一种用新型材料固定气体分流盘装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种用新型材料固定气体分流盘装置，包括：螺丝底座，该螺丝底座的内壁贴附设置有一轴端挡圈，该轴端挡圈中贯穿设置有沉头螺丝，该沉头螺丝依次贯穿轴端挡圈与螺丝底座；轴端挡圈为耐高温硅胶与镀铝涂层的聚酰亚胺膜复合材料。根据本发明专利技术，有效地防止气体分流盘经过长时间的高温工艺产生形变，延长了气体分流盘的寿命。气体分流盘的寿命。气体分流盘的寿命。

【技术实现步骤摘要】
一种用新型材料固定气体分流盘装置


[0001]本专利技术涉及晶圆设备的
，特别涉及一种用新型材料固定气体分流盘装置。

技术介绍

[0002]在半导体制造工艺中，等离子体去胶设备是整个生产工艺中不可或缺的设备；等离子体去胶设备上腔体通常均会配有气体分流盘，其作用是腔体在工艺时气体自上而下流动时，使得气体均匀的分散到正在工艺的晶圆表面上。通常来说，气体分流盘一般用内六角沉头螺丝固定如图1。这种连接结构装配方式较为简单，但缺点是容易导致气体分流盘在长时间高温工艺后产生形变。

技术实现思路

[0003]针对现有技术中存在的不足之处，本专利技术的目的是提供一种用新型材料固定气体分流盘装置，有效地防止气体分流盘经过长时间的高温工艺产生形变，延长了气体分流盘的寿命。为了实现根据本专利技术的上述目的和其他优点，提供了一种用新型材料固定气体分流盘装置，包括：
[0004]螺丝底座，该螺丝底座的内壁贴附设置有一轴端挡圈，该轴端挡圈中贯穿设置有沉头螺丝，该沉头螺丝依次贯穿轴端挡圈与螺丝底座；
[0005]轴端挡圈为耐高温硅胶与镀本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用新型材料固定气体分流盘装置，其特征在于，包括：螺丝底座(1)，该螺丝底座(1)的内壁贴附设置有一轴端挡圈(2)，该轴端挡圈(2)中贯穿设置有沉头螺丝(3)，该沉头螺丝(3)依次贯穿轴端挡圈(2)与螺丝底座(1)；轴端挡圈(2)为耐高温硅胶与镀铝涂层的聚酰亚胺膜复合材料。2.如权利要求1所述的一种用新型材料固定气体分流...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨平，
申请(专利权)人：上海稷以科技有限公司，
类型：发明
国别省市：