一种管式炉用薄片夹具制造技术

本实用新型专利技术属于热处理用夹具领域，特别是涉及一种管式炉用薄片夹具。管式炉用薄片夹具包括底板及相对设置于底板两侧的梳板，所述梳板上设有间隔的梳齿，任意相邻两梳齿之间形成限位槽。本实用新型专利技术直接在底板两侧设置梳板，并利用梳板上的梳齿形成限位槽，从而实现了薄片产品可竖立间隔放置在管式炉中并使夹具的整体结构大幅简化，整体结构简单紧凑，进而节省其所占用的空间，提高夹具的空间利用率。提高夹具的空间利用率。提高夹具的空间利用率。

【技术实现步骤摘要】
一种管式炉用薄片夹具


[0001]本技术属于热处理用夹具领域，特别是涉及一种管式炉用薄片夹具。

技术介绍

[0002]目前，用于热处理中为待处理产品提供高温或特殊气体环境的管式炉普遍具有圆柱形的炉膛，而当利用这一类炉膛对一些薄片产品，尤其是圆形薄片进行热处理时，往往采用薄片产品倾斜并交错堆叠的方式放置在炉膛内进行处理，因此使得薄片产品无法在炉膛中保持竖立、单次热处理时炉膛内所能放置的产品数量较少、薄片产品与炉膛内反应气体的有效接触面积受限，产品性能较低。
[0003]授权公告号为JP05001223U，授权公告日为1993年1月8日的日本技术专利公开了一种管状水平炉的晶圆热处理夹具，该夹具具有可将薄片产品依次竖立排开的梳齿状结构以及为薄片产品及夹具本体提高支撑的支腿/支架结构，可实现将薄片产品竖立并间隔放置与炉膛内进行热处理。
[0004]但夹具由间隔布置的多对支腿及两组梳齿状结构组成，使整体结构较为复杂；且由于底部支架较上方梳齿状结构而言体积占比较小、与炉膛内壁的贴合面积较小，在减小整体重量、提高空气流通效率的同时牺牲了一部分本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种管式炉用薄片夹具，包括梳板，所述梳板上间隔设有梳齿，任意相邻两梳齿之间形成限位槽，其特征是，所述管式炉用薄片夹具还包括底板，所述梳板相对设置于底板两侧、并由底板两侧的相应边沿向上延伸形成。2.根据权利要求1所述的管式炉用薄片夹具，其特征是，所述管式炉用薄片夹具为一体成型式结构。3.根据权利要求2所述的管式炉用薄片夹具，其特征是，所述底板为与所适配的管式炉炉膛内壁贴合的弧形底板。4.根据权利要求3所述的管式炉用薄片夹具，其特征是，所述弧形底板的弦长不小于其所适配的管式炉炉膛半径的长度。5.根据权利要求1所述的管式炉用薄片夹具，其特征是，所述梳板相对于底板竖直设置。6...

【专利技术属性】
技术研发人员：付建超，朱岩，赵东鹏，白书争，
申请(专利权)人：河南四方达超硬材料股份有限公司，
类型：新型
国别省市：