【技术实现步骤摘要】
一种光刻胶剥离液自动配制装置
[0001]本技术涉及自动配置设备领域,特别是涉及一种光刻胶剥离液自动配制装置。
技术介绍
[0002]液晶面板和触摸屏等制造过程中,还需要通过多次图形掩膜照射曝光及蚀刻等工序在硅晶圆或玻璃基片上形成多层精密的微电路,形成微电路之后,进一步用光刻胶剥离液将涂覆在微电路保护区域上作为掩膜的光刻胶除去,在电容式触摸屏生产中,采用真空镀膜方式在玻璃基板上溅镀上底层ITO镀层之后,需要采用旋涂方式在ITO玻璃基板上多次制作光刻胶层、曝光显影及脱模工序,液晶显示装置的彩色滤光片制造过程中,利用旋转涂布、狭缝涂布或狭缝与旋转涂布等方法涂布光刻胶的过程中,不可避免地将光刻胶涂布于基板边缘或背面,这些多余的光刻胶会造成设备污染,从而增加了清洗设备的生产成本,因此必须用光刻胶剥离液去除多余光刻胶。
[0003]现有的光刻胶剥离液在进行配制时需要在配料罐中加入甲苯或二甲苯为溶剂,向其中通入苯酚,混合,将乳化剂用水稀释,然后其中加入络合剂,混合均匀后,过滤后,加入至配料罐中,混合后,过滤,得成品,在配置时需要 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种光刻胶剥离液自动配制装置,包括有配料罐(1),其特征在于,所述配料罐(1)包括有搅拌箱(2)和过滤箱(3),所述搅拌箱(2)内部开设有空腔(11),所述搅拌箱(2)内部设有搅拌组件,所述搅拌组件包括有两个螺纹杆(4),所述搅拌箱(2)内部开设有两个螺纹孔(5),两个所述螺纹孔(5)分别与对应螺纹杆(4)螺纹连接,每个所述螺纹杆(4)底端均固定连接有搅拌杆(6)。2.根据权利要求1所述一种光刻胶剥离液自动配制装置,其特征在于:所述搅拌组件还包括有电机(7),所述电机(7)位于空腔(11)内部,所述电机(7)输出端通过转轴固定连接有圆盘(8),所述圆盘(8)一侧固定连接有固定柱(9),所述固定柱(9)外壁转动连接有连接杆(10),所述空腔(11)内部固定连接有滑轨(12),所述滑轨(12)内部滑动连接有移动块(13),所述连接杆(10)远离固定柱(9)一端与移动块(13)转动连接,所述空腔(11)内部开设有两个第一滑槽(14),每个所述第一滑槽(14)内部均滑动连接有滑块(15),每个所述滑块(15)分别与对应螺纹杆(4)顶端转动连接,所述移动块(13)贯穿移动块(13),并与其中一个滑块(15)固定连接,所述空腔(11)内部通过转轴固定连接有齿轮(17),每个所述滑块(15)靠近齿轮(17)一侧均固定连接有齿条板(16),两个所述齿条板(16)均与齿轮(17)相啮合。3...
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。