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文档序号:37974826

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检测系统包含壳体、影像感测装置、光源以及影像处理主机。壳体设置于传输装置之上。传输装置用以传送基板。基板的上表面具有涂布层。影像感测装置设置于壳体内,并且悬置于传输装置之上。影像感测装置用以在传输装置传送基板通过影像感测装置的视野期间,获取...
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