【技术实现步骤摘要】
本技术属于光刻机，尤其是涉及一种光刻机通讯系统。
技术介绍
1、光刻机是半导体行业内的重要专属设备，其价格昂贵，在光刻机运行过程中通讯问题是影响设备稳定性的关键因素之一。现有的光刻机普遍存在老旧现象，大部分光刻机的通讯方式使用的是aui同轴接口同轴串联电缆传输信号，通讯信号不稳定，采用同轴的方式若其中一个控制模块接口松动，则会造成整个设备异常宕机，使生产过程中断。
技术实现思路
1、针对
技术介绍
中存在的光刻机老旧后通讯稳定性不足的技术问题，本技术提供了一种光刻机通讯系统，其改装方便，操作简单，通讯信号传输稳定，能够减少设备异常宕机的几率，提升设备运行稳定性。
2、为实现上述目的，本技术提供的技术方案为：
3、一种光刻机通讯系统，包括程控电脑和若干控制模块，还包括有交换机，所述程控电脑通过网线与所述交换机通讯连接，所述交换机通过若干网线分别与若干所述控制模块的通讯传输接口通讯连接；若干所述控制模块包括光路控制模块、晶圆传送模块、掩膜版传送模块、水平模块、晶片与掩膜版模
【技术保护点】
1.一种光刻机通讯系统，其特征在于:包括程控电脑和若干控制模块，还包括有交换机，所述程控电脑通过网线与所述交换机通讯连接，所述交换机通过若干网线分别与若干所述控制模块的通讯传输接口通讯连接；若干所述控制模块包括光路控制模块、晶圆传送模块、掩膜版传送模块、水平模块、晶片与掩膜版模块和对准模块。
2.根据权利要求1所述的光刻机通讯系统，其特征在于：所述光路控制模块、晶圆传送模块、掩膜版传送模块、水平模块、晶片与掩膜版模块和对准模块的通讯传输接口均包括AUI接口，所述AUI接口连接有转接接口，所述转接接口通过网线与所述交换机通讯连接。
3.根据权利要...
【技术特征摘要】
1.一种光刻机通讯系统，其特征在于:包括程控电脑和若干控制模块，还包括有交换机，所述程控电脑通过网线与所述交换机通讯连接，所述交换机通过若干网线分别与若干所述控制模块的通讯传输接口通讯连接；若干所述控制模块包括光路控制模块、晶圆传送模块、掩膜版传送模块、水平模块、晶片与掩膜版模块和对准模块。
2.根据权利要求1所述的光刻机通讯系统，其特征在于：所述光路控制模块、晶圆传送模块、掩膜版传送模块、水平模块、晶片...
【专利技术属性】
技术研发人员：葛高杰，曾家禾，李国美，欧阳俊荣，杨云帆，
申请(专利权)人：浙江华远微电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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