水冷型真空离子电源制造技术

本实用新型专利技术一种水冷型真空离子电源，包括电源箱，所述电源箱的一侧面设置有真空箱，所述真空箱的内部设置有真空腔，所述真空腔的内部设置有真空室，所述真空腔的外表面设置有通气网，所述真空箱的内部设置有通雾管。本实用新型专利技术具有以下优点和效果：通过启动水冷箱通过输水管将其内部的冷却水输送至雾化箱的内部，通过雾化箱将冷却水进行雾化处理，经由输送管将冷却雾气通入通雾管的内部，最后通过若干个喷雾管同时同向上喷出冷却雾气，冷却雾气经由通气网流通至真空腔的内部对真空室进行冷却，通过持续喷出的冷却雾气通入真空腔的内部可使其内部雾气流动更加均匀饱满，从而增加冷却降温效果。降温效果。降温效果。

【技术实现步骤摘要】
水冷型真空离子电源


[0001]本技术涉及一种水冷型的真空离子电源，属于真空离子电源


技术介绍

[0002]真空离子镀膜工艺是如今常用的镀膜方式，如中国专利CN103132012A公开的“一种真空镀膜的制备方法”。它包括以下步骤：高压离子清洗活化：工件放入真空室，抽真空，当真空室的压力为3~20Pa时，停止抽真空，启动高压变压器，当高压变压器的输出电压2500~4000V，电流1~6A时，将高压离子清洗活化后的工件，在真空室内进行真空镀膜处理，在表面制备金属镀膜。本法制备的真空镀膜，其能够破坏非极性类材料表面的组织结构，提高产品的表面能量和性能。
[0003]通过上述专利方法能够很好的提高产品的表面能量和性能地效果，但是其高压变压器构成的真空离子镀膜电源装置由于处于高功率工作状态，因此会在工作时产生大量的热量。此时，如果常规的电源装置直接作为真空离子镀膜装置电源的话，冷却效果不佳，积蓄的热量将导致电源输出功率不稳定，从而降低真空镀膜的作业效率和效果，因此亟需对上述问题作出改进。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于克服上述不足，提供一种水冷型真空离子电源，具有提升冷却效率，均匀冷却效果佳，降低水冷作业时长的效果。
[0005]本技术的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：
[0006]一种水冷型真空离子电源，包括电源箱，所述电源箱的一侧面设置有真空箱，所述真空箱的内部设置有真空腔，所述真空腔的内部设置有真空室，所述真空腔的外表面设置有通气网，所述真空箱的内部设置有通雾管，所述通雾管的外表面设置有喷雾管，所述通雾管的一端设置有输送管，所述输送管的一端光连接有雾化箱，所述雾化箱的一侧面设置有输水管，所述输水管的一端设置有水冷箱，所述真空箱的外表面设置有真空泵。通过采用上述技术方案，在使用时将真空室固定在真空腔的内部，当真空室的内部通入高压带电气体进行电镀作业时，其内部会产生较高温度，因此通过启动水冷箱通过输水管将其内部的冷却水输送至雾化箱的内部，通过雾化箱将冷却水进行雾化处理，经由输送管将冷却雾气通入通雾管的内部，最后通过若干个喷雾管同时同向上喷出冷却雾气，冷却雾气经由通气网流通至真空腔的内部对真空室进行冷却，通过持续喷出的冷却雾气通入真空腔的内部可使其内部雾气流动更加均匀饱满，从而增加冷却降温效果，提升冷却效率。
[0007]优选的，所述水冷箱的内部设置有水泵，所述水泵的外表面设置有进水管，所述水冷箱的内部设置有水箱。通过采用上述技术方案，通过启动水泵可通过进水管持续将水箱内部的冷却水抽送至雾化箱的内部，进而保证冷却雾气的输送效率。
[0008]优选的，所述真空箱的顶部开设有通槽，所述通槽的内壁设置有转扇，所述转扇的外表面设置有网罩。通过采用上述技术方案，通过将转扇延伸至通槽的内壁，从而可在需要
时启动转扇增加雾气循环流通排放速率。
[0009]优选的，所述转扇的顶部固定连接有转轴，所述转轴的一端设置有电机。通过采用上述技术方案，通过启动电机使转轴带动转扇进行倒转，从而可对真空腔内部过热后的雾气进行抽吸，增加雾气流通速率，提高冷却效果。
[0010]优选的，所述电机的下表面设置有支撑架，所述支撑架的底部固定连接有固定座。通过采用上述技术方案，固定座便于为支撑架提供固定支撑，从而便于为电机以及转轴等组件提供支撑高度。
[0011]优选的，所述真空箱的上表面设置有密封盖，所述密封盖的外表面固定连接有连接板，所述连接板的外表面转动连接有锁套。通过采用上述技术方案，通过在密封盖的底层固定连接板，当需要时可通过转动翻转锁套使其脱离密封盖的顶部即可打开密封盖，方便快捷便于工作人员查看真空室内部作业情况。
[0012]本技术的有益效果是：
[0013]本技术通过电源箱、真空箱、真空腔、真空室、通气网、通雾管、喷雾管、输送管、雾化箱、输水管、水冷箱和真空泵之间的配合设置，能够使得本装置在使用时，在使用时将真空室固定在真空腔的内部，当真空室的内部通入高压带电气体进行电镀作业时，其内部会产生较高温度，因此通过启动水冷箱通过输水管将其内部的冷却水输送至雾化箱的内部，通过雾化箱将冷却水进行雾化处理，经由输送管将冷却雾气通入通雾管的内部，最后通过若干个喷雾管同时同向上喷出冷却雾气，冷却雾气经由通气网流通至真空腔的内部对真空室进行冷却，通过持续喷出的冷却雾气通入真空腔的内部可使其内部雾气流动更加均匀饱满，从而增加冷却降温效果，提升冷却效率。
[0014]同时，通过水泵、进水管、水箱转扇、转轴和电机之间的配合设置，能够使得本装置在使用时，通过启动水泵可通过进水管持续将水箱内部的冷却水抽送至雾化箱的内部，进而保证冷却雾气的输送效率，通过将转扇延伸至通槽的内壁，从而可在需要时启动转扇增加雾气循环流通排放速率，通过启动电机使转轴带动转扇进行倒转，从而可对真空腔内部过热后的雾气进行抽吸，增加雾气流通速率，提高冷却效果。
附图说明
[0015]为了更清楚地说明本技术实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0016]图1为本技术结构示意图；
[0017]图2为本技术水冷箱结构示意图；
[0018]图3为本技术真空箱结构示意图；
[0019]图4为本技术图1中A处放大结构示意图。
[0020]图中，1、电源箱；2、真空箱；3、真空腔；4、真空室；5、通气网；6、通雾管；7、喷雾管；8、输送管；9、雾化箱；10、输水管；11、水冷箱；12、真空泵；13、水泵；14、进水管；15、水箱；16、通槽；17、转扇；18、转轴；19、电机；20、网罩；21、支撑架；22、固定座；23、密封盖；24、连接板；25、锁套。
具体实施方式
[0021]下面将结合具体实施例对本技术的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例仅仅是本技术的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0022]参照图1
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4，水冷型真空离子电源，包括电源箱1，电源箱1的一侧面设置有真空箱2，真空箱2的内部设置有真空腔3，真空腔3的内部设置有真空室4，真空腔3的外表面设置有通气网5，真空箱2的内部设置有通雾管6，通雾管6的外表面设置有喷雾管7，通雾管6的一端设置有输送管8，输送管8的一端光连接有雾化箱9，雾化箱9的一侧面设置有输水管10，输水管10的一端设置有水冷箱11，真空箱2的外表面设置有真空泵12，在使用时将真空室4固定在真空腔3的内部，当真空室4的内部通入高压带电气体进行电镀作业时，其内部会产生较高温度，因此通过启动水冷箱11通过输水管10将其内部的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.水冷型真空离子电源，包括电源箱（1），其特征在于：所述电源箱（1）的一侧面设置有真空箱（2），所述真空箱（2）的内部设置有真空腔（3），所述真空腔（3）的内部设置有真空室（4），所述真空腔（3）的外表面设置有通气网（5），所述真空箱（2）的内部设置有通雾管（6），所述通雾管（6）的外表面设置有喷雾管（7），所述通雾管（6）的一端设置有输送管（8），所述输送管（8）的一端光连接有雾化箱（9），所述雾化箱（9）的一侧面设置有输水管（10），所述输水管（10）的一端设置有水冷箱（11），所述真空箱（2）的外表面设置有真空泵（12）。2.根据权利要求1所述的水冷型真空离子电源，其特征在于：所述水冷箱（11）的内部设置有水泵（13），所述水泵（13）的外表面设置有进水管（14），所述水冷箱（11）的内部设置有...

【专利技术属性】
技术研发人员：顾琪伟，沈晓锋，徐益清，朱行清，满金东，张方建，薛丹，
申请(专利权)人：江阴市天马电源制造有限公司，
类型：新型
国别省市：