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文档序号:37820329
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本发明的镜装置具备支承部、可动部(4)、以及配置于第一轴线(X)上的可动部(4)的两侧的一对扭力杆(7、8)。可动部(4)具有连接有一对扭力杆(7、8)的框状的框架(42)和配置于框架(42)的内侧的镜部(41)。镜部(41)在位于与第二轴...
该专利属于浜松光子学株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过浜松光子学株式会社授权不得商用。
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