检测系统技术方案

检测系统包含壳体、影像感测装置、光源以及影像处理主机。壳体设置于传输装置之上。传输装置用以传送基板。基板的上表面具有涂布层。影像感测装置设置于壳体内，并且悬置于传输装置之上。影像感测装置用以在传输装置传送基板通过影像感测装置的视野期间，获取多个连续画面。光源设置于壳体内，并且悬置于传输装置之上。光源具有峰值波长，并且峰值波长关联于基板上的涂布层的吸光度。影像处理主机用以依据该些连续画面判断基板的涂布层是否具有垂直线瑕疵以输出检测结果。垂直线瑕疵以输出检测结果。垂直线瑕疵以输出检测结果。

【技术实现步骤摘要】
检测系统


[0001]本公开涉及一种检测系统，特别涉及一种检测涂布不均的检测系统。

技术介绍

[0002]在自动化工艺的技术中，会由传输装置传送批量的基板通过各个工艺，例如，清洗、光刻胶涂布、烘烤、显影等设备进行产品制造。
[0003]在这样的情形下，若光刻胶涂布工艺下的瑕疵未能被准确识别且实时的检验出，会导致同一批工艺的基板发生瑕疵的风险扩大，造成机台生产无效以及生产成本提高。因此，如何提供一种检测系统以提升上述瑕疵的识别度为本领域中重要的议题。

技术实现思路

[0004]本公开文件提供一种检测系统，检测系统包含壳体、影像感测装置、光源以及影像处理主机。壳体设置于传输装置之上。传输装置用以传送基板。基板的上表面具有涂布层。影像感测装置设置于壳体内，并且悬置于传输装置之上。影像感测装置用以在传输装置传送基板通过影像感测装置的视野期间，获取多个连续画面。光源设置于壳体内，并且悬置于传输装置之上。光源具有峰值波长，并且峰值波长关联于基板的涂布层的吸光度。影像处理主机用以依据该些连续画面判断基板的涂布层是否具有垂直线瑕疵以输出本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种检测系统，包含：一壳体，设置于一传输装置之上，其中该传输装置用以传送一基板，其中该基板的上表面具有一涂布层；一影像感测装置，设置于该壳体内，并且悬置于该传输装置之上，该影像感测装置用以在该传输装置传送该基板通过该影像感测装置的视野期间，获取多个连续画面；一光源，设置于该壳体内，并且悬置于该传输装置之上，其中该光源具有一峰值波长，并且其中该峰值波长关联于该基板的一涂布层的吸光度；以及一影像处理主机，用以依据该些连续画面判断该基板的该涂布层是否具有一垂直线瑕疵以输出检测结果。2.如权利要求1所述的检测系统，其中在该峰值波长内，该涂布层的吸光度小于一临界值。3.如权利要求2所述的检测系统，其中该临界值是0.1L/(g
·
cm)。4.如权利要求1所述的检测系统，其中该影像感测装置设...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈建宏，陈东义，张宝鸿，朱宗伯，赖庆峰，
申请(专利权)人：友达光电股份有限公司，
类型：发明
国别省市：