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本实用新型涉及气体分配盘技术领域，尤其涉及一种气体分配盘用管路保护机构，一种气体分配盘用管路保护机构，包括套板，所述套板的端壁开设有板槽，且板槽的内侧安置有橡胶条，所述套板的端壁穿设有螺丝，且套板的外侧安装有海绵条，所述海绵条的上下两端均安...
该专利属于吉姆西半导体科技（无锡）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过吉姆西半导体科技（无锡）有限公司授权不得商用。

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