样本定位系统及方法技术方案

公开一种样本定位系统。所述系统可包含成像检测器。所述系统可进一步包含经通信地耦合到所述成像检测器及样本载物台的控制器，所述控制器包含经配置以执行程序指令的一或多个处理器，所述程序指令引起所述一或多个处理器：接收所述成像检测器的视场的当前位置；接收所述样本的目标位置；接收沿着路径的参考特征的位置；引导所述样本载物台使所述样本沿着所述路径平移；引导所述成像检测器撷取沿着所述路径的所述参考特征的图像；基于所述参考特征的所述图像来确定沿着所述路径的所述样本载物台的定位误差；及基于平移期间的所述定位误差来调整所述样本载物台的速度或到所述目标位置的所述路径中的至少一者。标位置的所述路径中的至少一者。标位置的所述路径中的至少一者。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】样本定位系统及方法


[0001]本专利技术大体上涉及特性化系统，且更特定来说，涉及一种用于特性化系统的样本定位系统及方法。

技术介绍

[0002]随着对于日益缩小半导体装置的需求增加，因此对于准确且有效的特性化工具的需求也增加。特性化工具通常通过测量或以其它方式检验跨样本分布的专属目标而产生与样本相关联的特性化数据。一些工具可经设计以在目标在视场内为静态时检验所述目标。因此，此类工具可使用移动
‑
撷取
‑
测量(MAM)模式操作跨样本检验多个目标。在移动步骤期间，使样本平移以将所关注目标放置于测量视场内。在撷取步骤期间，撷取关于目标的焦点位置的信息且进行校正运动以使目标聚焦。在测量步骤期间，当样本静态时进行测量，且接着使样本平移以将额外所关注目标放置于测量视场中。其它特性化工具可经设计以在样本处于运动(例如，扫描操作模式)中时检验目标。然而，这些特性化工具可能提供跨样本分布的目标的低效特性化。
[0003]因此，可期望提供一种解决上文识别的先前方法的缺点的系统及方法。

技术实现思路

[0004]根据本专利技术的一或多项实施例，公开一种样本定位系统。在一项实施例中，所述系统包含成像检测器。在另一实施例中，所述系统包含通信地耦合到所述成像检测器及样本载物台的控制器，所述控制器包含经配置以执行程序指令的一或多个处理器，所述程序指令引起所述一或多个处理器：接收所述成像检测器在安装到所述样本载物台的样本上的视场的当前位置；接收用于使用所述成像检测器成像的所述样本的目标位置；接收沿着所述当前位置与所述目标位置之间的路径的一或多个参考特征的位置；引导所述样本载物台使所述样本沿着所述路径平移；引导所述成像检测器撷取沿着所述路径的所述一或多个参考特征的一或多个图像；基于所述一或多个参考特征的所述一或多个图像确定沿着所述路径的所述样本载物台的定位误差；及基于平移期间的所述定位误差调整所述样本载物台的速度或到所述目标位置的所述路径中的至少一者，其中所述样本载物台在所述目标位置处的定位准确度是基于所述成像检测器的分辨率。
[0005]根据本专利技术的一或多项实施例，公开一种特性化系统。在一项实施例中，所述系统包含成像检测器。在另一实施例中，所述系统包含用于固定样本的样本载物台。在另一实施例中，所述系统包含通信地耦合到所述成像检测器及所述样本载物台的控制器，所述控制器包含经配置以执行程序指令的一或多个处理器，所述程序指令引起所述一或多个处理器：接收所述成像检测器在安装到所述样本载物台的所述样本上的视场的当前位置；接收用于使用所述成像检测器成像的所述样本的目标位置；接收沿着所述当前位置与所述目标位置之间的路径的一或多个参考特征的位置；引导所述样本载物台使所述样本沿着所述路径平移；引导所述成像检测器撷取沿着所述路径的所述一或多个参考特征的一或多个图
像；基于所述一或多个参考特征的所述一或多个图像确定沿着所述路径的所述样本载物台的定位误差；及基于平移期间的所述定位误差调整所述样本载物台的速度或到所述目标位置的所述路径中的至少一者，其中所述样本载物台在所述目标位置处的定位准确度是基于所述成像检测器的分辨率。
[0006]根据本专利技术的一或多项实施例，公开一种样本定位方法。在一项实施例中，所述方法包含接收成像检测器在安装到样本载物台的样本上的视场的当前位置。在另一实施例中，所述方法包含接收用于使用所述成像检测器成像的所述样本的目标位置。在另一实施例中，所述方法包含接收沿着所述当前位置与所述目标位置之间的路径的一或多个参考特征的位置。在另一实施例中，所述方法包含引导所述样本载物台使所述样本沿着所述路径平移。在另一实施例中，所述方法包含引导所述成像检测器撷取沿着所述路径的所述一或多个参考特征的一或多个图像。在另一实施例中，所述方法包含基于所述一或多个参考特征的所述一或多个图像确定沿着所述路径的所述样本载物台的定位误差。在另一实施例中，所述方法包含基于平移期间的所述定位误差调整所述样本载物台的一速度或到所述目标位置的所述路径中的至少一者，其中所述样本载物台在所述目标位置处的定位准确度是基于所述成像检测器的分辨率。
[0007]应理解，前文概述及下文详细描述两者仅为示范性及说明性的且未必限制如主张的本专利技术。并入本说明书中且构成本说明书的部分的附图说明本专利技术的实施例且与概述一起用于解释本专利技术的原理。
附图说明
[0008]所属领域的技术人员通过参考附图可更佳理解本公开的多个优点，其中：
[0009]图1A说明根据本专利技术的一或多项实施例的样本定位系统的简化框图。
[0010]图1B说明根据本专利技术的一或多项实施例的样本定位系统的简化框图。
[0011]图1C说明根据本专利技术的一或多项实施例的样本定位系统的简化框图。
[0012]图2说明根据本专利技术的一或多项实施例的样本定位方法的简化示意性流程图。
[0013]图3说明根据本专利技术的一或多项实施例的涂抹幅度与载物台移动之间的关系。
[0014]图4说明根据本专利技术的一或多项实施例的包含样本定位系统的特性化系统的简化示意图。
[0015]图5说明描绘根据本专利技术的一或多项实施例的样本定位方法的流程图。
具体实施方式
[0016]已关于某些实施例及其特定特征特别展示且描述本公开。将本文中阐述的实施例视为阐释性而非限制性。所属领域的一般技术人员将容易了解，可作出形式及细节上的各种改变及修改而不脱离本公开的精神及范围。现将详细参考在附图中说明的所公开标的物。
[0017]一些特性化工具可经设计以在目标在视场内为静态时检验所述目标。静态模式可由以下者组成：使样本平移直到将目标放置于测量视场内；等待样本的位置安定；执行测量(例如，产生图像或类似者)；使样本平移以将新目标放置于测量视场内；及重复过程。此为耗时的，因为位置校正需要用于载物台安定、图像撷取、图像处理及载物台位置校正的时
间。此外，最终位置基于经撷取用于导航校正的单个图像，所述单个图像由于误算统计而经受实质错误。
[0018]大体上参考图1A到4，描述根据本专利技术的一或多项实施例的样本定位系统及方法。
[0019]本专利技术的实施例涉及一种使用样本作为大规模编码器以教示系统到目标的路由的样本定位系统及方法。例如，样本的一或多个图像可用作封闭回路回馈以基于样本载物台的定位误差而调整样本定位系统的一或多个可校正项。例如，可基于当样本载物台在途中时(例如，当样本载物台在移动时)样本载物台的定位误差而调整样本载物台的速度及/或到目标位置的路径。本文中应注意，将编码器从载物台移位到样本容许导航准确度是基于样本定位系统的成像检测器的分辨率而非取决于载物台的外部校准。此导致定位的更高最终准确度。样本定位系统容许更快导航处理且不需要用于图像撷取或载物台移动校正的实时额外耗用。
[0020]如贯穿本公开使用，术语“样本”大体上指的是由半导体或非半导体材料形成的衬底(例如，晶片或类似者)。例如，半导体或非半导体材料可包含(但不限于)单晶本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种样本定位系统，其包括：成像检测器；及控制器，其经通信地耦合到所述成像检测器及样本载物台，其中所述控制器包含经配置以执行程序指令的一或多个处理器，所述程序指令引起所述一或多个处理器：接收所述成像检测器在经安装到所述样本载物台的样本上的视场的当前位置；接收用于使用所述成像检测器成像的所述样本的目标位置；接收沿着所述当前位置与所述目标位置之间的路径的一或多个参考特征的位置；引导所述样本载物台使所述样本沿着所述路径平移；引导所述成像检测器撷取沿着所述路径的所述一或多个参考特征的一或多个图像；基于所述一或多个参考特征的所述一或多个图像来确定沿着所述路径的所述样本载物台的定位误差；及基于平移期间的所述定位误差来调整所述样本载物台的速度或到所述目标位置的所述路径中的至少一者，其中所述样本载物台在所述目标位置处的定位准确度是基于所述成像检测器的分辨率。2.根据权利要求1所述的样本定位系统，其中所述成像检测器包含快帧速相机。3.根据权利要求1所述的样本定位系统，其中所述成像检测器包含快速差分相机。4.根据权利要求1所述的样本定位系统，其中所述成像检测器在所述样本是固定时撷取所述目标位置处的所述样本的所述一或多个图像。5.根据权利要求1所述的样本定位系统，其中所述成像检测器在所述样本处于运动中时撷取所述目标位置处的所述样本的所述一或多个图像。6.根据权利要求1所述的样本定位系统，其中所述一或多个控制器中的控制器经整合到所述成像检测器中。7.根据权利要求1所述的样本定位系统，其中所述一或多个控制器中的控制器在所述成像检测器外部。8.根据权利要求1所述的样本定位系统，其中基于所述一或多个参考特征的所述一或多个图像来确定沿着所述路径的所述样本载物台的定位误差包括：将反涂抹滤波器应用到所述一或多个参考特征的所述一或多个图像以产生一或多个经处理图像；及基于所述一或多个经处理图像来确定沿着所述路径的所述样本载物台的定位误差。9.根据权利要求8所述的样本定位系统，其中在运行时间之前，以一或多个载物台速度，基于一或多个测试特征的一或多个图像来产生所述防涂抹滤波器。10.根据权利要求1所述的样本定位系统，其中调整在运行时间期间所述样本载物台的速度或所述成像检测器的积分时间中的至少一者以提供低于选定阈值的涂抹长度。11.根据权利要求10所述的样本定位系统，其中所述选定阈值包括：10个像素。12.根据权利要求10所述的样本定位系统，其中所述选定阈值包括：9个像素。13.根据权利要求10所述的样本定位系统，其中所述一或多个参考特征包括：沿着所述路径以周期性定向的一或多组周期性特征，其中所述选定阈值包括：
沿着所述路径的所述一或多组周期性特征的周期的选定部分。14.根据权利要求1所述的样本定位系统，其中基于平移期间的所述定位误差来调整所述样本载物台的速度或到所述目标位置的所述路径中的至少一者包括：基于平移期间的所述定位误差来调整所述目标位置。15.根据权利要求1所述的样本定位系统，其中所述成像检测器的曝光时间小于2毫秒。16.根据权利要求1所述的样本定位系统，其中所述成像检测器的曝光时间小于1毫秒。17.根据权利要求1所述的样本定位系统，其中所述成像检测器的曝光时间小于0.05毫秒。18.根据权利要求1所述的样本定位系统，其中所述样本载物台的速度大于500微米/秒。19.根据权利要求1所述的样本定位系统，其中所述样本载物台的速度大于900微米/秒。20.一种特性化系统，其包括：成像检测器；样本载物台，其用于固定样本；及控制器，其经通信地耦合到所述成像检测器及所述样本载物台，其中所述控制器包含经配置以执行程序指令的一或多个处理器，所述程序指令引起所述一或多个处理器：接收所述成像检测器在经安装到所述样本载物台的所述样本上的视场的当前位置；接收用于使用所述成像检测器来成像的所述样本的目标位置；接收沿着所述当前位置与所述目标位置之间的路径的一或多个参考特征的位置；引导所述样本载物台使所述样本沿着所述路径平移；引导所述成像检测器撷取沿着所述路径的所述一或多个参考特征的一或多个图像；基于所述一或多个参考特征的所...

【专利技术属性】
技术研发人员：A，
申请(专利权)人：科磊股份有限公司，
类型：发明
国别省市：