流体控制装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种流体控制装置。流体控制装置(10)具备泵(20)和将泵(20)内包的外框体(40)。外框体(40)具备第一外壁，该第一外壁形成泵(20)的平板(21)侧的内部空间(101)，并具有使内部空间(101)与外部空间连通的贯通孔(51)。第一外壁具备：外壁主板(41)，与压电元件(30)对置；和侧板(431)，与外壁主板(41)连接，且具有贯通孔(51)。外壁主板(41)具有比第二外壁高的导热性。壁高的导热性。壁高的导热性。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】流体控制装置


[0001]本专利技术涉及具备泵和内包泵的框体的流体控制装置。

技术介绍

[0002]在专利文献1中，记载了具备泵部、阀部以及外框体的压电鼓风机。泵部与阀部连通。由泵部和阀部构成的部分配置在外框体内。由泵部和阀部构成的构造体固定于外框体。
[0003]由泵部和阀部构成的构造体将外框体的内部空间分成泵侧的空间和阀侧的空间。在外框体形成有使泵侧的空间与外部空间连通的贯通孔、以及使阀侧的空间与外部空间连通的贯通孔。
[0004]泵部具备压电元件。通过对压电元件施加驱动电压信号，使其作为泵发挥功能。压电元件露出于泵侧的空间。
[0005]专利文献1：国际公开第2017/038565号
[0006]然而，在专利文献1所示的结构中，当长时间驱动压电元件时，产生的热量积存在外框体内。由此，压电鼓风机整体的温度上升，作为鼓风机(流体控制装置)的特性降低。

技术实现思路

[0007]因此，本专利技术的目的在于提供一种能够抑制由压电元件的发热引起的特性的降低的流体控制装置。
[0008]本专利技本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种流体控制装置，其中，所述流体控制装置具备泵、和将所述泵内包的外框体，所述泵具备：第一平板；第二平板，配置为相对于所述第一平板空开间隔地对置，并与所述第一平板一起形成泵室；以及压电元件，配置于所述第一平板的与所述泵室相反侧的面，所述外框体具备：第一外壁，形成所述第一平板侧的第一内部空间，并具有使所述第一内部空间与外部空间连通的第一贯通孔；和第二外壁，形成所述第二平板侧的第二内部空间，并具有使所述第二内部空间与外部空间连通的第二贯通孔，所述第一外壁具备：第一外壁主板，与所述压电元件对置；和第一侧板，与所述第一外壁主板连接，且具有所述第一贯通孔，所述第一外壁主板具有比所述第二外壁高的导热性。2.根据权利要求1所述的流体控制装置，其中，所述第一外壁主板的与所述压电元件对置的面是金属。3.根据权利要求2所述的流体控制装置，其中，所述第一外壁主板的主材料是所述金属。4.根据权利要求3所述的流体控制装置，其中，所述第一外壁主板是所述金属。5.根据...

【专利技术属性】
技术研发人员：田中伸拓，川端友德，阿知波宽基，
申请(专利权)人：株式会社村田制作所，
类型：发明
国别省市：