镜装置制造方法及图纸

本发明专利技术的镜装置具备支承部、可动部(4)、以及配置于第一轴线(X)上的可动部(4)的两侧的一对扭力杆(7、8)。可动部(4)具有连接有一对扭力杆(7、8)的框状的框架(42)和配置于框架(42)的内侧的镜部(41)。镜部(41)在位于与第二轴线(Y)平行的方向上的镜部(41)的两侧的一对连接区域(40a、40b)的各个与框架(42)连接。镜部(41)和框架(42)之间的区域中一对连接区域(40a、40b)以外的区域为空间。在从垂直于第一轴线(X)及第二轴线(Y)的方向观察的情况下，镜部(41)的外缘和框架(42)的内缘在一对连接区域(40a、40b)的各个以曲率连续的方式连接。40b)的各个以曲率连续的方式连接。40b)的各个以曲率连续的方式连接。

【技术实现步骤摘要】
镜装置
[0001]本申请是申请日为2018年8月3日、申请号为201880051445.9、专利技术名称为镜装置的专利申请的分案申请。


[0002]本专利技术涉及一种构成为例如MEMS(Micro Electro Mechanical Systems(微机电系统))器件的镜装置。

技术介绍

[0003]作为MEMS器件，已知有一种镜装置，其具备：支承部；可动部，其设置有镜部；一对扭力杆，其将可动部与支承部连结以使可动部可以以规定轴线为中心线摆动。在这种镜装置中，为了抑制镜部在使可动部高速(例如，以可动部的共振频率水平(数KHz～数十KHz))摆动时发生弯曲，有时在可动部将镜部经由配置于上述轴线上的一对连结部与框状的框架连结(例如，参照专利文献1)。
[0004]现有技术文献
[0005]专利文献
[0006]专利文献1：美国专利第7619802号说明书

技术实现思路

[0007]专利技术所要解决的问题
[0008]在上述的镜装置中，因为一对扭力杆及一对连结部配置于同一轴线上，所以如果使可本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种镜装置，其中，具备：支承部；可动部；一对第一扭力杆，其配置于第一轴线上的所述可动部的两侧，将所述可动部与所述支承部连结以使所述可动部能够以所述第一轴线为中心线摆动，在所述可动部的一表面，设置有镜面，在所述可动部的另一表面，设置有梁结构，所述梁结构包含：第一梁结构，其在从垂直于所述第一轴线以及垂直于所述第一轴线的第二轴线的方向观察的情况下，从所述第一轴线和所述第二轴线的交点朝向平行于所述第二轴线的方向上的一侧呈V字状延伸；第二梁结构，其在从垂直于所述第一轴线以及所述第二轴线的所述方向观察的情况下，从所述交点朝向平行于所述第二轴线的所述方向上的另一侧呈V字状延伸；以及第三梁结构，其在从垂直于所述第一轴线以及所述第二轴线的所述方向观察的情况下，从所述交点朝向平行于所述第一轴线的方向上的两侧呈X字状延伸。2.根据权利要求1所述的镜装置，其中，所述第一梁结构夹着所述第二轴线而呈V字状延伸，所述第二梁结构夹着所述第二轴线而呈V字状延伸。3.根据权利要求1或2所述的镜装置，其中，所述第三梁结构夹着所述第一轴线而呈X字状延伸。4.根据权利要求1～3中任一项所述的镜装置，其中，所述可动部具有：框状的框架，其连接有所述一对第一扭力杆；镜部，其配置于所述框架的内侧，且设置有所述镜面，所述镜部在位于平行于所述第二轴线的所述方向上的所述镜部的两侧的一对第一连接区域的各个，与所述框架连接，所述镜部和所述框架之间的区域中所述一对第一连接区域以外的区域为空间。5.根据权利要求1～3中任一项所述的镜装置，其中，所述可动部具有：框状的框架，其连接有所述一对第一扭力杆；镜部，其配置于所述框架的内侧，且设置有所述镜面，所述镜部在位于平行于所述第二轴线的所述方向上的所述镜部的两侧的一对第一连接区域的各个、及位于与所述第一轴线平行的所述方向上的所述镜部的两侧的一对第二连接区域的各个，与所述框架连接，所述镜部和所述框架之间的区域中所述一对第一连接区域及所述一对第二连接区域以外的区域为空间。6.根据权利要求4或5所述的镜装置，其中，所述第一梁结构具有相对于所述交点位于平行于所述第二轴线的所述方向上的所述
一侧的一对第一前端部，所述第二梁结构具有相对于所述交点位于平行于所述第二轴线的所述方向上的所述另一侧的一对第二前端部，平行于所述第一轴线的所述方向上的所述一对第一连接区域各自的最小宽度大于...

【专利技术属性】
技术研发人员：铃木大几，大崎拓真，
申请(专利权)人：浜松光子学株式会社，
类型：发明
国别省市：