温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本技术属于光刻机技术领域，尤其是涉及一种光刻机通讯系统，包括程控电脑和若干控制模块，还包括有交换机，所述程控电脑通过网线与所述交换机通讯连接，所述交换机通过若干网线分别与若干所述控制模块的通讯传输接口通讯连接；若干所述控制模块包括光路控制模...
该专利属于浙江华远微电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过浙江华远微电科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。