基于散点图的半导体批次优先级及生产计划分析方法技术

本发明专利技术公开了一种基于散点图的半导体批次优先级及生产计划分析方法，包括如下步骤：(1)通过数据预处理，将需要展现的数据处理成需要的形式；(2)定义各轴坐标；(3)点击图中坐标点，展现Lot信息、当前工序、当前排产耗时、工序名称的相关信息：优先级、类型、站点名、工序名称、Lot实时状态、排产耗时等信息的综合展现。本发明专利技术基于散点图的形式完成对Lot排产优先级、Lot实时状态、工序名称、站点描述、排产耗时等信息的综合展现，降低人工及MES系统参与度，能够有效提高对Lot追踪判断的准确性及管理的智能化。理的智能化。理的智能化。

【技术实现步骤摘要】
基于散点图的半导体批次优先级及生产计划分析方法


[0001]本专利技术涉及半导体及面板等行业生产制造
，具体涉及一种基于散点图的半导体批次优先级及生产计划分析方法。

技术介绍

[0002]目前半导体行业及面板行业一般都是通过MES制造执行系统，(manufacturing execution system，简称MES)去查询生产过程中的Lot所在工艺站点、Lot实时状态(Hold、Run、Wait等)、Lot排产计划，而这种庞大的系统操作难度较高，采用本申请中的分析方法可以提高

技术实现思路

[0003]本申请提供了一种基于散点图的半导体批次优先级及生产计划分析方法，其目的在于，解决生产制造过程中Lot所在工艺站点、Lot实时状态(Hold、Run、Wait等)、Lot排产计划实时追踪及追溯分析，节省人工及其他系统核验分析的成本，以提高对Lot追踪判断的准确性及管理的智能化。
[0004]本申请是通过以下技术方案实现的：
[0005]一种基于散点图的半导体批次优先级及生产计划分析方法，包括如下步骤：
...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种基于散点图的半导体批次优先级及生产计划分析方法，其特征在于，包括如下步骤：(1)通过数据预处理，将需要展现的数据处理成需要的形式；(2)定义各轴坐标；(3)点击图中坐标点，展现Lot信息、当前工序、当前排产耗时、工序名称的相关信息。2.根据权利要求1所述的一种基于散点图的半导体批次优先级及...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨旭东，刘其琪，
申请(专利权)人：上海哥瑞利软件股份有限公司，
类型：发明
国别省市：