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本公开实施例涉及微机电系统技术领域，提供了一种微机电系统MEMS扫描镜及其制备方法，包括：镜子；驱动模块，包括：位置固定的固定梁、可绕轴转动的转动梁和连接件；固定梁上设置有第一梳齿；转动梁上设置有第二梳齿；所述第一梳齿成型于第一膜层，所述第...
该专利属于北京一径科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京一径科技有限公司授权不得商用。

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