用于MEMS陀螺仪的电路和用于运行相应的电路的方法技术

本发明专利技术涉及一种用于MEMS陀螺仪的电路(100)，所述MEMS陀螺仪具有能被激励至振荡运动的至少一个质量，其中，所述电路还包括：用于生成周期性的测试信号(31)的信号发生器电路(30)，其中，所述测试信号(31)能被施加在驱动器电路(10)的MEMS侧的第一信号输入端(13)上和/或读出电路(20)的MEMS侧的第二信号输入端(23)上并且引起响应测量信号，使得基于所述响应测量信号能确定在解调信号(12a、12b)和所述响应测量信号之间的相位偏移。此外，要求保护一种用于运行MEMS陀螺仪的相应的方法。一种用于运行MEMS陀螺仪的相应的方法。一种用于运行MEMS陀螺仪的相应的方法。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】用于MEMS陀螺仪的电路和用于运行相应的电路的方法


[0001]本专利技术涉及一种用于MEMS陀螺仪的电路和一种用于运行相应的电路的方法。本专利技术尤其涉及用于求取在MEMS陀螺仪的运行电路中的相位偏移的一种电路和一种方法。

技术介绍

[0002]MEMS(微机电系统，Mikro
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Elektro
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Mechanisches
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System)陀螺仪的最重要的特性之一是其与温度、载荷和使用寿命相关的偏移稳定性。陀螺仪中的输出偏移的主要贡献是由机械结构生成的正交信号，该正交信号然后利用并非完美地与速率信号同相对准的解调信号被解调至基带。这一般而言归因于在源自机械驱动运动的驱动信号与速率信号以及正交信号之间的相位偏移，所述驱动信号用于调用电路内的同步性以用于运行MEMS陀螺仪，所述速率信号以及正交信号由陀螺仪机械装置的读出部分提供。正交信号是由MEMS陀螺仪的与生产相关的不对称性产生的。由此不仅在驱动方向上、而且在探测方向(读取方向)上产生振荡。这些振荡具有相对于彼此的90r/>°
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种用于MEMS陀螺仪的电路(100)，所述MEMS陀螺仪具有能被激励至振荡运动的至少一个质量，所述电路至少包括：a)具有MEMS侧的第一信号输入端(13)的驱动器电路(10)，所述驱动器电路用于监测所述质量的振荡运动，其中，所述驱动器电路(10)包括锁相回路(15)，所述锁相回路跟随所述质量的振荡运动，并且其中，所述驱动器电路(10)配置成生成用于激励和维持所述质量的定义的激励振荡的驱动器信号(11)，b)具有MEMS侧的第二信号输入端(23)的读出电路(20)，所述读出电路用于检测所述质量在探测方向上的偏移并且将所述偏移转换为电测量信号(M
R,Q
)，其中，所述读出电路(20)配置成由所述测量信号(M
R,Q
)生成有效信号(R
A
)和正交信号(Q
A
)，其方式是，借助于由所述锁相回路(15)提供的至少一个解调信号(12a、12b)解调所述测量信号(M
R,Q
)，其特征在于，所述电路还包括：c)用于生成周期性的测试信号(31)的信号发生器电路(30)，其中，所述测试信号(31)能被施加到所述驱动器电路(10)的MEMS侧的第一信号输入端(13)上和/或所述读出电路(20)的MEMS侧的第二信号输入端(23)上并且引起响应测量信号，使得基于所述响应测量信号能确定在所述解调信号(12a、12b)和所述响应测量信号之间的相位偏移。2.根据权利要求1所述的电路，所述信号发生器电路(30)能选择性地被激活和被关断。3.根据权利要求1或2中任一项所述的电路，其特征在于，所述信号发生器电路(30)配置成生成正弦形的测试信号(31)和/或配置成生成具有驱动振荡的预期的频率的测试信号(31)。4.根据权利要求1至3中任一项所述的电路，其特征在于，设置正交补偿电路(50)以用于补偿在模拟测量信号(M
R,Q
)中的正交误差，其中，所述正交补偿电路(50)基于所述驱动器电路(10)的MEMS侧的输入信号(13)生成模拟正交补偿信号(51)，在所述解调之前用所述模拟正交补偿信号来加载所述测量信号(M
R,Q
)。5.根据权利要求1至4中任一项所述的电路，其特征在于，所述电路实现为集成电路。6.根据权利要求1至5中任一项所...

【专利技术属性】
技术研发人员：A，
申请(专利权)人：罗伯特，
类型：发明
国别省市：