具有插入层的体声波谐振器及滤波器制造技术

本发明专利技术提供了一种具有插入层的体声波谐振器及滤波器，涉及滤波器结构设计技术领域，包括衬底、声学镜、底电极、压电层、插入层以及顶电极，所述声学镜设置在衬底内或衬底上方，所述底电极设置在声学镜上方以及衬底上方，所述压电层设置在底电极上方以及衬底上方，所述插入层设置在压电层上方，所述顶电极设置在压电层上方以及插入层上方，所述顶电极或底电极上设置有连接部；所述顶电极、压电层、底电极以及声学镜四者投影重合的区域形成第一有效区域，所述第一有效区域外围形成第二功能区域和第三功能区域。有助于提升谐振器Q值、抑制反谐振频率附近杂波、提升具有连接部一侧的顶电极的机械稳定性、导电性以及散热性。导电性以及散热性。导电性以及散热性。

【技术实现步骤摘要】
具有插入层的体声波谐振器及滤波器


[0001]本专利技术涉及滤波器结构设计
，具体地，涉及一种具有插入层的体声波谐振器及滤波器。

技术介绍

[0002]随着无线通信设备技术的高速发展，射频滤波器在其中发挥的作用愈发关键，对射频滤波器产品性能要求也越来越高。体声波谐振器作为一种典型的射频滤波器，具有优越的滤波器能与小型化特征，特别是广泛应用于中、高频频段。
[0003]体声波谐振器主要包括声学镜、电极以及设置在压电层之间的压电材料。当电极外加交变信号时，可引起谐振器各层机械振荡，声学镜则可以将体声波谐振器与衬底进行声学隔离。
[0004]现有公开号为CN111384911A的中国专利申请文献，其公开了一种包括：基底；声学镜；底电极，设置在基底上方；顶电极；和压电层，设置在底电极上方以及底电极与顶电极之间，其中：声学镜、底电极、压电层和顶电极在谐振器厚度方向上的重叠区域构成谐振器的有效区域；顶电极一侧的边缘形成檐结构，檐结构沿谐振器的厚度方向的投影落入声学镜的区域内；顶电极的连接部分处设置有梁结构，梁结构包括第一和第二梁部，第本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种具有插入层的体声波谐振器，其特征在于，包括衬底(101)、声学镜(102)、底电极(103)、压电层(104)、插入层(105)以及顶电极(106)，所述声学镜(102)设置在衬底(101)内或衬底(101)上方，所述底电极(103)设置在声学镜(102)上方以及衬底(101)上方，所述压电层(104)设置在底电极(103)上方以及衬底(101)上方，所述插入层(105)设置在压电层(104)上方，所述顶电极(106)设置在压电层(104)上方以及插入层(105)上方，所述顶电极(106)或底电极(103)上设置有连接部(107)；所述顶电极(106)、压电层(104)、底电极(103)以及声学镜(102)四者在厚度方向上投影重合于衬底(101)的区域形成第一有效区域(1)，所述第一有效区域(1)外围形成第二功能区域(2)和第三功能区域(3)；所述插入层(105)使第一有效区域(1)外部的顶电极(106)不与压电层(104)接触。2.如权利要求1所述的具有插入层的体声波谐振器，其特征在于，所述第二功能区域(2)包括顶电极(106)不设置连接部(107)的末端与相邻第一有效区域(1)之间的区域；所述第三功能区域(3)包括具有顶电极(106)连接部(107)且与第一有效区域(1)相邻的区域。3.如权利要求2所述的具有插入层的体声波谐振器，其特征在于，所述第二功能区域(2)靠近第一有效区域(1)的一侧在厚度方向上投影于声学镜(102)内部；所述第二功能区域(2)远离第一有效区域(1)的一侧在厚度方向上投影于声学镜(102)外部，且所述第二功能区域(2)远离第一有效区域(1)的一侧在厚度方向上投影于底电极(103)内。4.如权利要求3所述的具有插入层的体声波谐振器，其特征在于，所述第三功能区域(3)靠近第一有效区域(1)的一侧在厚度方向上投影于声学镜(102)内部；所述第三功能区域(3)远离第一有效区域(1)的一侧在厚度方向上投影于声学镜(102)外部，且所述第三功能区域(3)远离第一有效区域(1)的一侧在厚度方向上投影于底电极(103)外。5.如权利要求4所述的具有插入层的体声波谐...

【专利技术属性】
技术研发人员：高安明，姜伟，
申请(专利权)人：浙江星曜半导体有限公司，
类型：发明
国别省市：