一种用于脉冲激光沉积系统中的防撞靶台结构技术方案

本实用新型专利技术涉及一种用于脉冲激光沉积系统中的防撞靶台结构，包括依次布置的靶托、自转固定环、自转轴承基座和自转齿轮，靶托底部的插杆插置于自转固定环的自紧孔中，自转固定环底部的自转轴穿过自转轴承基座与自转齿轮相接，所述的自转轴承基座的前后两端设置轴承，两端轴承之间设置防护弹簧，自转轴的自由端插置于自转齿轮中与自转齿轮固接；自转固定环的自转轴前端与自转轴承基座之间具有间距，自转固定环的自转轴后端与自转齿轮间具有间距。距。距。

【技术实现步骤摘要】
一种用于脉冲激光沉积系统中的防撞靶台结构


[0001]本技术涉及一种用于脉冲激光沉积系统中的防撞靶台结构。

技术介绍

[0002]公转自转靶台是脉冲激光沉积系统的一种重要组成部分。它上面载有多种靶材用于薄膜制备，不同靶之间通过公转切换靶，以及用自转来完成激光在靶面上一个圆环形面的轰击，提高靶的利用率。为了便捷的取靶，有一种固定靶托的方式是插拔式的靶托。但传统插拔式靶托，在插入时如果用力过猛，靶托会存在力学冲击自转轴承，容易造成(自转)轴承钢球变型，轴承阻力变大，久而久之，轴承甚至卡死。即造成靶台的(自转)轴承经常坏死，进而造成靶台寿命短，极大降低设备利用率，使用体验差，使用困难。特别是真空中，轴承不加润滑油脂，轴承寿命会更短。而自转轴承整个靶台中运动最频繁的部件，更容易出现故障。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于提供一种用于脉冲激光沉积系统中的防撞靶台结构，解决
技术介绍
中的问题，提出一种防撞结构，可以做到用力插拔靶托，不会对(自转)轴承造成冲击，极大延长轴承寿命。
[0004]为了实现以上目的，本技术采用的技术方案为：一种用于脉冲激光沉积系统中的防撞靶台结构，包括依次布置的靶托、自转固定环、自转轴承基座和自转齿轮，靶托底部的插杆插置于自转固定环的自紧孔中，自转固定环底部的自转轴穿过自转轴承基座与自转齿轮相接，所述的自转轴承基座的前后两端设置轴承，两端轴承之间设置防护弹簧，自转轴的自由端插置于自转齿轮中与自转齿轮固接；自转固定环的自转轴前端与自转轴承基座之间具有间距，自转固定环的自转轴后端与自转齿轮间具有间距。
[0005]进一步的，自转固定环位于自紧孔的侧面开孔，该开孔沿自紧孔径向布置，该开孔中设置自紧弹簧，自紧弹簧的前端设置圆头柱塞。
[0006]再进一步的，自转固定环外位于所述的开孔处套置有固定圆环。
[0007]再进一步的，自转轴承基座的外侧设置固定座。
[0008]进一步的，自转齿轮的前端插置于自转轴承基座后端、且顶在后方轴承上。
[0009]进一步的，靶托底部的插杆上设置供圆头柱塞抵靠的凹陷槽。
[0010]进一步的，所述的间距均为1
‑
2mm。
[0011]本技术的技术效果在于：本技术是一种防撞结构，可以做到用力插拔靶托，不会对(自转)轴承造成冲击，极大延长轴承寿命。
附图说明
[0012]图1为本技术的立体结构图；
[0013]图2为本技术的内部结构图；
[0014]图3为本技术的自转固定环的立体结构图；
[0015]图4为本技术的自转齿轮的立体结构图；
[0016]图5a为本技术插入靶托1时的一个状态图；
[0017]图5b为本技术插入靶托1时的另一个状态图；
[0018]图6a为本技术拉动靶托1时的一个状态图；
[0019]图6b为本技术拉动靶托1时的另一个状态图。
具体实施方式
[0020]一种用于脉冲激光沉积系统中的防撞靶台结构，包括依次布置的靶托1、自转固定环2、自转轴承基座3和自转齿轮4，靶托1底部的插杆插置于自转固定环2的自紧孔21中，自转固定环2底部的自转轴25穿过自转轴承基座3与自转齿轮4相接，所述的自转轴承基座3的前后两端设置轴承31，两端轴承31之间设置防护弹簧32，自转轴25的自由端插置于自转齿轮4中与自转齿轮4固接；自转固定环2的自转轴25前端与自转轴承基座3之间具有间距，自转固定环2的自转轴25后端与自转齿轮4间具有间距。
[0021]进一步的，自转固定环2位于自紧孔21的侧面开孔，该开孔沿自紧孔21径向布置，该开孔中设置自紧弹簧22，自紧弹簧22的前端设置圆头柱塞23。
[0022]再进一步的，自转固定环2外位于所述的开孔处套置有固定圆环24。
[0023]再进一步的，自转轴承基座3的外侧设置固定座5。
[0024]进一步的，自转齿轮4的前端插置于自转轴承基座3后端、且顶在后方轴承31上。
[0025]进一步的，靶托1底部的插杆上设置供圆头柱塞23抵靠的凹陷槽11。
[0026]进一步的，所述的间距均为1
‑
2mm。
[0027]靶台用于薄膜制备。靶托1设置于靶台上。靶托1，用于装配靶材a，本技术的实施例靶材a为1inch直径、厚6mm。脉冲激光沉积系统(PLD)的靶台的自转轴上的主动齿轮与(自转)齿轮4啮合，带动(自转)齿轮4自传，从而带动靶托1转动。
[0028]自转固定环2中带有自紧孔21。靶托1底部的插杆插进这个自紧孔21，靶托1被紧定或用力从这个自紧孔21拔出。
[0029]自转固定环2位于自紧孔21侧设置自紧弹簧22，自紧弹簧22外侧设置固定自紧弹簧22的固定圆环24。靶托1的插杆上设置供自紧弹簧22应力抵靠的凹陷槽11，自紧弹簧22通过圆头柱塞23实现自紧定功能。
[0030]自转轴承基座3的前后各设置一个轴承31。防护弹簧32后端顶在后方的轴承31上、防护弹簧32前端顶在前方的轴承31上，自转轴25的后端开设径向孔，自转轴25的后端插置于自转齿轮4中通过径向孔与自转齿轮4固接。
[0031]自转齿轮4的前端插置于自转轴承基座3后端、且顶在后方轴承31上。固定座5，用于固定于靶台上。
[0032]参照图5a、5b，插靶托1时的两种保护：
[0033]插入靶托1时(水平箭头表示插入方向)：
[0034](1)参照图5a，防护弹簧32的保护：
[0035]过力推进靶托1，使自转固定环2带动自转轴25由于顶着轴承31，会往里推轴承31。由于两轴承31中间是防护弹簧32，不是硬的圆环做间隔，弹性的防护弹簧32可以缩短，因此
受力会收缩(弹力由伸缩量决定，可以调到适当小的力度)，这样就可以极大减小自转固定环2的力学冲击。
[0036](2)参照图5b，自转轴承基座3的保护：
[0037]自转固定环2带动自转轴25往里推进，参照图5b，很快被自转轴承基座3右侧的面顶住.自转固定环2环部的前面与自转轴承基座3右侧的面的间距d1一般设为1
‑
2mm。由于间距小，靶托1很快被自转轴承基座3止动，这样防护弹簧32形变量很小，不会造成很大的弹力，进一步防止轴承31受到力学冲击。
[0038]再参照附图6a、6b，拔靶托1时的两种保护：
[0039]拉动靶托1时：
[0040](1)防护弹簧32的保护：
[0041]在拔靶托1时，参照图6a，如果自紧定的圆头柱塞23太紧，不易拔靶托1，会连带把自转固定环2及其自转轴25往外拉，这时会往右推轴承31。由于两轴承31中间是防护弹簧32，不是硬的圆环做间隔，具有弹性、可以缩短，因此受力会收缩(弹力由伸缩量决定，可以调到适当小的力度)，这样就可以极大减小自转齿轮4的力学冲击。
[0042](2)自转轴承基座3的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于脉冲激光沉积系统中的防撞靶台结构，包括依次布置的靶托(1)、自转固定环(2)、自转轴承基座(3)和自转齿轮(4)，靶托(1)底部的插杆插置于自转固定环(2)的自紧孔(21)中，自转固定环(2)底部的自转轴(25)穿过自转轴承基座(3)与自转齿轮(4)相接，所述的自转轴承基座(3)的前后两端设置轴承(31)，其特征在于：两端轴承(31)之间设置防护弹簧(32)，自转轴(25)的自由端插置于自转齿轮(4)中与自转齿轮(4)固接；自转固定环(2)的自转轴(25)前端与自转轴承基座(3)之间具有间距，自转固定环(2)的自转轴(25)后端与自转齿轮(4)间具有间距。2.根据权利要求1所述的一种用于脉冲激光沉积系统中的防撞靶台结构，其特征在于：自转固定环(2)位于自紧孔(21)的侧面开孔，该开孔沿自紧孔(21)径向布置，该开孔中设置自紧弹簧(22...

【专利技术属性】
技术研发人员：李琳，韦尚潮，廖昭胜，
申请(专利权)人：安徽外延科技有限公司，
类型：新型
国别省市：