【技术实现步骤摘要】
气体供应装置、带气体供应装置的系统和粒子辐射设备
[0001]本专利技术涉及一种气体供应装置、一种具有气体供应装置的系统、以及一种具有气体供应装置或前述系统的粒子辐射设备。粒子辐射设备例如被设计为电子辐射设备和/或离子辐射设备。
技术介绍
[0002]电子辐射设备、尤其扫描电子显微镜(以下也称为SEM)和/或透射电子显微镜(以下也称为TEM)用于研究物体(样本),以获得在特定条件下的特性和行为方面的认知。
[0003]在SEM的情况下,借助于射束发生器来产生电子射束(以下又被称为初级电子射束)并且通过射束引导系统将其聚焦到待研究的物体上。借助于偏转装置以扫描方式在待研究的物体的表面上引导初级电子射束。初级电子射束的电子在此与待研究的物体进行相互作用。作为相互作用的结果,尤其从物体发射电子(所谓的次级电子)并且将初级电子射束的电子返回散射(所谓的返回散射电子)。检测次级电子和返回散射电子并将其用于产生图像。由此获得待研究物体的成像。
[0004]在TEM的情况下,同样借助于射束发生器来产生初级电子射束并且借助于射束引导系统将其聚焦到待研究的物体上。初级电子射束透射待研究的物体。在初级电子射束穿过待研究的物体时,初级电子射束的电子与待研究的物体的材料进行相互作用。穿透待研究的物体的电子通过由物镜和透射透镜(Projektiv)组成的系统在光屏上或在检测器(例如相机)上成像。在此成像还可以在TEM的扫描模式下进行。这种TEM一般被称为STEM。另外可以提出的是,在待研究的物体处借助于另外的检测器来检测返回散 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种气体供应装置(1000),所述气体供应装置具有:
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至少一个供应单元(1001),用于将气态状态的第一前体(3035)和/或气态状态的第二前体(3035)供应到物体(125,425)上;
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至少一个第一引导装置(L1,L2,L7),用于将所述气态状态的第一前体(3035)引导至所述供应单元(1001);
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至少一个第二引导装置(L1,L2,L7),用于将所述气态状态的第二前体(3035)引导至所述供应单元(1001);
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至少一个第一阀(V1,V2,V9),用于控制所述气态状态的第一前体(3035)的流量,其中所述第一阀(V1,V2,V9)布置在所述第一引导装置(L1,L2,L7)与所述供应单元(1001)之间;
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至少一个第二阀(V1,V2,V9),用于控制所述气态状态的第二前体(3035)的流量,其中所述第二阀(V1,V2,V9)布置在所述第二引导装置(L1,L2,L7)与所述供应单元(1001)之间;以及
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至少一个控制阀(1005),用于控制所述气态状态的第一前体(3035)和/或所述气态状态的第二前体(3035)到所述供应单元(1001)的流量,其中
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所述控制阀(1005)借助第三引导装置(L3,L4,L8)与所述第一阀(V1,V2,V9)相连接,
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所述控制阀(1005)布置在所述第一阀(V1,V2,V9)与所述供应单元(1001)之间,
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所述控制阀(1005)借助第四引导装置(L3,L4,L8)与所述第二阀(V1,V2,V9)相连接,
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所述控制阀(1005)布置在所述第二阀(V1,V2,V9)与所述供应单元(1001)之间,
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所述控制阀(1005)藉由管线(1009)与用于供应所述气态状态的第一前体(3035)和/或所述气态状态的第二前体(3035)的所述供应单元(1001)相连接,并且其中
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给出以下特征中的至少一个特征:(i)所述第一阀(V1,V2,V9)被设计为电磁阀;(ii)所述第二阀(V1,V2,V9)被设计为电磁阀;(iii)所述控制阀(1005)被设计为电磁阀。2.根据权利要求1所述的气体供应装置(1000),其中所述气体供应装置(1000)具有以下特征中的至少一个特征:(i)所述第一阀(V1,V2,V9)被设计为脉冲电磁阀;(ii)所述第二阀(V1,V2,V9)被设计为脉冲电磁阀;(iii)所述控制阀(1005)被设计为脉冲电磁阀。3.根据权利要求1或2所述的气体供应装置(1000),其中所述第三引导装置(L3,L4,L8)和所述第四引导装置(L3,L4,L8)具有共用的连接区段(1023),所述连接区段与所述控制阀(1005)相连接。4.根据前述权利要求之一所述的气体供应装置(1000),其中所述气体供应装置(1000)具有紧固装置以用于将所述气体供应装置(1000)以可松脱的方式紧固到气体供应单元(2001)上,其中所述气体供应单元(2001)包括至少两个前体储存器(1002,1003,1004,3000)。5.根据前述权利要求之一所述的气体供应装置(1000),其中
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所述气体供应装置(1000)具有第一区段和第二区段,
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所述第一引导装置(L1,L2,L7)和所述第二引导装置(L1,L2,L7)布置在所述第一区段中,
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所述第一阀(V1,V2,V9)、所述第二阀(V1,V2,V9)和所述控制阀(1005)布置在所述第二区段中,并且其中
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所述第一区段以可松脱的方式布置在所述第二区段中。6.根据前述权利要求之一所述的气体供应装置(1000),其中
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所述控制阀(1005)和所述供应单元(1001)形成可移动的单元(1024),并且其中
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所述可移动的单元(1024)以可松脱的方式布置在所述气体供应装置(1000)中。7.根据权利要求6所述的气体供应装置(1000),其中
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所述控制阀(1005)具有至少一个可移动阀体(1022)和至少一个线圈(1021),
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所述可移动阀体(1022)被所述线圈(1021)包围,并且其中
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仅所述可移动阀体(1022)与所述供应单元(1001)形成所述可移动单元(1024)。8.一种系统(2000),所述系统具有根据前述权利要求之一所述的气体供应装置(1000)以及气体供应单元(2001),所述气体供应单元包括第一前体储存器(1002,1003,1004,3000)和第二前体储存器(1002,1003,1004,3000)。9.根据权利要求8所述的系统(2000),其中所述气体供应装置(1000)至少部分或完全可松脱地布置在所述气体供应单元(2001)上。10.根据权利要求8或9所述的系统(2000),其中所述气体供应单元(2001)具有以下特征:
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所述第一引导装置(L1,L2,...
【专利技术属性】
技术研发人员:A施蒙茨,G沃特,B斯坦克,G施密德,
申请(专利权)人:卡尔蔡司显微镜有限责任公司,
类型:发明
国别省市:
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