一种蒸镀机结构制造技术

本实用新型专利技术涉及LED芯片技术领域，具体涉及一种蒸镀机结构，包括蒸镀腔、镀锅、滑轨和镀源；所述镀锅设有多个，所述镀锅设置在蒸镀腔上部，多个所述镀锅绕蒸镀腔的竖直中轴线均匀设置，所述镀锅以自身轴线为轴而自转设置；所述滑轨水平设置在蒸镀腔的下部，所述镀源滑动连接滑轨。本实用新型专利技术的有益效果在于：本实用新型专利技术提供的蒸镀机结构蒸镀出的电极，电极侧壁与晶圆片表面的坡度平缓，在这种电极上设置电极保护层，电极保护层能更好的保护电极。电极保护层能更好的保护电极。电极保护层能更好的保护电极。

【技术实现步骤摘要】
一种蒸镀机结构


[0001]本技术涉及LED芯片
，具体涉及一种蒸镀机结构。

技术介绍

[0002]在LED芯片领域，经常应用真空蒸镀机在晶圆片上蒸镀电极。真空蒸镀是指在真空条件下，使用一定温度加热蒸发镀膜材料(或称膜料)，使之气化，气体粒子飞至晶圆片表面凝聚成膜的工艺方法。
[0003]现有技术中，LED电极的蒸镀技术多为中心蒸镀，即镀源在旋转的镀锅下方，并且镀源在镀锅的旋转轴线上的蒸镀方法。这种方法蒸镀出来的电极侧壁角度较陡(电极的截面近似梯形，且“侧壁角度较陡”意味着梯形的四个角更接近90度)，不利于电极保护层对电极的保护。

技术实现思路

[0004]本技术所要解决的技术问题是：提供一种蒸镀机结构，解决蒸镀的电极侧壁较陡的问题。
[0005]为了解决上述技术问题，本技术采用的一种技术方案为：一种蒸镀机结构，包括蒸镀腔、镀锅、滑轨和镀源；
[0006]所述镀锅设有多个，所述镀锅设置在蒸镀腔上部，多个所述镀锅绕蒸镀腔的竖直中轴线均匀设置，所述镀锅以自身轴线为轴而自转设置；
[0007]所述滑轨水平设置在蒸镀腔的下部，所述镀源滑动连接滑轨。
[0008]进一步地，还包括转盘，所述转盘设置在蒸镀腔顶部，所述转盘轴线与蒸镀腔的竖直中轴线重合，所述转盘自转设置；所述镀锅设置在转盘边沿。
[0009]进一步地，所述镀锅的轴线与水平面的夹角为20
‑
70度。
[0010]进一步地，还包括环形轨，所述环形轨水平设置在蒸镀腔顶部，所述环形轨轴线与蒸镀腔的竖直中轴线重合，所述环形轨在镀锅远离蒸镀腔的竖直中轴线的一侧，所述镀锅的边沿滚动连接于环形轨。
[0011]进一步地，还包括电机，所述电机的驱动轴同轴连接镀锅；所述电机远离其驱动轴的一端铰接于转盘边沿。
[0012]进一步地，还包括转向球头、转向球笼和固定螺栓，所述转向球头设置在电机的一端，所述转向球笼设置在转盘边沿，所述转向球头滚动设置在转向球笼中，所述固定螺栓贯穿转向球笼抵接转向球头，所述固定螺栓与转向球笼螺纹连接。
[0013]本技术的有益效果在于：请参考附图2，电极蒸镀工艺需要在晶圆片上涂抹光刻胶，显影光刻胶，形成截面为梯形的光刻孔。
[0014]第一镀源点对应传统的电极蒸镀工艺，第一镀源点在镀锅公转轴线上，第一镀源点的镀料的升华镀膜移动路径为第一蒸镀路径；
[0015]因为所述蒸镀机结构中的镀源可以沿着滑轨移动，移动后的本技术的镀源设
置在第二镀源点上，第二镀源点的镀料的升华镀膜移动路径为第二蒸镀路径。
[0016]对比第一蒸镀路径和第二蒸镀路径不难发现，在光刻孔的上侧，由于光刻胶的阻挡，第一镀源点的镀料壁第二镀源点的镀料覆盖了更少的晶圆片表面。
[0017]本技术的镀源可能蒸镀出不对称的电极，故而设置镀锅自转，使电极对称。
[0018]故本技术提供的蒸镀机结构蒸镀出的电极，电极侧壁与晶圆片表面的坡度平缓，在这种电极上设置电极保护层，电极保护层能更好的保护电极。
附图说明
[0019]图1为本技术具体实施方式的一种蒸镀机结构的整体结构示意图；
[0020]图2为本技术具体实施方式的一种蒸镀机结构的工作原理示意图；
[0021]标号说明：
[0022]1、镀锅；2、滑轨；3、镀源；4、转盘；5、环形轨；
[0023]11、光刻胶； 111、光刻孔；
[0024]12、第一镀源点； 121、第一蒸镀路径；
[0025]13、第二镀源点；131、第二蒸镀路径；
[0026]14、蒸镀腔的竖直中轴线。
具体实施方式
[0027]为详细说明本技术的
技术实现思路
、所实现目的及效果，以下结合实施方式并配合附图予以说明。
[0028]请参照图1，一种蒸镀机结构，包括蒸镀腔、镀锅1、滑轨2和镀源3；
[0029]所述镀锅设有多个，所述镀锅设置在蒸镀腔上部，多个所述镀锅绕蒸镀腔的竖直中轴线均匀设置，所述镀锅以自身轴线为轴而自转设置；
[0030]所述滑轨水平设置在蒸镀腔的下部，所述镀源滑动连接滑轨。
[0031]由上描述可知，请参考附图2，电极蒸镀工艺需要在晶圆片上涂抹光刻胶11，显影光刻胶，形成截面为梯形的光刻孔111。
[0032]第一镀源点12对应传统的电极蒸镀工艺，第一镀源点在蒸镀腔的竖直中轴线14上，第一镀源点的镀料的升华镀膜移动路径为第一蒸镀路径121；
[0033]因为所述蒸镀机结构中的镀源可以沿着滑轨移动，移动后的本技术的镀源3设置在第二镀源点13上，第二镀源点的镀料的升华镀膜移动路径为第二蒸镀路径131。
[0034]对比第一蒸镀路径和第二蒸镀路径不难发现，在光刻孔的上侧，由于光刻胶的阻挡，第一镀源点的镀料壁第二镀源点的镀料覆盖了更少的晶圆片表面。
[0035]本技术的镀源可能蒸镀出不对称的电极，故而设置镀锅自转，使电极对称。
[0036]故本技术提供的蒸镀机结构蒸镀出的电极，电极侧壁与晶圆片表面的坡度平缓，在这种电极上设置电极保护层，电极保护层能更好的保护电极。
[0037]进一步地，还包括转盘4，所述转盘设置在蒸镀腔顶部，所述转盘轴线与蒸镀腔的竖直中轴线重合，所述转盘自转设置；所述镀锅设置在转盘边沿。
[0038]由上描述可知，所述转盘带动镀锅自转，使晶圆片被镀膜的膜厚更均匀。
[0039]进一步地，所述镀锅的轴线与水平面的夹角为20
‑
70度。
[0040]由上描述可知，所述蒸镀机结构蒸镀出的电极侧壁的坡度还与镀锅放置的角度有关，上述设置提供一种简单高效的镀锅设置角度，使所述蒸镀机结构蒸镀出的电机侧壁坡度较缓。
[0041]进一步地，还包括环形轨5，所述环形轨水平设置在蒸镀腔顶部，所述环形轨轴线与蒸镀腔的竖直中轴线重合，所述环形轨在镀锅远离蒸镀腔的竖直中轴线的一侧，所述镀锅的边沿滚动连接于环形轨。
[0042]由上描述可知，上述设置提供一种简单高效的镀锅自转的结构，转盘带动镀锅公转，因为镀锅边沿滚动设置在环形轨上，镀锅公转的动力转化为镀锅自转的动力。
[0043]进一步地，还包括电机，所述电机的驱动轴同轴连接镀锅；所述电机远离其驱动轴的一端铰接于转盘边沿。
[0044]由上描述可知，上述设置提供一种简单高效的镀锅自转的结构。
[0045]进一步地，还包括转向球头、转向球笼和固定螺栓，所述转向球头设置在电机的一端，所述转向球笼设置在转盘边沿，所述转向球头滚动设置在转向球笼中，所述固定螺栓贯穿转向球笼抵接转向球头，所述固定螺栓与转向球笼螺纹连接。
[0046]由上描述可知，所述蒸镀机结构蒸镀出的电极侧壁的坡度还与镀锅放置的角度有关，上述设置中，转向球头可在转向球笼内转动，以此，工作人员可以调整镀锅的放置角度，随后还可以用固定螺栓固定转本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种蒸镀机结构，其特征在于，包括蒸镀腔、镀锅、滑轨和镀源；所述镀锅设有多个，所述镀锅设置在蒸镀腔上部，多个所述镀锅绕蒸镀腔的竖直中轴线均匀设置，所述镀锅以自身轴线为轴而自转设置；所述滑轨水平设置在蒸镀腔的下部，所述镀源滑动连接滑轨。2.根据权利要求1所述的蒸镀机结构，其特征在于，还包括转盘，所述转盘设置在蒸镀腔顶部，所述转盘轴线与蒸镀腔的竖直中轴线重合，所述转盘自转设置；所述镀锅设置在转盘边沿。3.根据权利要求2所述的蒸镀机结构，其特征在于，所述镀锅的轴线与水平面的夹角为20
‑
70度。4.根据权利要求3所述的蒸镀机结构，其特...

【专利技术属性】
技术研发人员：李文浩，林武，尚大可，
申请(专利权)人：福建兆元光电有限公司，
类型：新型
国别省市：