【技术实现步骤摘要】
一种气体分配盘用管路保护机构
[0001]本技术涉及气体分配盘
，尤其涉及一种气体分配盘用管路保护机构。
技术介绍
[0002]洁净气体分配盘内会配有洁净气路管件，管路件之间由各种阀门连接，用于洁净气体的分配，管路在使用时，由于需要高密封性，需要防止磕碰，以防止出现破损、漏气的情况，会采用挂炉保护机构，用于保护气体分配盘的管路。
[0003]气体分配盘管路进行防护、保护时，会配置管路保护机构，保护机构会拦护在管路的端侧，用于防止管路被尖锐等物品、冲击、刺破，出现损坏、漏气的情况，现设计保护机构，由七个套接板构成，板块前端设置防护海绵，防止物品喷撞到管路，同时在板块内侧设置橡胶条，用于防护在板块和管路之间，以确保器体分配盘管路被充分保护。
技术实现思路
[0004]本技术的目的是提供一种气体分配盘用管路保护机构。
[0005]为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：
[0006]一种气体分配盘用管路保护机构，包括套板，所述套板的端壁开设有板槽，且板槽的内侧安置有橡胶条，所述套板的端...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种气体分配盘用管路保护机构，包括套板(1)，其特征在于，所述套板(1)的端壁开设有板槽(2)，且板槽(2)的内侧安置有橡胶条(3)，所述套板(1)的端壁穿设有螺丝(4)，且套板(1)的外侧安装有海绵条(5)，所述海绵条(5)的上下两端均安置有海绵套(6)，所述套板(1)的上下两端侧均安装有拼支机构(7)。2.根据权利要求1所述的一种气体分配盘用管路保护机构，其特征在于，所述拼支机构(7)包括组板(8)、螺钉(9)和支板(10)，且组板(8)的前端壁穿设有螺钉(9)，所述组板(8)的侧端安置有支板(10)。3.根据权利要求2所述的一种气体分配盘用管路保护机构，其特征在于，所述组板(8)、螺...
【专利技术属性】
技术研发人员：钱永明，凌晓仁，徐文彬，孙海兵，
申请(专利权)人：吉姆西半导体科技无锡有限公司，
类型：新型
国别省市：
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