流体控制装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种流体控制装置。流体控制装置(10)具备泵(20)和将泵(20)内包的外框体(40)。外框体(40)具备第一外壁，该第一外壁形成泵(20)的平板(21)侧的内部空间(101)，并具有使内部空间(101)与外部空间连通的贯通孔(51)。第一外壁具备：外壁主板(41)，与压电元件(30)对置；和侧板(431)，与外壁主板(41)连接，且具有贯通孔(51)。外壁主板(41)具有比第二外壁高的导热性。壁高的导热性。壁高的导热性。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】流体控制装置


[0001]本专利技术涉及具备泵和内包泵的框体的流体控制装置。

技术介绍

[0002]在专利文献1中，记载了具备泵部、阀部以及外框体的压电鼓风机。泵部与阀部连通。由泵部和阀部构成的部分配置在外框体内。由泵部和阀部构成的构造体固定于外框体。
[0003]由泵部和阀部构成的构造体将外框体的内部空间分成泵侧的空间和阀侧的空间。在外框体形成有使泵侧的空间与外部空间连通的贯通孔、以及使阀侧的空间与外部空间连通的贯通孔。
[0004]泵部具备压电元件。通过对压电元件施加驱动电压信号，使其作为泵发挥功能。压电元件露出于泵侧的空间。
[0005]专利文献1：国际公开第2017/038565号
[0006]然而，在专利文献1所示的结构中，当长时间驱动压电元件时，产生的热量积存在外框体内。由此，压电鼓风机整体的温度上升，作为鼓风机(流体控制装置)的特性降低。

技术实现思路

[0007]因此，本专利技术的目的在于提供一种能够抑制由压电元件的发热引起的特性的降低的流体控制装置。
[0008]本专利技术的流体控制装置具备泵和内包泵的外框体。泵具备：第一平板；第二平板，配置为相对于第一平板空开间隔地对置，并与第一平板一起形成泵室；以及压电元件，配置于第一平板的与泵室相反侧的面。外框体具备：第一外壁，形成第一平板侧的第一内部空间，并具有使第一内部空间与外部空间连通的第一贯通孔；和第二外壁，形成第二平板侧的第二内部空间，并具有使第二内部空间与外部空间连通的第二贯通孔。第一外壁具备：第一外壁主板，与压电元件对置；和第一侧板，与第一外壁主板连接且具有第一贯通孔。第一外壁主板具有比第二外壁高的导热性。
[0009]在该结构中，由于压电元件的驱动而产生的热量经由第一外壁主板以高效率向外部空间散热。
[0010]根据本专利技术，能够抑制由压电元件的发热引起的特性降低。
附图说明
[0011]图1是表示第一实施方式所涉及的流体控制装置10的结构的一个例子的分解立体图。
[0012]图2(A)是表示第一实施方式所涉及的流体控制装置10的结构的一个例子的侧面剖视图，图2(B)是概略地表示第一实施方式所涉及的流体控制装置10的散热状态的图。
[0013]图3是表示比较结构的流体控制装置和本专利技术的第一实施方式所涉及的结构的流体控制装置10中的压电元件侧的内部空间的温度的图。
[0014]图4是表示第二实施方式所涉及的流体控制装置10A的结构的一个例子的侧面剖视图。
[0015]图5是表示比较结构的流体控制装置和本专利技术的第二实施方式所涉及的结构的流体控制装置10A中的压电元件侧的内部空间的温度的图。
[0016]图6(A)、图6(B)是表示第三实施方式所涉及的流体控制装置10B1、10B2的结构的一个例子的侧面剖视图。
[0017]图7(A)是表示第四实施方式所涉及的流体控制装置10C的结构的一个例子的侧面剖视图，图7(B)是表示第四实施方式所涉及的流体控制装置10C的结构的一部分的分解立体图。
[0018]图8(A)、图8(B)是表示第五实施方式所涉及的流体控制装置10D1、10D2的结构的一个例子的侧面剖视图。
[0019]图9(A)、图9(B)是表示第六实施方式所涉及的流体控制装置10E1、10E2的结构的一个例子的侧面剖视图。
[0020]图10是表示第七实施方式所涉及的流体控制装置10F的结构的一个例子的侧面剖视图。
[0021]图11是表示第八实施方式所涉及的流体控制装置10G的结构的一个例子的侧面剖视图。
具体实施方式
[0022][第一实施方式][0023]参照附图对本专利技术的第一实施方式所涉及的流体控制装置进行说明。图1是表示第一实施方式所涉及的流体控制装置10的结构的一个例子的分解立体图。图2(A)是表示第一实施方式所涉及的流体控制装置10的结构的一个例子的侧面剖视图，图2(B)是概略地表示第一实施方式所涉及的流体控制装置10的散热状态的图。在包括本实施方式的各实施方式的各图中，为了使流体控制装置10的结构容易理解，将各个构成要素的形状局部或整体上夸大地记载。
[0024]如图1、图2(A)所示，流体控制装置10具备泵20以及外框体40。泵20大致内包于外框体40。
[0025](泵20的结构)
[0026]泵20具备平板21、平板22、泵用框体23以及压电元件30。
[0027]平板21是圆板。平板21由金属板等构成。在平板21形成有贯通孔TH21。贯通孔TH21沿厚度方向贯通平板21。贯通孔TH21形成在平板21的外周端附近。更具体而言，在俯视观察时，形成于比平板21与压电元件30重叠的部分靠外周侧，且比平板21与后述的泵用框体23重叠的部分靠中心侧。贯通孔TH21沿厚度方向贯通平板21。贯通孔TH21是沿着平板21的外周形成且呈离散的形状的槽。由此，平板21中的比贯通孔TH21的形成部分靠内侧的部分能够进行弯曲振动。
[0028]压电元件30配置于平板21的一个主面。压电元件30是圆板，且俯视观察时的形状比平板21小。在俯视观察时，压电元件30的中心与平板21的中心大致一致。压电元件30例如由平板的压电体和形成于该压电体的两个主面的电极图案实现。
[0029]平板22的俯视观察时的形状为规定形状(在流体控制装置10中为矩形)，由比平板21难以弯曲的材料构成，具有厚度。
[0030]平板22配置于平板21的另一主面侧(与配置有压电元件30的一侧相反的一侧)。平板22相对于平板21在与主面(平板面)正交的方向上分离地配置。平板22的主面与平板21的主面平行。平板22的俯视观察时的面积比平板21的俯视观察时的面积大。在俯视观察时，平板22的中心与平板21的中心大致一致。在平板22形成有贯通孔TH22。贯通孔TH22沿厚度方向贯通平板22。贯通孔TH22配置在平板22的俯视观察时的中心。
[0031]泵用框体23为圆环形。泵用框体23配置在平板21与平板22之间，并接合或粘接于平板21和平板22。由此，泵20具有由平板21、平板22以及泵用框体23围起来的泵室100。此外，平板21对应于本专利技术的“第一平板”，平板22对应于本专利技术的“第二平板”。
[0032](外框体40的结构)
[0033]外框体40具备外壁主板41、外壁主板42、侧板431以及侧板432。此外，在图1、图2(A)的结构中，平板22的外周端部分也构成外框体40的一部分。
[0034](第一外壁的结构)
[0035]第一外壁由外壁主板41和侧板431构成。
[0036]外壁主板41是规定形状的平板。例如，如果是图1、图2(A)的情况，则外壁主板41是俯视观察时为矩形的平板。外壁主板41的俯视观察时的形状是比平板21大，与平板22大致相同的大小且大致相同的形状。
[0037]外壁主板41配置于平板21的一个主面侧(配置有压电元件30的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种流体控制装置，其中，所述流体控制装置具备泵、和将所述泵内包的外框体，所述泵具备：第一平板；第二平板，配置为相对于所述第一平板空开间隔地对置，并与所述第一平板一起形成泵室；以及压电元件，配置于所述第一平板的与所述泵室相反侧的面，所述外框体具备：第一外壁，形成所述第一平板侧的第一内部空间，并具有使所述第一内部空间与外部空间连通的第一贯通孔；和第二外壁，形成所述第二平板侧的第二内部空间，并具有使所述第二内部空间与外部空间连通的第二贯通孔，所述第一外壁具备：第一外壁主板，与所述压电元件对置；和第一侧板，与所述第一外壁主板连接，且具有所述第一贯通孔，所述第一外壁主板具有比所述第二外壁高的导热性。2.根据权利要求1所述的流体控制装置，其中，所述第一外壁主板的与所述压电元件对置的面是金属。3.根据权利要求2所述的流体控制装置，其中，所述第一外壁主板的主材料是所述金属。4.根据权利要求3所述的流体控制装置，其中，所述第一外壁主板是所述金属。5.根据...

【专利技术属性】
技术研发人员：田中伸拓，川端友德，阿知波宽基，
申请(专利权)人：株式会社村田制作所，
类型：发明
国别省市：