中，所述框体具备配置在所述外框部与所述第二主板之间的连结部件。3.根据权利要求1或2所述的流体控制装置，其中，所述振动部具有包含俯视观察时的中心的中央部分、和包围该中央部分的周边部分，所述中央部分比所述周边部分厚。4.根据权利要求3所述的流体控制装置，其中，在俯视观察时，所述中央部分的外周与所述第二主板的不具有所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：川端友德，田中伸拓，
申请(专利权)人：株式会社村田制作所，
类型：发明
国别省市：