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本发明总的来说涉及催化加速化学气相沉积技术领域，提出一种用于化学气相沉积的催化加热器，包括：碳基加热器；以及金属催化层，其布置在所述碳基加热器上。本发明的碳基加热器作为加热器来说较金属丝更稳定，并且相对于独立布置的加热器热容量小，不会导致衬...
该专利属于上海埃延半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海埃延半导体有限公司授权不得商用。

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