电弧沉积系统技术方案

一种电弧沉积系统，包括：涂覆腔室以及中央阴极靶，该中央阴极靶设置在该涂覆腔室内。至少两个阳极环绕该中央阴极靶。每个阳极相对于该中央阴极靶正向偏置，使得每个阳极在该中央阴极靶上独立地感应出相关联的跑道形腐蚀轮廓。至少两个磁性部件位于该中央阴极靶内。这些磁性部件引导相关联的电弧，该相关联的电弧形成其相关联的跑道形腐蚀轮廓。典型地，该至少两个阳极中的每个阳极具有相关联的磁性部件。部件。

【技术实现步骤摘要】
电弧沉积系统


[0001]本申请涉及一种多跑道阴极电弧沉积系统，在至少一个方面，提供了一种使用阴极电弧源的阴极电弧涂覆系统，阴极电弧源具有可以同时产生的多个跑道。

技术介绍

[0002]提高电弧沉积的沉积速率也将是令人期望的。目前，恰好只有一个有效跑道的磁约束阴极电弧源是可用的。目前，增加跑道的数量来增加沉积是不可取的。所有可用的具有多个跑道的磁约束阴极电弧源一次仅使用一个跑道，而且单个电弧斑点在该多个跑道之间随机跳跃。
[0003]相应地，需要改进的电弧沉积系统，其会以更有效的方式利用多个跑道。

技术实现思路

[0004]在至少一个方面，提供了一种电弧沉积系统。该电弧沉积系统包括涂覆腔室以及中央阴极靶，该中央阴极靶设置在该涂覆腔室内。至少两个阳极环绕该中央阴极靶。每个阳极相对于该中央阴极靶正向偏置，使得每个阳极在该中央阴极靶上独立地感应出相关联的跑道形腐蚀轮廓。至少两个磁性部件定位在该中央阴极靶内。该至少两个磁性部件引导相关联的电弧，该相关联的电弧形成相关联的跑道形腐蚀轮廓。典型地，该至少两个阳极中的每个阳极具有相关联本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种电弧沉积系统，包括：涂覆腔室；中央阴极靶，所述中央阴极靶设置在所述涂覆腔室内；至少两个阳极，所述至少两个阳极环绕所述中央阴极靶，每个阳极相对于所述中央阴极靶正向偏置，使得每个阳极在所述中央阴极靶上独立地感应出相关联的跑道形腐蚀轮廓；以及至少两个磁性部件，所述至少两个磁性部件定位在所述中央阴极靶内，所述至少两个磁性部件用于引导相关联的电弧，所述相关联的电弧形成其相关联的跑道形腐蚀轮廓，所述至少两个阳极中的每个阳极具有相关联的磁性部件。2.如权利要求1所述的电弧沉积系统，其中，所述至少两个阳极围绕所述中央阴极靶等距间隔开。3.如权利要求1所述的电弧沉积系统，其中，所述中央阴极靶绕所述中央阴极靶的纵向轴线旋转。4.如权利要求1所述的电弧沉积系统，其中，所述至少两个阳极仅包括两个阳极。5.如权利要求1所述的电弧沉积系统，进一步包括控制器，所述控制器控制所述电弧沉积系统的可控制的部件。6.如权利要求5所述的电弧沉积系统，进一步包括电源系统，所述电源系统用于使所述至少两个阳极中的每个阳极相对于所述中央阴极靶偏置。7.如权利要求6所述的电弧沉积系统，其中，所述电源系统包括电源子系统以使所述至少两个阳极中的每个阳极相对于所述中央阴极靶正向偏置。8.如权利要求7所述的电弧沉积系统，其中，所述至少两个阳极中的每个阳极相对于所述中央阴极靶正向偏置。9.如权利要求8所述的电弧沉积系统，其中，在DC电压介于
‑
15伏特与
‑
50伏特之间的情况下，所述至少两个阳极中的每个阳极相对于所述中央阴极靶正向偏置。10.如权利要求9所述的电弧沉积系统，其中，100安倍至600安倍的电流流经每个阳极。11.如权利要求6所述的电弧沉积系统，其中，所述控制器被配置成同时激活每个阳极。12.如权利要求6所述的电弧沉积系统，...

【专利技术属性】
技术研发人员：Z，
申请(专利权)人：蒸汽技术公司，
类型：发明
国别省市：