一种具有防护门的晶圆放置装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了光阻涂布机领域内的一种具有防护门的晶圆放置装置，包括铺设在水平机台面板上的底板，底板的左右两侧均竖直设置有侧板，两侧板顶部之间水平设有顶板，与顶板、底板和两侧板的后部相对应设有竖直的后挡板，两侧板中部之间水平设有支撑板，与顶板、底板和两侧板的前部相对应设置有若干可打开的防护门体，各防护门体沿长度方向依次排列设置，所述底板上方形成存放区，底板上沿长度方向等间隔设置有若干组纵向取放导轨，每组取放导轨上均对应放置有一个晶圆提篮，所述支撑板上方形成备用区，支撑板上沿横向等间隔放置有若干备用提篮。本实用新型专利技术在机台晶圆放置区新增带防护门的存放柜，将该区域完全封闭，起到保护晶圆效果。晶圆效果。晶圆效果。

【技术实现步骤摘要】
一种具有防护门的晶圆放置装置


[0001]本技术属于光阻涂布机领域，特别涉及一种具有防护门的晶圆放置装置。

技术介绍

[0002]晶圆封装Bumping工艺是一项精密的加工技术，是一种高精度的平面组件的加工处理工艺，是一种将空白封装器件和微加工技术相结合，以实现功能封装的方法。晶圆封装工艺需要用到光阻涂布机，在晶圆表面涂上一层光阻，晶圆在涂布光阻前是放置在光阻涂布机台上的晶圆放置区的，其问题在于：目前的晶圆放置区为非密闭空间，在作业过程中会有被碰撞到或者塑料或金属颗粒等污染晶圆的风险。

技术实现思路

[0003]本技术的目的是提供一种具有防护门的晶圆放置装置，解决晶圆放置区作业过程中有被撞击或者杂质颗粒等污染的风险，在机台晶圆放置区新增带防护门的存放柜，将该区域完全封闭，起到保护效果。
[0004]本技术的目的是这样实现的：一种具有防护门的晶圆放置装置，包括铺设在水平机台面板上的底板，底板的左右两侧均竖直设置有侧板，两侧板顶部之间水平设有顶板，顶板、底板和两侧板围成矩形，与顶板、底板和两侧板的后部相对应设有竖直的后挡板，两侧本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种具有防护门的晶圆放置装置，其特征在于，包括铺设在水平机台面板上的底板，底板的左右两侧均竖直设置有侧板，两侧板顶部之间水平设有顶板，顶板、底板和两侧板围成矩形，与顶板、底板和两侧板的后部相对应设有竖直的后挡板，两侧板中部之间水平设有支撑板，与所述顶板、底板和两侧板的前部相对应设置有若干可打开的防护门体，各防护门体沿长度方向依次排列设置，所述底板上方形成存放区，底板上沿长度方向等间隔设置有若干组纵向取放导轨，每组取放导轨上均对应放置有一个晶圆提篮，所述支撑板上方形成备用区，支撑板上沿横向等间隔放置有若干备用提篮。2.根据权利要求1所述的一种具有防护门的晶圆放置装置，其特征在于，所述防护门体沿横向排列设置有四个，顶板和底板之间竖直设有两根左右对称的安装框条，两根安装框条相对的一侧均铰接有一防护...

【专利技术属性】
技术研发人员：涂可嘉，
申请(专利权)人：江苏汇成光电有限公司，
类型：新型
国别省市：