一种插拔式红外加热样品托制造技术

本实用新型专利技术涉及一种插拔式红外加热样品托，包括样品托主架，样品托主架上方设置旗形样品托插槽部，样品托主架的下方设置插拔底座，所述的旗形样品托插槽部包括左右对称设置的一对弹性限位卡槽，弹性限位卡槽中设置弹性卡片。采用本实用新型专利技术使得旗形样品托拆换方便且装置稳定性也高。且装置稳定性也高。且装置稳定性也高。

【技术实现步骤摘要】
一种插拔式红外加热样品托


[0001]本技术涉及真空设备，属于真空设备系统中基片加热
，尤其涉及一种插拔式红外加热样品托。

技术介绍

[0002]真空中的基片加热是许多真空设备的技术核心和设备性能的关键指标，典型的应用是真空镀膜时基片的加热。真空镀膜系统如脉冲激光沉积、磁控溅射、分子束外延等都需要对基片进行加热，以得到高质量的薄膜。
[0003]目前的真空加热技术有辐射加热、电阻丝加热、红外激光加热等。红外(激光)加热是非接触加热，但成本高。电阻(丝)加热相对来说成本低，而且对比辐射加热，可以做成可以插拔式的，这样整个加热器和样品可以一起传送到样品台或从腔体取出。
[0004]现有的红外激光加热样品托在对旗形样品托进行拆换时不太方便，且旗形样品托包括拆换在内的装置稳定性也不太高。此外，功能也较为单一。

技术实现思路

[0005]本技术的目的在于提供一种插拔式红外加热样品托，旗形样品托拆换方便且装置稳定性也高。
[0006]为了实现以上目的，本技术采用的技术方案为：一种插拔式红外加热样品托，包括样品托主架，样品托主架上方设置旗形样品托插槽部，样品托主架的下方设置插拔底座，所述的旗形样品托插槽部包括左右对称设置的一对弹性限位卡槽，弹性限位卡槽中设置弹性卡片。
[0007]进一步的，所述的样品托主架的后侧设置真空传样用螺纹柱；所述的插拔底座位于样品托主架的前侧的下方，插拔底座上左右对称设置有自紧式插孔，自紧式插孔之间设置限位插孔。
[0008]再进一步的，样品托主架的后侧的上架面上开设台阶，所述的台阶位于旗形样品托插槽部的后部，所述的真空传样用螺纹柱位于台阶的后侧。
[0009]进一步的，样品托主架上位于弹性限位卡槽之间开设槽口，槽口下方设置红外激光窗口，红外激光窗口的面积大于槽口的面积。
[0010]进一步的，样品托主架的前侧设置电阻加热器测温孔。
[0011]再进一步的，所述的自紧式插孔中设置自紧式弹性抓手，所述的自紧式弹性抓手包括前方的夹头部和后方的支撑部，所述的夹头部的夹持腔中间窄、两头宽。
[0012]再进一步的，所述的插拔底座上可拆卸的插置有电阻加热基座，电阻加热基座上左右对称设置有与自紧式插孔插接的电极，当所述的电极插接于自紧式插孔中、所述的自紧式弹性抓手衔接所述的电极，电极之间设置插柱，所述的插柱与限位插孔插配，电极旁侧设置热电偶。
[0013]本技术的技术效果在于：采用本技术使得旗形样品托拆换方便且装置稳
定性也高。
附图说明
[0014]图1为本技术的基础结构的立体结构图，图中装配了旗形样品托；
[0015]图2为图1的底视方向的立体结构图；
[0016]图3为本技术的基础结构的另一个视角的立体结构图，图中未装配旗形样品托；
[0017]图4为图3的俯视图；
[0018]图5为图1状态的内部结构图；
[0019]图6为本技术的自紧式弹性抓手的立体结构图；
[0020]图7为自紧式弹性抓手的内部结构图；
[0021]图8为本技术加装电阻加热基座的结构图，图中为插拔底座与电阻加热基座未插接状态；
[0022]图9为本技术加装电阻加热基座的内部结构图，图中为插拔底座与电阻加热基座插接状态；
[0023]图10为本技术的实际工作状态图。
具体实施方式
[0024]采用本技术使得旗形样品托A拆换方便且装置稳定性也高，具体的：
[0025]一种插拔式红外加热样品托，包括样品托主架1，样品托主架1上方设置旗形样品托插槽部2，样品托主架1的下方设置插拔底座3，所述的旗形样品托插槽部2包括左右对称设置的一对弹性限位卡槽21，弹性限位卡槽21中设置弹性卡片22。
[0026]参照附图，所述的弹性限位卡槽21包括相对方向布置的槽口和沿旗形样品托A插向布置的槽口，所述的弹性卡片22为U型片，U型片的U型口朝向旗形样品托A插向。弹性限位卡槽21中的弹性卡片22，用于紧定旗形样品托A。
[0027]进一步的，所述的样品托主架1的后侧设置真空传样用螺纹柱4；所述的插拔底座3位于样品托主架1的前侧的下方，插拔底座3上左右对称设置有自紧式插孔31，自紧式插孔31之间设置限位插孔32。
[0028]再进一步的，样品托主架1的后侧的上架面上开设台阶11，所述的台阶11位于旗形样品托插槽部2的后部，所述的真空传样用螺纹柱4位于台阶11的后侧。
[0029]这样形成预留旗形样品托A抓取手B的台阶11，方便拆换以及装置旗形样品托A。
[0030]进一步的，样品托主架1上位于弹性限位卡槽21之间开设槽口，槽口下方设置红外激光窗口5，红外激光窗口5的面积大于槽口的面积。
[0031]开设的红外激光窗口5供红外激光光加热，激光可通过样品托主架1背面照射到旗形样品托A上样品背面，对样品进行加热。
[0032]进一步的，样品托主架1的前侧设置电阻加热器测温孔12。
[0033]设置的电阻加热器测温孔12是供电阻(丝)加热使用。
[0034]再进一步的，所述的自紧式插孔31中设置自紧式弹性抓手311，所述的自紧式弹性抓手311包括前方的夹头部和后方的支撑部，所述的夹头部的夹持腔中间窄、两头宽。
[0035]再进一步的，所述的插拔底座3上可拆卸的插置有电阻加热基座，电阻加热基座上左右对称设置有与自紧式插孔31插接的电极41，当所述的电极41插接于自紧式插孔31中、所述的自紧式弹性抓手311衔接所述的电极41，电极41之间设置插柱42，所述的插柱42与限位插孔32插配，电极41旁侧设置热电偶43。
[0036]参照附图，旗形样品托A中间的小方形即为样品。
[0037]这样形成的自紧式弹性抓手311的夹持部(即夹头部)中间窄、边头宽，可以方便的紧定插进来的电极41柱，且自紧式弹性抓手311的支撑部相较于夹头部宽大，方便电极41柱导入自紧式弹性抓手311夹头部孔内。插柱42指向插拔底座3方向前细后粗，这样，更有利于插入插孔31中，保证电阻加热基座相对插拔底座3的插拔便利度，这样也即形成插拔式电阻加热以及红外加热的多功能样品托。
[0038]实际上，本申请的电极41不仅可做电阻加热器的电极也可做插柱子。参照图10，磁力杆(图中左侧粗杆)旋转，让其前头螺母与真空传样用螺纹柱4耦合。
[0039]以上所述，仅为本技术较佳的具体实施方式，但本技术的保护范围并不局限于此，任何熟悉本
的技术人员在本技术揭露的技术范围内，根据本技术的技术方案及其技术构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本技术的保护范围之内。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种插拔式红外加热样品托，包括样品托主架(1)，样品托主架(1)上方设置旗形样品托插槽部(2)，样品托主架(1)的下方设置插拔底座(3)，其特征在于：所述的旗形样品托插槽部(2)包括左右对称设置的一对弹性限位卡槽(21)，弹性限位卡槽(21)中设置弹性卡片(22)。2.根据权利要求1所述的一种插拔式红外加热样品托，其特征在于：所述的样品托主架(1)的后侧设置真空传样用螺纹柱(4)；所述的插拔底座(3)位于样品托主架(1)的前侧的下方，插拔底座(3)上左右对称设置有自紧式插孔(31)，自紧式插孔(31)之间设置限位插孔(32)。3.根据权利要求2所述的一种插拔式红外加热样品托，其特征在于：样品托主架(1)的后侧的上架面上开设台阶(11)，所述的台阶(11)位于旗形样品托插槽部(2)的后部，所述的真空传样用螺纹柱(4)位于台阶(11)的后侧。4.根据权利要求1所述的一种插拔式红外加热样品托，其特征在于：样品托主架(1)上位于弹性...

【专利技术属性】
技术研发人员：李琳，韦尚潮，廖昭胜，
申请(专利权)人：安徽外延科技有限公司，
类型：新型
国别省市：