扫描式靶座装置以及脉冲激光沉积设备制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了扫描式靶座装置以及脉冲激光沉积设备。其中，该扫描式靶座装置包括：第一传动单元，具有第一主体和呈空心状的安装筒，第一主体安装到镀膜室的外侧，安装筒相对第一主体可回转；第二传动单元，安装到安装筒，第二传动单元具有第二主体以及安装轴，安装轴相对第二主体可回转，安装轴设置有输入部以及输出部，输入部处在安装筒的外侧，输出部处在安装筒的内侧；支架，用于支撑靶材，安装到输出部，并设置在镀膜室内；第一驱动部，驱动第二传动单元回转，以使支架公转；第二驱动部，与输入部连接，并驱动安装轴回转，以使安装在安装轴的输出部的支架自转。本实用新型专利技术的扫描式靶座装置能够提高设备的稳定性。装置能够提高设备的稳定性。装置能够提高设备的稳定性。

【技术实现步骤摘要】
扫描式靶座装置以及脉冲激光沉积设备


[0001]本技术涉及真空镀膜设备
，尤其涉及扫描式靶座装置以及脉冲激光沉积设备。

技术介绍

[0002]脉冲激光沉积(Pulsed Laser Deposition，PLD)，是一种利用激光对物体进行轰击，然后将轰击出来的物质沉淀在不同的衬底上，得到沉淀或者薄膜的一种手段。现有的脉冲激光沉积设备利用聚焦的激光入射到靶材表面，从而溅射出材料沉积在基片上。由于脉冲激光沉积的光斑一般在2～4mm，靶材的尺寸一般在一英寸，从而靶材的利用率过低，适用范围小。
[0003]为了提高靶材利用率，目前脉冲激光沉积设备主要利用齿轮和轴承在腔体内使靶座实现公转和自转，从而提高靶材利用率。但是这种装置会存在例如如下问题：
[0004]1.由于在脉冲激光沉积时激光烧蚀靶材产生热量、以及基片需要在高温条件下成膜，因此，镀膜室内的环境温度会达到600℃甚至更高，在此高温环境下必须使用高温轴承，高温轴承价格昂贵，而且经常损耗、损坏，影响设备的稳定性。
[0005]2.由于脉冲激光沉积要求在超高真空环境下成膜，如果使用润滑油脂，油脂会挥发出来，对镀膜室内的真空环境造成影响，影响成膜的质量。如果不使用润滑油脂齿轮和轴承又很容易卡顿，影响设备的稳定性。

技术实现思路

[0006]本技术旨在至少一定程度上解决现有技术问题，为此，本技术提出了一种扫描式靶座装置，提高设备的稳定性。此外，本技术还提出了具有该扫描式靶座装置的脉冲激光沉积设备。
[0007]根据本技术一方面的扫描式靶座装置，用于使镀膜室内的靶材公转以及自转，包括：第一传动单元，具有第一主体和呈空心状的安装筒，所述第一主体安装到所述镀膜室的外侧并和所述镀膜室之间被密封，所述安装筒相对所述第一主体可回转且所述安装筒和所述第一主体之间被密封；第二传动单元，安装到所述安装筒，并且和所述安装筒之间被密封，所述第二传动单元具有第二主体以及安装轴，所述安装轴相对所述第二主体可回转且所述安装轴和所述第二主体之间被密封，所述安装轴的轴向的两端分别设置有输入部以及输出部，所述输入部处在所述安装筒的外侧，所述输出部处在所述安装筒的内侧；支架，用于支撑所述靶材，安装到所述输出部，并设置在所述镀膜室内；第一驱动部，与所述安装筒以及所述第二主体中的一者连接，驱动所述第二传动单元回转，以使所述支架随着所述第二传动单元的回转而公转；第二驱动部，与所述输入部连接，并驱动所述安装轴回转，以使安装在所述安装轴的所述输出部的所述支架，随着所述安装轴的回转而自转。
[0008]根据本技术第一方面的扫描式靶座装置，具有如下有益效果：能够提高设备的稳定性。
[0009]在一些实施方式中，所述第一主体和所述安装筒之间，通过磁流体密封结构被密封；和/或，所述第二主体和所述安装轴之间，通过磁流体密封结构被密封。
[0010]在一些实施方式中，所述安装筒的面向所述镀膜室的外侧的一端设置有安装座，所述第二传动单元以及所述第二驱动部分别安装到所述安装座，并随着安装筒相对所述第一主体回转而回转。
[0011]在一些实施方式中，还包括第三传动单元；所述第一驱动部包括公转用驱动电机，所述公转用驱动电机通过所述第三传动单元与所述第二传动单元传动连接。
[0012]在一些实施方式中，所述第三传动单元包括：公转用主动齿轮，与所述公转用驱动电机同轴连接；公转用从动齿轮，与所述第二主体同轴连接；所述公转用主动齿轮和所述公转用从动齿轮啮合。
[0013]在一些实施方式中，所述第二传动单元包括多个所述安装轴，各所述安装轴分别相对所述第二主体可回转且各所述安装轴和所述第二主体之间分别被密封。
[0014]在一些实施方式中，还包括第四传动单元，所述第二驱动部通过所述第四传动单元与各所述安装轴的所述输入部传动连接。
[0015]在一些实施方式中，所述第二驱动部包括自转用驱动电机；所述第四传动单元包括一个自转用主动齿轮以及多个自转用从动齿轮；所述自转用主动齿轮与所述自转用驱动电机同轴连接；所述自转用从动齿轮分别与各所述安装轴的所述输入部同轴连接；所述自转用主动齿轮分别与各所述自转用从动齿轮啮合。
[0016]在一些实施方式中，所述安装轴的所述输出部穿过所述安装筒的内侧而伸到所述镀膜室内。
[0017]根据技术第二方面的脉冲激光沉积设备，具有镀膜室，还包括：上述任一项的扫描式靶座装置。
[0018]根据本技术第二方面的脉冲激光沉积设备，具有如下有益效果：能够在保持成膜质量的基础上，提高设备的稳定性。
附图说明
[0019]图1是具有本技术的扫描式靶座装置的脉冲激光沉积设备的一种实施方式的示意图。
[0020]图2是本技术的扫描式靶座装置的一种实施方式的立体图。
[0021]图3是图2中的A
‑
A处的剖视图。
[0022]图4是图2的扫描式靶座装置的爆炸图。
[0023]图5是图2的扫描式靶座装置的另一视角的立体图。
[0024]图6是图5的第一传动单元的立体图。
[0025]图7是图5的第二传动单元的立体图。
具体实施方式
[0026]下面详细描述本实施方式的实施例，实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本实施方式，而不能理解为对本实施方式的限制。
[0027]在本实施方式的描述中，需要理解的是，涉及到方位描述，例如上、下、前、后、左、右等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实施方式和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实施方式的限制。
[0028]在本实施方式的描述中，若干的含义是一个或者多个，多个的含义是两个以上，大于、小于、超过等理解为不包括本数，以上、以下、以内等理解为包括本数。如果有描述到第一、第二只是用于区分技术特征为目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量或者隐含指明所指示的技术特征的先后关系。
[0029]本实施方式的描述中，除非另有明确的限定，设置、安装、连接等词语应做广义理解，所属
技术人员可以结合技术方案的具体内容合理确定上述词语在本实施方式中的具体含义。
[0030]参照图1至图7，并主要参照图1至图5，根据第1实施方式的扫描式靶座装置100(为便于说明，后面有时仅称“靶座装置100”)，用于使镀膜室201内的靶材300公转以及自转。包括：第一传动单元101、第二传动单元102、支架103、第一驱动部104以及第二驱动部105。第一传动单元101具有第一主体106和呈空心状的安装筒107，第一主体106安装到镀膜室201的外侧并和镀膜室201之间被密封，安装筒107相对第一主体106可回转且安本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.扫描式靶座装置，用于使镀膜室内的靶材公转以及自转，其特征在于，包括：第一传动单元，具有第一主体和呈空心状的安装筒，所述第一主体安装到所述镀膜室的外侧并和所述镀膜室之间被密封，所述安装筒相对所述第一主体可回转且所述安装筒和所述第一主体之间被密封；第二传动单元，安装到所述安装筒，并且和所述安装筒之间被密封，所述第二传动单元具有第二主体以及安装轴，所述安装轴相对所述第二主体可回转且所述安装轴和所述第二主体之间被密封，所述安装轴的轴向的两端分别设置有输入部以及输出部，所述输入部处在所述安装筒的外侧，所述输出部处在所述安装筒的内侧；支架，用于支撑所述靶材，安装到所述输出部，并设置在所述镀膜室内；第一驱动部，与所述安装筒以及所述第二主体中的一者连接，驱动所述第二传动单元回转，以使所述支架随着所述第二传动单元的回转而公转；第二驱动部，与所述输入部连接，并驱动所述安装轴回转，以使安装在所述安装轴的所述输出部的所述支架，随着所述安装轴的回转而自转。2.根据权利要求1所述的扫描式靶座装置，其特征在于，所述第一主体和所述安装筒之间，通过磁流体密封结构被密封；和/或，所述第二主体和所述安装轴之间，通过磁流体密封结构被密封。3.根据权利要求1或2所述的扫描式靶座装置，其特征在于，所述安装筒的面向所述镀膜室的外侧的一端设置有安装座，所述第二传动单元以及所述第二驱动部分别安装到所述安装座，并随着安装筒相对所述第一主体回转而回转。4.根据...

【专利技术属性】
技术研发人员：龚文志，张晓军，夏慧，罗敏，宋魏，
申请(专利权)人：深圳市矩阵多元科技有限公司，
类型：新型
国别省市：