本实用新型专利技术涉及一种缓冲氧化腐蚀液制备装置，其包括配制罐、表面活性剂储罐、氢氟酸储罐、氨气储罐以及成品罐，所述配制罐上设置有三个进料口，三个补料口与表面活性剂储罐、氢氟酸储罐以及氨气储罐一一对应连通，所述配制罐的出料口连通成品罐，配制罐与氨气储罐之间连接有水洗槽，所述水洗槽包括壳体和封盖，壳体内设置有洗涤液，所述封盖上设置有进料管、出料管和补液管进料管的进口端连通氨气储罐，其出口端位于靠近壳体内底壁处，出料管的出口端连通配制罐，壳体的内连接有若干引导板，若干所述引导板均位于洗涤液内，相邻两块所述引导板两两交错设置。本实用新型专利技术装置明显提高了氨气的洗涤效果，从而提高了缓冲氧化腐蚀液产品的质量。品的质量。品的质量。
【技术实现步骤摘要】
一种缓冲氧化腐蚀液制备装置
[0001]本技术涉及腐蚀液制备
，尤其是涉及一种缓冲氧化腐蚀液制备装置。
技术介绍
[0002]人们常用缓冲氧化腐蚀液来清洗半导体的硅基片，半导体硅基片上的孔径内的杂质需要缓冲氧化腐蚀液来腐蚀，以达到清洗硅基片的效果。为了使缓冲氧化腐蚀液能够对硅基片表面较小孔进行效率腐蚀，需要一台缓冲氧化腐蚀液制备装置来制备一种具有低表面张力效果缓冲氧化腐蚀液。
[0003]参照图1，常用的缓冲氧化腐蚀液制备装置包括配制罐01、表面活性剂储罐02、氢氟酸储罐03、氨气储罐04、洗涤槽05、过滤装置06以及成品罐07。配制罐01上设置有三个进料口，三个进料口与表面活性剂储罐02、氢氟酸储罐03以及洗涤槽05的出料口一一对应连通，洗涤槽05的进料口与氨气储罐04的出料口连接，配制罐01底部的出料口连通过滤装置06，过滤装置06的出口端连通成品罐07。
[0004]氢氟酸、表面活性剂以及经过水洗后的氨气通入配制罐01进行配置，配置后的混合液经过过滤装置06过滤后通入成品罐07内。
[0005]针对上述中的相关技术，专利技术人认为水洗槽用于对氨气储罐输出的氨气进行洗涤，以此洗去氨气中杂质的效果，水洗槽进料管的出口端位于洗涤液内，氨气以气泡的形式出现，气泡有大有小，大气泡内涵的氨气较多，大气泡表面的氨气与洗涤液接触，但大气泡内部的氨气未接触洗涤液，存在氨气洗涤不完全的情况，脱离洗涤液后，将存有杂质的氨气流入配制罐会降低缓冲氧化腐蚀液的质量。
技术实现思路
[0006]为了提高氨气的洗涤效果，本申请提供一种缓冲氧化腐蚀液制备装置。
[0007]本申请提供一种缓冲氧化腐蚀液制备装置采用如下的技术方案：
[0008]一种缓冲氧化腐蚀液制备装置，包括配制罐、表面活性剂储罐、氢氟酸储罐、氨气储罐以及成品罐，所述配制罐上设置有三个进料口，三个所述进料口与所述表面活性剂储罐、所述氢氟酸储罐以及所述氨气储罐一一对应连通，所述配制罐底部的出料口连通所述成品罐，所述配制罐与所述氨气储罐之间连接有水洗槽，所述水洗槽包括壳体和封盖，所述封盖设置在所述壳体的顶部，所述壳体内设置有洗涤液，所述封盖上设置有进料管、出料管和补液管，所述进料管的进口端连通所述氨气储罐，所述进料管的出口端位于靠近所述壳体内底壁处，所述出料管的进口端连通所述壳体内部，所述出料管的出口端连通所述配制罐，所述壳体的内部连接有若干引导板，若干所述引导板均位于所述洗涤液内，相邻两块所述引导板两两交错设置。
[0009]通过采用上述技术方案，氨气从进料管的出口端排出，以气泡的形式出现在洗涤液中，气泡沿着引导板的长度方向位移，直至脱离洗涤液，随后从出料管排出，进入配制罐
中，实现了氨气被洗涤液清洗的效果。引导板延长了氨气的移动路径，延长了氨气与洗涤液的接触时间，使氨气中的杂质尽可能地被清洗，提高了氨气的洗涤效果。
[0010]可选的，所述引导板靠近所述壳体内底壁的侧壁上连接有若干固定柱，所述固定柱远离所述引导板的一端呈圆锥状设置。
[0011]通过采用上述技术方案，固定柱用于打碎气泡，使氨气以更小的气泡出现，使更多的氨气与洗涤液接触，提高了氨气的洗涤效果。
[0012]可选的，若干所述固定柱沿着所述引导板的长度方向设置有若干排，相邻两排所述固定柱两两交错设置。
[0013]通过采用上述技术方案，相邻两排固定柱两两交错设置，使较大的气泡更容易被打碎，以此产生更多的小气泡，进一步提高了破碎较大气泡的效率。
[0014]可选的，所述出料管与所述封盖之间连接有气液分离器。
[0015]通过采用上述技术方案，气液分离器用于将氨气中的洗涤液成分分离，提高了氨气的纯净度。
[0016]可选的，所述壳体的顶部设置有密封圈，所述密封圈位于所述封盖和所述壳体之间。
[0017]通过采用上述技术方案，氨气具有毒性，会对人体造成伤害，故需要对壳体进行密封。密封圈用于提高封盖与壳体之间的密封性，减小了氨气从封盖处泄漏的可能性。
[0018]可选的，所述封盖靠近所述壳体的侧壁上连接有定位边框，所述定位边框四周的侧边与所述壳体四周的内侧壁贴合。
[0019]通过采用上述技术方案，定位边框用于定位封盖的安装工位，提高了封盖的安装效率。
[0020]可选的，所述配制罐的顶部设置有排气管，所述排气管的出口处设置有水封。
[0021]通过采用上述技术方案，水封用于堵住排气管，减小了排气管排气时，有外部空气进入排气管的可能性。
[0022]可选的，所述排气管上设置有活性炭过滤网。
[0023]通过采用上述技术方案，活性炭过滤网用于吸附配制罐内排出的有毒气体，减小了有毒气体流入空气中的可能性。
[0024]综上所述，本申请包括以下至少一种有益技术效果：
[0025]1.氨气从进料管的出口端排出，以气泡的形式出现在洗涤液中，气泡沿着引导板的长度方向位移，直至脱离洗涤液，随后从出料管排出，进入配制罐中，实现了氨气被洗涤液清洗的效果。引导板延长了氨气的移动路径，延长了氨气与洗涤液的接触时间，使氨气中的杂质尽可能地被清洗，提高了氨气的洗涤效果；
[0026]2.固定柱用于打碎气泡，使氨气以更小的气泡出现，使更多的氨气与洗涤液接触，提高了氨气的洗涤效果。
附图说明
[0027]图1是现有技术中缓冲氧化腐蚀液制备装置的整体结构示意图。
[0028]图2是本申请实施例中一种缓冲氧化腐蚀液制备装置的整体结构示意图。
[0029]图3是本申请实施例中水洗槽的结构示意图。
[0030]图4是本申请实施例中水洗槽的俯视图。
[0031]图5是图4中A
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A剖视图。
[0032]附图标记说明：01、配制罐；02、表面活性剂储罐；03、氢氟酸储罐；04、氨气储罐；05、洗涤槽；06、过滤装置；07、成品罐；08、水洗槽；1、壳体；11、液位窗；2、封盖；21、进料管；211、倾斜面；22、出料管；221、气液分离器；23、补液管；231、电磁阀；24、定位边框；3、锁紧件；4、引导板；41、固定柱；5、密封圈；6、排气管；61、水封；62、活性炭过滤网。
具体实施方式
[0033]以下结合附图2
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5对本申请作进一步详细说明。
[0034]本申请实施例公开一种缓冲氧化腐蚀液制备装置。参照图2，一种缓冲氧化腐蚀液制备装置，包括配制罐01、表面活性剂储罐02、氢氟酸储罐03、氨气储罐04以及成品罐07，配制罐01的顶部设置有三个进料口，表面活性剂储罐02、氢氟酸储罐03、氨气储罐04与三个进料口一一对应连通，配制罐01的出料口连通成品罐07。
[0035]参照图2，配制罐01的顶部设置有排气管6，排气管6上设置有活性炭过滤网62，排气管6的出口端设置有水封61。水封61用于减小空气通过排气管6流入配制罐01的可能性，活性炭过滤网62用于吸附配制本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种缓冲氧化腐蚀液制备装置，包括配制罐(01)、表面活性剂储罐(02)、氢氟酸储罐(03)、氨气储罐(04)以及成品罐(07)，所述配制罐(01)上设置有三个进料口，三个所述进料口与所述表面活性剂储罐(02)、所述氢氟酸储罐(03)以及所述氨气储罐(04)一一对应连通，所述配制罐(01)底部的出料口连通所述成品罐(07)，其特征在于：所述配制罐(01)与所述氨气储罐(04)之间连接有水洗槽(08)，所述水洗槽(08)包括壳体(1)和封盖(2)，所述封盖(2)设置在所述壳体(1)的顶部，所述壳体(1)内设置有洗涤液，所述封盖(2)上设置有进料管(21)、出料管(22)和补液管(23)，所述进料管(21)的进口端连通所述氨气储罐(04)，所述进料管(21)的出口端位于靠近所述壳体(1)内底壁处，所述出料管(22)的进口端连通所述壳体(1)内部，所述出料管(22)的出口端连通所述配制罐(01)，所述壳体(1)的内部连接有若干引导板(4)，若干所述引导板(4)均位于所述洗涤液内，相邻两块所述引导板(4)两两交错设置。2.根据权利要求1所述的一种缓冲氧化腐蚀液制备装置，其特征在于：所述引导板(4)靠近所述壳体(1)...
【专利技术属性】
技术研发人员：李祥庆，
申请(专利权)人：李祥庆，
类型：新型
国别省市：
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