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一种电弧沉积系统，包括：涂覆腔室以及中央阴极靶，该中央阴极靶设置在该涂覆腔室内。至少两个阳极环绕该中央阴极靶。每个阳极相对于该中央阴极靶正向偏置，使得每个阳极在该中央阴极靶上独立地感应出相关联的跑道形腐蚀轮廓。至少两个磁性部件位于该中央阴极...
该专利属于蒸汽技术公司所有，仅供学习研究参考，未经过蒸汽技术公司授权不得商用。

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