下载具有插入层的体声波谐振器及滤波器的技术资料

文档序号:37843314

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本发明提供了一种具有插入层的体声波谐振器及滤波器,涉及滤波器结构设计技术领域,包括衬底、声学镜、底电极、压电层、插入层以及顶电极,所述声学镜设置在衬底内或衬底上方,所述底电极设置在声学镜上方以及衬底上方,所述压电层设置在底电极上方以及衬底上...
该专利属于浙江星曜半导体有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过浙江星曜半导体有限公司授权不得商用。

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