压力传感器及其制造方法技术

技术编号:37985742 阅读:6 留言:0更新日期:2023-06-30 10:00
提供一种异物不易附着于凝胶材料从而抑制压力传感器的特性变化的压力传感器。本发明专利技术的压力传感器包括:壳体(2、3),其形成有开口部(31);压敏元件(4),其设于所述壳体内;凝胶材料(5),其具有防水性,而在所述壳体内将所述压敏元件密封;以及多个被覆构件(6),其铺设于所述凝胶材料的表面,所述多个被覆构件为非粘合性,构成为不互相结合。构成为不互相结合。构成为不互相结合。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】压力传感器及其制造方法


[0001]本专利技术涉及压敏元件被密封的防水型的压力传感器及其制造方法。

技术介绍

[0002]以往作为这种压力传感器例如已知有专利文献1(日本特开2017

181302号公报)所记载的压力传感器。
[0003]专利文献1所记载的压力传感器包括:壳体,其形成有开口部;压力检测元件,其设于所述壳体内的与所述开口部相对的位置;以及凝胶材料,其在所述壳体内将所述压力检测元件密封。借助所述凝胶材料对所述压力检测元件施加压力。所述凝胶材料具有较高的粘合性,以便紧贴于所述壳体和所述压力检测元件从而防止水分进入到所述压力检测元件。
[0004]现有技术文献
[0005]专利文献
[0006]专利文献1:日本特开2017

181302号公报

技术实现思路

[0007]专利技术要解决的问题
[0008]但是,在专利文献1的压力传感器中,由于凝胶材料具有较高的粘合性,因此异物会容易附着于其表面。附着于凝胶材料的异物会引起压力传感器的特性变化。此外,将附着于凝胶材料的异物除去也很困难。
[0009]因而,本专利技术的目的在于提供一种异物不易附着于凝胶材料从而抑制压力传感器的特性变化的压力传感器。
[0010]用于解决问题的方案
[0011]为了达到前述目的,本专利技术的压力传感器包括:
[0012]壳体,其形成有开口部;
[0013]压敏元件,其设于所述壳体内;
[0014]凝胶材料,其具有防水性,而在所述壳体内将所述压敏元件密封;以及
[0015]多个被覆构件,其铺设于所述凝胶材料的表面,
[0016]所述多个被覆构件为非粘合性,构成为不互相结合。
[0017]专利技术的效果
[0018]根据本专利技术,异物不易附着于凝胶材料,从而抑制压力传感器的特性变化。
附图说明
[0019]图1是本专利技术的第1实施方式的压力传感器的侧视图。
[0020]图2是图1的压力传感器的俯视图。
[0021]图3是图2的A1

A1线剖视图。
[0022]图4是关于本专利技术的第2实施方式的压力传感器表示多个被覆构件的配置的示意图。
[0023]图5A是示出图1的压力传感器的制造方法的一例的剖视图。
[0024]图5B是示出图1的压力传感器的制造方法的一例的剖视图。
[0025]图5C是示出图1的压力传感器的制造方法的一例的剖视图。
[0026]图6是制造本专利技术的第1实施方式的压力传感器的方法的流程图。
[0027]图7是制造本专利技术的第2实施方式的压力传感器的第1方法的流程图。
[0028]图8是制造本专利技术的第2实施方式的压力传感器的第2方法的流程图。
[0029]图9是关于本专利技术的压力传感器表示多个被覆构件的配置的示意图。
具体实施方式
[0030]本专利技术的一方案的压力传感器构成为包括:壳体,其形成有开口部;压敏元件,其设于所述壳体内;凝胶材料,其具有防水性,而在所述壳体内将所述压敏元件密封;以及多个被覆构件,其铺设于所述凝胶材料的表面,所述多个被覆构件为非粘合性,不互相结合。
[0031]根据该结构,由于凝胶材料的表面被多个被覆构件覆盖,因此防止异物附着于凝胶材料。此外,由于多个被覆构件为非粘合性,因此能容易地将附着于被覆构件的异物除去。因而能抑制压力传感器的特性变化。
[0032]此外,由于多个被覆构件不互相结合,因此不会形成由多个被覆构件构成的在多个部位附着于凝胶材料的表面的被覆构造体。由此,不会产生相对于凝胶材料的变形而言的应力,因此能抑制由该应力的变化引起的压力传感器的特性变化。此外,异物不会通过在该被覆构造体产生的间隙而到达凝胶材料的表面,能进一步抑制压力传感器的特性变化。
[0033]还优选的是,所述多个被覆构件是具有球形形状或大致球形形状的颗粒。
[0034]根据该结构,与各被覆构件具有其他形状的情况相比,各被覆构件与凝胶材料的表面的接触面积较小。由此,各被覆构件相对于凝胶材料的表面的附着不易受到凝胶材料的变形的影响。即,在使用压力传感器的过程中,被覆构件不易自凝胶材料的表面剥离。因而,能更可靠地发挥防止异物附着于凝胶材料的效果,从而进一步抑制压力传感器的特性变化。
[0035]还优选的是,所述多个被覆构件是球半径互不相同的两种以上的颗粒。
[0036]根据该结构,多个被覆构件至少包含较大的颗粒和较小的颗粒。在这样的情况下,在将多个被覆构件铺设于凝胶材料的表面时,能以填埋较大的颗粒彼此的间隙的方式配置较小的颗粒。由此,与多个被覆构件仅由较大的颗粒构成的情况相比较,凝胶材料的表面的更大区域被多个被覆构件覆盖。因而,能进一步防止异物附着于凝胶材料,从而更可靠地抑制压力传感器的特性变化。
[0037]还优选的是,在将所述多个被覆构件的第n大的颗粒的球半径设为Ra并将所述多个被覆构件的第n+1大的颗粒的球半径设为Rb时,满足下式。
[0038]【数式1】
[0039][0040]根据该结构,在多个被覆构件铺设于凝胶材料的表面时,第n+1大的颗粒能更可靠地配置于第n大的颗粒彼此的间隙中。由此,凝胶材料的表面的更大区域被多个被覆构件覆
盖。因而,能进一步防止异物附着于凝胶材料,从而更可靠地抑制压力传感器的特性变化。
[0041]还优选的是,所述多个被覆构件由硅酮颗粒、二氧化硅颗粒和丙烯酸系颗粒中的至少一者构成。
[0042]根据该结构,能够实现非粘合性的不互相结合的多个被覆构件。
[0043]本专利技术的一方案的压力传感器的制造方法包括以下工序:准备工序,在该准备工序中准备组装体,该组装体包括形成有开口部的壳体、设于所述壳体内的压敏元件、以及具有防水性而在所述壳体内将所述压敏元件密封的凝胶材料;以及铺设工序,在该铺设工序中,在所述凝胶材料的表面铺设多个被覆构件。
[0044]根据该方法,由于凝胶材料的表面被多个被覆构件覆盖,因此防止异物附着于凝胶材料。因而能抑制压力传感器的特性变化。
[0045]此外也可以是,所述制造方法还包括排出工序,在该排出工序中,将未附着于所述凝胶材料的表面的所述被覆构件从所述开口部排出。
[0046]根据该方法,由于未附着于凝胶材料的表面的被覆构件被排出,因此防止了在使用压力传感器的过程中该被覆构件在凝胶材料的上方移动或者从开口部流出。由此,在使用压力传感器的过程中,由被覆构件对凝胶材料施加的压力的大小、分布不变,因此能抑制压力传感器的特性变化。
[0047]此外也可以是,在所述制造方法中,所述多个被覆构件是具有球形形状或大致球形形状且具有互不相同的球半径的两种以上的颗粒。
[0048]根据该方法,各被覆构件与具有其他形状的情况相比较易于滚动。由此,各被覆构件在铺设于凝胶材料的表面时不易停留在其他被覆构件上,能更容易地到达本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种压力传感器,其中,该压力传感器包括:壳体,其形成有开口部;压敏元件,其设于所述壳体内;凝胶材料,其具有防水性,而在所述壳体内将所述压敏元件密封;以及多个被覆构件,其铺设于所述凝胶材料的表面,所述多个被覆构件为非粘合性,不互相结合。2.根据权利要求1所述的压力传感器,其中,所述多个被覆构件是具有球形形状或大致球形形状的颗粒。3.根据权利要求2所述的压力传感器,其中,所述多个被覆构件是球半径互不相同的两种以上的颗粒。4.根据权利要求3所述的压力传感器,其中,在将所述多个被覆构件的第n大的颗粒的球半径设为Ra并将所述多个被覆构件的第n+1大的颗粒的球半径设为Rb时,满足下式。【数式1】5.根据权利要求2~4中任一项所述的压力传感器,其中,所述多个被覆构件由硅酮颗粒、二氧化硅颗粒和丙烯酸系颗粒中的至少一者构成。6.一种压力传感器的制造方法,其中,该制造方法包括以下工序:准备工序,在该准备工序中准备组装体,该组装体包括形成有开...

【专利技术属性】
技术研发人员:太田麻里
申请(专利权)人:株式会社村田制作所
类型:发明
国别省市:

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