一种用于探针台的防尘遮光盖制造技术

一种用于探针台的防尘遮光盖，包括盖体，还包括通孔，所述通孔贯穿所述盖体中心；遮光板，所述遮光板设在所述通孔内，且将所述通孔分隔成两个用于射频同轴线缆穿过的穿入区；封堵机构，所述封堵机构用于固定射频同轴线缆并封堵所述穿入区。本实用新型专利技术通过设置盖体达到防尘效果，避免小颗粒落在探针台上；通过设置遮光板，可对探针台的正上方进行遮挡，从而辅助探针台进行对针；通过设置封堵机构对穿入区进行封堵，可进一步避免小颗粒落在探针台上，提高防尘效果，同时，可对射频同轴线缆进行固定，避免射频同轴线缆晃动，提高探针台的测试精度。精度。精度。

【技术实现步骤摘要】
一种用于探针台的防尘遮光盖


[0001]本技术涉及半导体生产设备
，特别是一种用于探针台的防尘遮光盖。

技术介绍

[0002]探针台的主要用途是为半导体芯片的电参数测试提供一个测试平台，探针台可吸附多种规格芯片，并提供多个可调测试针以及探针座，配合测量仪器可完成集成电路的电压、电流、电阻以及电容电压特性曲线等参数检测。适用于对芯片进行科研分析，抽查测试等用途。其中TEL P
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8在使用过程中发现在工作台的正上方没有遮挡，导致机台对针经常失败，也容易使细小颗粒掉落在工作台上。

技术实现思路

[0003]本技术的目的是提供一种用于探针台的防尘遮光盖，以解决
技术介绍
中提出的问题。
[0004]本技术的技术解决方案是：一种用于探针台的防尘遮光盖，包括盖体，还包括
[0005]通孔，所述通孔贯穿所述盖体中心；
[0006]遮光板，所述遮光板设在所述通孔内，且将所述通孔分隔成两个用于射频同轴线缆穿过的穿入区：
[0007]封堵机构，所述封堵机构用于固定射频同轴线缆并封堵所述穿入区。
[0008]通过设置盖体达到防尘效果，避免小颗粒落在探针台上；通过设置遮光板，可对探针台的正上方进行遮挡，从而辅助探针台进行对针；通过设置封堵机构对穿入区进行封堵，可进一步避免小颗粒落在探针台上，提高防尘效果，同时，可对射频同轴线缆进行固定，避免射频同轴线缆晃动，提高探针台的测试精度
[0009]进一步的，所述封堵机构包括设在所述遮光板上的支架、设在所述支架上弹性组件、对称设在所述弹性组件上的第一夹持部、和所述第一夹持部配合用于夹持固定所述射频同轴线缆的第二夹持部，所述第一夹持部和所述第二夹持部接触后将所述穿入区封堵，第一夹持部在弹性组件的弹性力下抵住盖体，同时配合第二夹持部对穿入区进行快速封堵，避免小颗粒落在探针台上，提高防尘效果。
[0010]进一步的，所述弹性组件包括套设在所述支架上的套座、设在所述套座上的扭簧，所述扭簧的两端分别和所述第一夹持部固定连接，方便将射频同轴线缆放入穿入区，同时可实现对穿入区的快速封堵，避免小颗粒落在探针台上，提高防尘效果。
[0011]进一步的，所述第一夹持部包括和所述扭簧端部连接的压板、贯穿所述压板的过孔、由所述压板远离所述扭簧的边缘向所述过孔延伸的通槽，将射频同轴线缆放入过孔后，可对射频同轴线缆进行初步的固定，同时压板可对穿入区进行封堵，避免小颗粒落在探针台上，提高防尘效果。
[0012]进一步的，所述第二夹持部包括贯穿所述盖体的滑槽、和所述滑槽滑动配合的滑
块、分设在所述滑块上下两端的上挡板和下挡板、设在所述滑块靠近所述通槽一端的延伸块，保证滑块只能沿滑槽向压板移动，使延伸块进入通槽，进而使延伸块端部抵住射频同轴线缆，进一步对射频同轴线缆固定。
[0013]进一步的，所述延伸块和所述通槽滑动配合，一方面可对射频同轴线缆进一步固定另一方面可对通槽进行封堵。
[0014]进一步的，所述延伸块端部开设有弧形凹槽，提高对射频同轴线缆的固定效果；同时可避免小颗粒通过过孔落在探针台上，提高防尘效果。
[0015]进一步的，所述上挡板远离所述延伸块一端设有手柄。
[0016]进一步的，所述盖体上设有提手。
[0017]本技术有益效果是：
[0018]与现有技术相比，本技术通过设置盖体达到防尘效果，避免小颗粒落在探针台上；通过设置遮光板，可对探针台的正上方进行遮挡，从而辅助探针台进行对针；通过设置封堵机构对穿入区进行封堵，可进一步避免小颗粒落在探针台上，提高防尘效果，同时，可对射频同轴线缆进行固定，避免射频同轴线缆晃动，提高探针台的测试精度。
附图说明
[0019]图1为本技术结构示意图；
[0020]图2为本技术仰视图；
[0021]图3为封堵机构示意图；
具体实施方式
[0022]下面结合附图以实施例对本技术作进一步说明。
[0023]本具体实施例仅仅是对本技术的解释，其并不是对本技术的限制，本领域技术人员在阅读完本说明书后可以根据需要对本实施例做出没有创造性贡献的修改，但只要在本技术的权利要求范围内都受到专利法的保护。
[0024]实施例，如图1
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3所示，一种用于探针台的防尘遮光盖，包括盖体1，还包括
[0025]通孔101，通孔101贯穿盖体1中心；
[0026]遮光板2，遮光板2设在通孔101内，且将通孔101分隔成两个用于射频同轴线缆5穿过的穿入区3，遮光板2用于挡光并辅助机台进行对针，遮光板2可采用黑色亚克力板实施；
[0027]封堵机构4，封堵机构4用于固定射频同轴线缆并封堵穿入区3，本技术通过设置盖体1达到防尘效果，避免小颗粒落在探针台上；通过设置遮光板2，可对探针台的正上方进行遮挡，从而辅助探针台进行对针；通过设置封堵机构4对穿入区3进行封堵，可进一步避免小颗粒落在探针台上，提高防尘效果，同时，可对射频同轴线缆5进行固定，避免射频同轴线缆晃动，提高探针台的测试精度。
[0028]在本技术的一个可选的实施方式中，封堵机构4包括设在遮光板2上的支架401、设在支架401上弹性组件402、对称设在弹性组件402上的第一夹持部403、和第一夹持部403配合用于夹持固定射频同轴线缆5的第二夹持部404，第一夹持部403和第二夹持部404接触后将穿入区3封堵，射频同轴线缆5进入穿入区3后，第一夹持部403在弹性组件402的弹性力下抵住盖体1，同时配合第二夹持部404对穿入区3进行快速封堵，避免小颗粒落在
探针台上，提高防尘效果。
[0029]在本技术的一个可选的实施方式中，弹性组件402包括套设在支架401上的套座40201、设在套座40201上的扭簧40202，扭簧40202的两端分别和第一夹持部403固定连接，支架401的形状为U型，支架401的两端分别和遮光板2固定连接，套座40201和支架401转动连接在待用时，第一夹持部403在扭簧40202的弹性力下抵接在盖体1上，当射频同轴线缆5进入穿入区3时，推动一侧的第一夹持部403并使第一夹持部403沿支架401转动，进而使该第一夹持部403远离穿入区3，待射频同轴线缆5进入穿入区3后，松开第一夹持部403，此时第一夹持部403在扭簧40202的弹性力下复位；通过设置套座40201以及扭簧40202，方便将射频同轴线缆5放入穿入区3，同时可实现对穿入区3的快速封堵，避免小颗粒落在探针台上，提高防尘效果。
[0030]在本技术的一个可选的实施方式中，第一夹持部403包括和扭簧40202端部连接的压板40301、贯穿压板40301的过孔40302、由压板40301远离扭簧40202的边缘向过孔40302延伸的通槽40303，过孔40302的孔径为通槽40303宽度的1.1
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1.2倍，射频同轴线缆5的线径和过孔40302本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于探针台的防尘遮光盖，包括盖体(1)，其特征在于：还包括通孔(101)，所述通孔(101)贯穿所述盖体(1)中心；遮光板(2)，所述遮光板(2)设在所述通孔(101)内，且将所述通孔(101)分隔成两个用于射频同轴线缆(5)穿过的穿入区(3)；封堵机构(4)，所述封堵机构(4)用于固定射频同轴线缆并封堵所述穿入区(3)。2.根据权利要求1所述的一种用于探针台的防尘遮光盖，其特征在于：所述封堵机构(4)包括设在所述遮光板(2)上的支架(401)、设在所述支架(401)上弹性组件(402)、对称设在所述弹性组件(402)上的第一夹持部(403)、和所述第一夹持部(403)配合用于夹持固定所述射频同轴线缆(5)的第二夹持部(404)，所述第一夹持部(403)和所述第二夹持部(404)接触后将所述穿入区(3)封堵。3.根据权利要求2所述的一种用于探针台的防尘遮光盖，其特征在于：所述弹性组件(402)包括套设在所述支架(401)上的套座(40201)、设在所述套座(40201)上的扭簧(40202)，所述扭簧(40202)的两端分别和所述第一夹持部(403)固定连接。4.根据权利要求3所述的一种用于探针台的防尘遮光盖，其特征在于：所述第一夹持部(4...

【专利技术属性】
技术研发人员：王旭，徐少庭，杜武君，
申请(专利权)人：浙江华远微电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：