一种全自动供液系统技术方案

本发明专利技术公开了一种全自动供液系统，包括涂胶显影设备和控制面板，所述涂胶显影设备前端中部安装有控制面板，所述涂胶显影设备内后端底部设有导流组件，通过设置了导流组件和过滤回收组件在涂胶显影设备后端，使第一水泵将存储组件内部的清洁液导入涂胶显影设备，再使第三水泵将清洁后的水通过过滤箱顶端的连接孔将清洁后的水导入过滤箱，使过滤箱内部的PPF棉过滤网、钛芯过滤网、活性炭过滤网和半透过滤膜依次对水进行过滤，使水中的大颗粒与小分子杂质以及细菌过滤掉，从而达到回收再用，避免浪费，且导流组件提高了导流效率的同时实现全自动化。全自动化。

【技术实现步骤摘要】
一种全自动供液系统


[0001]本专利技术涉及涂胶显影设备相关领域，具体是一种全自动供液系统。

技术介绍

[0002]涂胶显影设备包括涂胶机、喷胶机、显影机，是光刻工序中与光刻机配套使用的设备，是集成电路制造的核心设备。
[0003]涂胶显影设备的药液供应系统，是向设备涂胶、显影和增粘单元进行药液供给的系统，系统负责对药液的供液、加液等方面进行控制，自动供液系统基于PCB的控制模式，由IC中的程序对系统硬件的状态进行响应，供液系统对涂胶设备涂胶、显影和增粘单元供应药液，涂胶和显影单元，由两个供液罐交替自动供液，保证药液不间断且不产生气泡，增粘单元由一个供液罐自动供液。
[0004]目前现有的涂胶显影设备供水系统，导流效率较低的同时较难达到全自动化；且现有的涂胶显影设备供水系统缺少对清洗后的水进行回收利用，从而导致浪费资源；且涂胶显影设备供水系统在使用一端时间后，工作人员较难及时添加水，从而导致降低涂胶显影设备的工作效率；且现有的涂胶显影设备供水系统较难对其精准添加保护剂，从而导致降低其水的使用寿命。

技术实现思路

[0005]因此，为了解决上述不足，本专利技术在此提供一种全自动供液系统。
[0006]本专利技术是这样实现的，构造一种全自动供液系统，该装置包括涂胶显影设备和控制面板，所述涂胶显影设备前端中部安装有控制面板，所述涂胶显影设备内后端底部设有导流组件，所述导流组件包括存储组件和称重组件，所述涂胶显影设备内后端底部设有起到存储作用的存储组件，所述存储组件前端底部管道连接有起到动力作用的第一水泵，所述存储组件右端管道连接有起到动力作用的第二水泵，所述第二水泵右端通过导管与起到导流作用的换向阀管道连接，所述换向阀前端通过导管与起到回收作用的过滤回收组件管道连接，所述过滤回收组件顶端前部管道连接有起到动力作用的第三水泵以及过滤回收组件左端与存储组件右端焊接固定，所述换向阀后端管道连接有起到计量作用的称重组件。
[0007]优选的，所述存储组件包括蓄水罐和活塞，所述涂胶显影设备内后端底部设有蓄水罐，所述蓄水罐顶端焊接固定有起到限位作用的连接柱。
[0008]优选的，所述连接柱内侧设有起到限位作用的限位槽，所述限位槽内侧底端安装有起到检测作用的压力传感器，所述限位槽内侧滑动连接有起到限位作用的滑块。
[0009]优选的，所述滑块底端插接固定有起到传动作用的传动杆，所述传动杆底端与起到密封作用的活塞插接固定。
[0010]优选的，所述过滤回收组件包括过滤箱和阀门，所述存储组件右端焊接固定有过滤箱。
[0011]优选的，所述过滤箱顶端前部设有起到导流作用的连接孔，所述过滤箱内部自上
向下依次粘贴固定有起到过滤作用的PPF棉过滤网、钛芯过滤网、活性炭过滤网和半透过滤膜，所述过滤箱底端中部管道连接有起到导流作用的阀门。
[0012]优选的，所述称重组件包括导管和保护盖，所述换向阀后端管道连接有导管，所述导管内部焊接固定有起到动力作用的鼓风机。
[0013]优选的，所述导管顶端后部设有起到连接作用的弹性带,所述弹性带顶端弹性连接有起到存储作用的蓄粉箱，所述蓄粉箱前端焊接固定有起到称重作用的称重传感器。
[0014]优选的，所述蓄粉箱内部滑动连接有筛网，所述筛网底端后部与震动电机前端插接固定，所述蓄粉箱顶端左部转动连接有起到保护作用的保护盖。
[0015]优选的，所述过滤箱内部自上向下等距分布有PPF棉过滤网、钛芯过滤网、活性炭过滤网和半透过滤膜四者，且四者网目分别为180目、200目、220目和240目。
[0016]优选的，所述蓄水罐材质为不锈钢。
[0017]优选的，所述保护盖材质为亚克力。
[0018]本专利技术具有如下优点：本专利技术通过改进在此提供一种全自动供液系统，与同类型设备相比，具有如下改进：
[0019]本专利技术所述一种全自动供液系统，通过设置了导流组件和过滤回收组件在涂胶显影设备后端，使第一水泵将存储组件内部的清洁液导入涂胶显影设备，再使第三水泵将清洁后的水通过过滤箱顶端的连接孔将清洁后的水导入过滤箱，使过滤箱内部的PPF棉过滤网、钛芯过滤网、活性炭过滤网和半透过滤膜依次对水进行过滤，使水中的大颗粒与小分子杂质以及细菌过滤掉，从而达到回收再用，避免浪费，且导流组件提高了导流效率的同时实现全自动化。
[0020]本专利技术所述一种全自动供液系统，通过设置了存储组件在涂胶显影设备后端，使导出的水通过第二水泵将过滤后的水回收在蓄水罐中，使水带动活塞向上移动，使活塞通过传动杆带动滑块沿着连接柱内侧的限位槽向上移动，当蓄水罐内部的水用尽时，活塞上端的气压大过活塞下端，使活塞通过传动杆带动滑块沿着连接柱内侧的限位槽向下移动，使滑块对连接柱内侧底端的压力传感器进行挤压，从而使压力传感器、对控制面板传递蓄水罐内部水源使用完，避免工作人员较难及时添加水，从而导致降低涂胶显影设备的工作效率。
[0021]本专利技术所述一种全自动供液系统，通过设置了称重组件在换向阀后端，使震动电机将筛网上的保护剂筛落至导管，使导管向下拉弹性带和称重传感器，使称重传感器对其进行称重，当重量达到标准值时启动鼓风机，使鼓风机将保护剂通过导管导入换向阀后端，再使换向阀后端与第二水泵相连通，再将水通过换向阀后端导入蓄水罐，使保护剂与水相混合，从而提高水的使用寿命。
附图说明
[0022]图1是本专利技术结构示意图；
[0023]图2是本专利技术的涂胶显影设备立体局部剖视图；
[0024]图3是本专利技术的导流组件立体结构示意图；
[0025]图4是本专利技术图3中的A处放大图；
[0026]图5是本专利技术的存储组件前视剖视图
[0027]图6是本专利技术的过滤回收组件右视剖视图；
[0028]图7是本专利技术的称重组件立体结构示意图；
[0029]图8是本专利技术的称重组件立体爆炸图。
[0030]其中：涂胶显影设备
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1、控制面板
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2、导流组件
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3、存储组件
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31、第一水泵
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32、第二水泵
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33、换向阀
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34、过滤回收组件
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35、第三水泵
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36、称重组件
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37、蓄水罐
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311、连接柱
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312、限位槽
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313、压力传感器
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314、滑块
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315、传动杆
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316、活塞
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317、过滤箱
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351、连接孔
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352、PPF棉过滤网
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353、钛芯过滤网
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354、活性炭过滤网
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355、半透过滤膜
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356、阀门
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357、导管
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371、本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种全自动供液系统，包括涂胶显影设备(1)和控制面板(2)，所述涂胶显影设备(1)前端中部安装有控制面板(2)；其特征在于：还包括导流组件(3)，所述涂胶显影设备(1)内后端底部设有导流组件(3)，所述导流组件(3)包括存储组件(31)和称重组件(37)，所述涂胶显影设备(1)内后端底部设有起到存储作用的存储组件(31)，所述存储组件(31)前端底部管道连接有起到动力作用的第一水泵(32)，所述存储组件(31)右端管道连接有起到动力作用的第二水泵(33)，所述第二水泵(33)右端通过导管与起到导流作用的换向阀(34)管道连接，所述换向阀(34)前端通过导管与起到回收作用的过滤回收组件(35)管道连接，所述过滤回收组件(35)顶端前部管道连接有起到动力作用的第三水泵(36)以及过滤回收组件(35)左端与存储组件(31)右端焊接固定，所述换向阀(34)后端管道连接有起到计量作用的称重组件(37)。2.根据权利要求1所述一种全自动供液系统，其特征在于：所述存储组件(31)包括蓄水罐(311)和活塞(317)，所述涂胶显影设备(1)内后端底部设有蓄水罐(311)，所述蓄水罐(311)顶端焊接固定有起到限位作用的连接柱(312)。3.根据权利要求2所述一种全自动供液系统，其特征在于：所述连接柱(312)内侧设有起到限位作用的限位槽(313)，所述限位槽(313)内侧底端安装有起到检测作用的压力传感器(314)，所述限位槽(313)内侧滑动连接有起到限位作用的滑块(315)。4.根据权利要求3所述一种全自动供液系统，其特征在于：所述滑块(315)底端插接固定有起到传动作用的传动杆(316)，所述传动杆(316)底端与起到密封作用的活塞(317)插接固定。5.根...

【专利技术属性】
技术研发人员：宁艳，周小英，
申请(专利权)人：上海责服技术服务有限公司，
类型：发明
国别省市：