微机电系统MEMS扫描镜及其制备方法技术方案

本公开实施例涉及微机电系统技术领域，提供了一种微机电系统MEMS扫描镜及其制备方法，包括：镜子；驱动模块，包括：位置固定的固定梁、可绕轴转动的转动梁和连接件；固定梁上设置有第一梳齿；转动梁上设置有第二梳齿；所述第一梳齿成型于第一膜层，所述第二梳齿成型于第二膜层；第一梳齿和第二梳齿在驱动信号作用下可驱动转动梁摆动；连接件连接镜子和转动梁；摆动的转动梁可通过连接件驱动镜子旋转。本公开实施例中，一方面，可以根据梳齿的高度要求采用不同厚度的膜层进行加工，提升了膜层的尺寸一致性；另一方面，可以在制备过程中设置刻蚀阻挡层，从而无需精确控制刻蚀硅的速率及时间，提高了芯片的制备效率，适合大规模量产。适合大规模量产。适合大规模量产。

【技术实现步骤摘要】
微机电系统MEMS扫描镜及其制备方法


[0001]本专利技术涉及微机电系统
，尤其涉及一种微机电系统MEMS扫描镜及其制备方法。

技术介绍

[0002]微机电系统(MEMS，Micro
‑
Electro
‑
Mechanical System)扫描镜是基于MEMS技术将微光反射镜与MEMS驱动器集成在一起的光学器件。微光反射镜可以在MEMS驱动器的作用下实现微光反射镜的在一维或二维方向上的平移运动或枢轴转动。
[0003]相关技术中，MEMS扫描镜的生产工序复杂且加工效率低，难以实现大规模量产。而且，生产出的MEMS的尺寸一致性差。

技术实现思路

[0004]本专利技术实施例提供了微机电系统MEMS扫描镜及其制备方法。
[0005]本公开实施例第一方面提供一种微机电系统MEMS扫描镜，包括：
[0006]镜子；
[0007]驱动模块，包括：位置固定的固定梁、可绕轴转动的转动梁和连接件；
[0008]所述固定梁上设置有第一梳齿；所述转动梁上设置有第二梳本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种微机电系统MEMS扫描镜，其特征在于，包括：镜子；驱动模块，包括：位置固定的固定梁、可绕轴转动的转动梁和连接件；所述固定梁上设置有第一梳齿；所述转动梁上设置有第二梳齿；所述第一梳齿成型于第一膜层，所述第二梳齿成型于第二膜层；所述第一梳齿和所述第二梳齿在驱动信号作用下可驱动所述转动梁摆动；所述连接件连接所述镜子和所述转动梁；摆动的所述转动梁可通过所述连接件驱动所述镜子旋转；所述连接件包括连杆和与所述连杆连接的铰链；所述镜子、所述连杆和/或所述铰链均包括上部和下部；所述上部成型于所述第二膜层；所述下部成型于所述第一膜层。2.根据权利要求1所述的MEMS扫描镜，其特征在于，所述第一膜层和所述第二膜层的材料和/或厚度相同。3.根据权利要求1所述的MEMS扫描镜，其特征在于，所述驱动模块包括多个层叠的膜层；所述多个层叠的膜层包括：所述第一膜层、所述第二膜层和设置在所述第一膜层和所述第二膜层之间的键合层。4.根据权利要求3所述的MEMS扫描镜，其特征在于，所述镜子的上部为镜面，所述镜面成型于所述第二膜层；和/或，所述镜子的下部为镜面加强筋，所述镜面加强筋成型于所述第一膜层和所述键合层；和/或，所述连杆和/或所述铰链成型于所述第一膜层、所述第二膜层和所述键合层。5.一种MEMS扫描镜的制备方法，其特征在于，包括：在第一晶圆的第一膜层上刻蚀出第一梳齿、连杆的下部、铰链的下部和/或镜面加强筋，其中，所述第一晶圆包括所述第一膜层和与所述第一膜层的一表面相邻的第一刻蚀阻挡层；将第二晶圆与所述第一晶圆在所述第一膜层的另一表面上进行键...

【专利技术属性】
技术研发人员：何文涛，张乃川，石拓，
申请(专利权)人：北京一径科技有限公司，
类型：发明
国别省市：