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本实用新型公开了光阻涂布机领域内的一种具有防护门的晶圆放置装置，包括铺设在水平机台面板上的底板，底板的左右两侧均竖直设置有侧板，两侧板顶部之间水平设有顶板，与顶板、底板和两侧板的后部相对应设有竖直的后挡板，两侧板中部之间水平设有支撑板，与顶...
该专利属于江苏汇成光电有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏汇成光电有限公司授权不得商用。

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