镀膜载板及镀膜设备制造技术

本申请涉及光伏生产设备技术领域，尤其是涉及一种镀膜载板及镀膜设备。镀膜载板包括载板本体，载板本体上形成有多个用于放置硅片的承载位；载板本体内设有多个第一加强件和/或第二加强件，多个第一加强件的长度方向均沿第一方向，且多个第一加强件沿第二方向并排间隔设置；多个第二加强件的长度方向沿第二方向，且多个第二加强件沿第一方向并排间隔设置。第一加强件以及第二加强件均具有低膨胀系数，以能够对载板本体受温度影响而发生的膨胀进行约束，从而使载板本体，尤其是大规格的具有高承载性能的载板本体在携带硅片通过镀膜设备时，载板本体不易受温度影响而发生的变形，进而保证硅片镀膜的均匀性。而保证硅片镀膜的均匀性。而保证硅片镀膜的均匀性。

【技术实现步骤摘要】
镀膜载板及镀膜设备


[0001]本申请涉及光伏生产设备
，尤其是涉及一种镀膜载板及镀膜设备。

技术介绍

[0002]在PVD（Physical Vapor Deposition，物理气相沉积）镀膜设备中，通常利用载板装载硅片，并将硅片送入镀膜设备中进行镀膜；随着硅片尺寸的越来越大，硅片尺寸有157
㎜
、161
㎜
、180
㎜
、210
㎜
等，需要对应尺寸的载板满足硅片运输，因此对于载板的尺寸要求也越来越大，但目前的载板无法满足大尺寸硅片运输，且无法兼容各种尺寸的硅片，大尺寸的载板承载大尺寸硅片极易发生变形，在镀膜设备中，导致硅片镀膜不均匀。

技术实现思路

[0003]本专利技术的目的在于提供一种镀膜载板及镀膜设备，以在一定程度上解决现有技术中大尺寸载板容易变形的技术问题。
[0004]本专利技术提供了一种镀膜载板，包括载板本体；所述载板本体上形成有多个用于承载硅片的承载位，多个所述承载位沿相垂直的第一方向和第二方向呈多行多列的阵列排布；所述载板本本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种镀膜载板，其特征在于，包括载板本体；所述载板本体上形成有多个用于承载硅片的承载位，多个所述承载位沿相垂直的第一方向和第二方向呈多行多列的阵列排布；所述载板本体内穿设有多个具有低膨胀系数的第一加强件，多个所述第一加强件的长度方向均沿所述第一方向，且多个所述第一加强件沿所述第二方向并排间隔设置；和/或，所述载板本体内穿设有多个具有低膨胀系数的第二加强件，多个所述第二加强件的长度方向均沿所述第二方向，且多个所述第二加强件沿所述第一方向并排间隔设置。2.根据权利要求1所述的镀膜载板，其特征在于，所述载板本体包括外框以及设于所述外框内的支撑架；所述支撑架呈格栅状，包括多个沿所述第一方向延伸的横向板条和多个沿所述第二方向延伸的纵向板条，多个所述横向板条沿所述第二方向并排间隔，多个所述纵向板条沿所述第一方向并排间隔设置；所述支撑架中的格栅孔形成所述承载位。3.根据权利要求2所述的镀膜载板，其特征在于，当所述载板本体内穿设有所述第一加强件时，所述横向板条内沿所述第一方向开设有第一通孔，所述第一通孔用于穿设所述第一加强件；当所述载板本体内穿设有所述第二加强件时，所述纵向板条内沿所述第二方向开设有第二通孔，所述第二通孔用于穿设所述第二加强件；当所述载板本体内同时穿设有所述第一加强件和所述第二加强件时，所述第一通孔和所述第二通孔沿第三方向错位设置，所述第三方向垂直于所述第一方向和所述第二方向。4.根据权利要求3所述的镀膜载板，其特征在于，所述外...

【专利技术属性】
技术研发人员：请求不公布姓名，
申请(专利权)人：广东利元亨智能装备股份有限公司，
类型：发明
国别省市：