下载流体控制装置的技术资料

文档序号:37856761

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本发明提供一种流体控制装置。流体控制装置(10)具备泵(20)和将泵(20)内包的外框体(40)。外框体(40)具备第一外壁,该第一外壁形成泵(20)的平板(21)侧的内部空间(101),并具有使内部空间(101)与外部空间连通的贯通孔(5...
该专利属于株式会社村田制作所所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社村田制作所授权不得商用。

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