一种用于化学气相沉积的催化加热器制造技术

本发明专利技术总的来说涉及催化加速化学气相沉积技术领域，提出一种用于化学气相沉积的催化加热器，包括：碳基加热器；以及金属催化层，其布置在所述碳基加热器上。本发明专利技术的碳基加热器作为加热器来说较金属丝更稳定，并且相对于独立布置的加热器热容量小，不会导致衬底过温。并且由于加热器与催化体解耦，在金属催化层发生劣化的情况下，电流不会发生断流，加热器继续工作。续工作。续工作。

【技术实现步骤摘要】
一种用于化学气相沉积的催化加热器


[0001]本专利技术总的来说涉及催化加速化学气相沉积
具体而言，本专利技术涉及一种用于化学气相沉积的催化加热器。

技术介绍

[0002]在传统的催化加速化学气相沉积(Catalyst Chemical Vapor Deposition，Cat
‑
CVD)中，通常使用热金属丝进行加热和催化，因此Cat
‑
CVD也称为热丝化学气相沉积(Hot Wire Chemical Vapor Deposition，HWCVD)。
[0003]图1示出了现有技术中一个HWCVD设备的示意图。HWCVD具有反应速率高、沉积速度快以及气体利用率高等优点，相比于等离子增强化学气相沉积(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition，PECVD)，其不需要昂贵的射频电源或者微波头等设备，可以降低设备的制造成本和运行成本。此外HWCVD可以进行双面沉积，也就是可以对热丝两侧的衬底同时进行沉积，有效降低成本。具体而言，HWCVD可以高效地分解H2，生本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于化学气相沉积的催化加热器，其特征在于，包括：碳基加热器；以及金属催化层，其布置在所述碳基加热器上。2.根据权利要求1所述的用于化学气相沉积的催化加热器，其特征在于，所述金属催化层包括钽催化层、钨催化层或者金属碳化物催化层。3.根据权利要求1所述的用于化学气相沉积的催化加热器，其特征在于，所述金属催化层通过电镀、化学镀、水浴、电铸、冷喷涂、热喷涂、等离子喷涂、蒸镀、物理气相沉积或者化学气相沉积布置在所述碳基加热器上。4.根据权利要求1所述的用于化学气相沉积的催化加热器，其特征在于，所述碳基加热器的材料包括碳纤维、玻璃碳、石墨、碳化硅涂层石墨、CFC碳毡、石墨纸张以及碳化物陶瓷。5.根据权利要求1所述的用于化学气相沉积的催化加热器，其特征在于，所述碳基加热器为电阻式加热器，所述碳基加热构成均质加热器。6.根据权利要求1所述的用于化学气相沉积的催化加热器，其特征在于，所述碳基加热器的形状包括直棒形、蛇尾形或者n型。7.根据权利要求1所述的用于化学气相沉积的催化加热器，其特征在于，所述碳基加热器的材料为柔性可编织材料，其中所述碳基加...

【专利技术属性】
技术研发人员：丁欣，
申请(专利权)人：上海埃延半导体有限公司，
类型：发明
国别省市：